|
钻瓜专利网为您找到相关结果 4009个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [实用新型]晶圆片花篮-CN202320209183.2有效
-
林基明;李孟轩;林宏达;翟虎
-
浙江丽晖智能装备有限公司;东旭科技集团有限公司
-
2023-01-16
-
2023-07-14
-
H01L21/673
- 本公开提供一种晶圆片花篮,包括:花篮主体(2),花篮主体包括两块沿第一方向相对设置的主板(22),主板上设有沿垂直于第一方向的第二方向间隔排列的多个插板(23),多个插板之间形成晶圆片插槽;以及辅助件,辅助件(1)能够可拆卸地设置在花篮主体(2)的沿垂直于第一方向和第二方向的第三方向的插入端,辅助件(1)包括分别沿第三方向对齐于两个主板的两个第一支撑梁(11)以及分别设置在第一支撑梁上的沿第二方向排列的限位板(12),限位板沿第三方向一一对齐于插板。通过上述技术方案,晶圆片通过辅助件插入花篮中,限位板能够起到限位作用,解决了手动放入花篮中的晶圆片会出现剐蹭、串位栏、叠片等放置不当导致的表面刮伤。
- 晶圆片花篮
- [实用新型]一种用于放置单晶硅片的石英舟-CN202223493425.X有效
-
徐源;徐煜清;徐传龙;冯维娥
-
江苏弘扬石英制品有限公司
-
2022-12-27
-
2023-07-14
-
H01L21/673
- 一种用于放置单晶硅片的石英舟,包括左右侧板,在两个侧板相对的内表面固定有限位板,限位板竖向间隔设置,两个侧板上的限位板相对设置,相邻限位板之间构成单晶硅片竖向卡槽,在两个侧板之间设有底部限位条,底部限位条向上设有分隔槽,用于在竖直方向固定单晶硅片,所述分隔槽与所述两侧板上的卡槽的位置相对应设置,两个侧板之间通过左右紧固横梁连接。所述紧固横梁包括公梁和母梁,所述母梁上设有沿着其长度方向设置的横槽,所述公梁上设有装在母梁横槽内且可沿其横槽滑动的滑块,在母梁的自由端设装有用于紧固滑块的夹紧螺栓。可以通过移动两侧侧板,来调节整个装置的宽度,以放置不同尺寸的单晶硅片。使得硅片固定的更稳定,不易晃动。
- 一种用于放置单晶硅石英
- [发明专利]基板收纳容器-CN201880046275.5有效
-
小川统
-
信越聚合物股份有限公司
-
2018-06-19
-
2023-07-07
-
H01L21/673
- 本发明提供一种基板收纳容器,安装于基板收纳容器的阀体(40)具有:第一筒部(410),其一端形成在与容器主体(10)的外部连通的固定筒(41)上;以及第二筒部(430),其一端与容器主体(10)的内部连通,并且形成在从第一筒部(410)的另一端隔开而设置的中盖筒(43)上;以及栓部(431),其位于第一筒部(410)的另一端与第二筒部(430)的另一端之间;以及弹性体(44),其至少覆盖栓部(431),具有等于或者小于栓部(431)的外径的内径;通过栓部(431)与弹性体(44)紧密接触,从而控制气体相对于容器主体(10)的流通。据此,能够提供一种具备不使用金属制的部件就能够控制气体的流通的阀体的基板收纳容器。
- 收纳容器
- [发明专利]晶圆收容容器-CN201880019126.X有效
-
西岛正敬;广瀬贤一
-
阿基里斯株式会社
-
2018-03-19
-
2023-07-07
-
H01L21/673
- 一种晶圆收容容器(1),具备:容器本体(10),在一端具有开口部(11),在另一端具有与开口部(11)对向且可供重叠收容晶圆的搭载部(12);盖体(20),用以堵塞开口部(11);以及保持机构(30),可开闭地将容器本体(10)与盖体(20)嵌合保持;保持机构(30)于至少两个部位具有:卡止构件(32),从容器本体(10)的另一端朝一端延伸,并在一端部具备卡止爪部(31);以及卡止孔部(33),设置于盖体(20),且被卡止爪部(31)卡止;于盖体侧壁部(21)设置有:引导构件(40),于盖体(20)朝容器本体(10)嵌合时,一边接触卡止构件(32)一边保持同心状态地引导容器本体(10)与盖体(20)。
- 收容容器
- [实用新型]一种晶圆用存储料盒-CN202320374053.4有效
-
荣国青;韦玮;欧阳
-
三公井精密科技(苏州)有限公司
-
2023-03-03
-
2023-07-07
-
H01L21/673
- 本实用新型涉及一种晶圆用存储料盒,包括底座,所述底座的两侧顶端均固定设有支撑板一,所述底座的顶端阵列固定设有多个支撑板二,所述支撑板二均位于所述支撑板一之间,所述支撑板一之间相邻的一侧与所述支撑板二的两侧均阵列开设有多个放置槽,所述底座的顶端阵列贯穿开设有多个凹槽,所述凹槽的底端内壁上均对称贯穿滑动嵌设有多个连接杆,位于同一所述凹槽内的所述连接杆的顶端均固定连接有托板,所述托板的顶端均阵列开设有多个与所述放置槽相匹配的限位槽,所述底座内开设有滑槽,所述滑槽位于所述凹槽的正下方,本实用新型可以方便使用者对料盒内的晶圆进行存放和取用,从而可以有效地提高存储料盒的实用性。
- 一种晶圆用存储
- [实用新型]一种硅片清洗烘干用花篮装置-CN202223217326.9有效
-
孟岭;钱程
-
无锡市世通模塑有限公司
-
2022-12-02
-
2023-07-07
-
H01L21/673
- 本实用新型涉及硅片技术领域,具体为一种硅片清洗烘干用花篮装置,包括固定板,所述固定板的一侧四角均通过轴承活动安装有撑杆,四角所述撑杆远离固定板的一侧均活动套接有活动板,所述撑杆靠近活动板的一端固定连接有螺纹杆,所述螺纹杆的外部螺纹套接有螺母套,所述活动板远离螺母套的一侧固定连接有限位套,所述限位套与撑杆活动连接;夹板,所述夹板设置于限位套与固定板之间,所述夹板的顶端和底端均活动连接撑杆。本实用新型通过设置固定套和固定圈,当需要清理时,手持螺母套旋转,螺母套旋转,固定套和固定圈之间的弹簧会向两侧推动,两个夹板之间的间距会同步打开,这样U型夹条与另一侧的夹板之间间距增大,这样在清理时,更加容易。
- 一种硅片清洗烘干花篮装置
- [实用新型]一种便于晶圆蚀刻的清洗花篮-CN202223606407.8有效
-
袁黔云
-
广东迈捷微新材料有限公司
-
2022-12-30
-
2023-07-07
-
H01L21/673
- 本实用新型公开了一种便于晶圆蚀刻的清洗花篮,包括清洗花篮,所述清洗花篮中部镂空,前后两侧边设有多个对称的晶圆放置槽,所述晶圆放置槽从左到右等距分布,所述晶圆放置槽内容纳有晶圆,所述晶圆可在晶圆放置槽内自由转动。本实用新型通过设置的清洗花篮,其外形尺寸能完美契合2寸产线,通过其上设置的晶圆放置槽容纳1寸晶圆,能利用现有设备2寸线加工1寸线,完美契合2寸线生产1寸线黄光以及蚀刻站需求,清洗花篮上的镂空结构,使晶圆能充分与刻蚀液接触,增加反应速率,进而提高生产效率,并且多个等距分布的晶圆放置槽,使得每个晶圆各部分的反应速度趋于一致,从而达到晶圆沟槽刻蚀均匀性的目的,缩短了生产周期,适合批量生产。
- 一种便于蚀刻清洗花篮
|