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[发明专利]可吸附曲面物件的装置及应用该装置的贴合设备-CN201710200498.X在审
发明人：黄秋逢;黄国书 -专利权人：阳程科技股份有限公司
申请日： 2017-03-29 - 公布日： 2018-10-16 - 主分类号： B32B37/00 文献下载
摘要：本发明提供一种可吸附曲面物件的装置及应用该装置的贴合设备，其系于下吸附平台、上吸附平台的下基板、上基板表面上分别设有曲面状的第一定位部及与第一定位部形成对应互补状的第二定位部，并在第一、第二定位部上分别设置有下静电保持装置及上静电保持装置，且各下、上静电保持装置分别电性连接有与外部电源相连接的二组第一电极接头组及第二电极接头组，便可凭借下、上静电保持装置所具的电极部导通高压电流，由于电荷无法导通释放的情况下，可使其上的绝缘覆膜层产生静电力紧密吸附于待贴合的下曲面物件与上曲面物件，不仅可使用于吸附曲面物件，也可在真空环境下进行贴合制程，进而达到精密贴合的制程要求，并提高产品的合格率。
静电保持装置吸附曲面物件贴合第二定位部第一定位部贴合设备吸附平台接头组物件导通制程绝缘覆膜层上基板表面第二电极第一电极电性连接高压电流外部电源真空环境电荷电极部互补状静电力曲面状上曲面下基板下曲面精密应用合格率释放

[发明专利]用于在低温ALD系统中的稳定沉积率控制的方法和装置-CN201510519683.6在审
发明人：克洛伊·巴尔达赛罗尼;阿德里安·拉沃伊;康胡;钱俊;普鲁肖坦·库马尔;安德鲁·杜瓦尔;科迪·巴奈特;穆罕默德·萨布里;拉梅什·钱德拉塞卡拉;卡尔·利瑟;大卫·C·史密斯;塞沙萨绮·瓦拉达拉简;艾德蒙·B·明歇尔 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2015-08-21 - 公布日： 2016-03-09 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：该方法可以包括：在喷头基本上维持在第一温度时，使膜前体穿过喷头流入处理室内；以及在衬底保持架基本上维持在第二温度时，使膜前体吸附到保持在衬底保持架上的衬底上，使得前体形成吸附受限层。该方法还可以包括：从包围所吸附的膜前体的体积除去至少一些未被吸附的膜前体；以及之后，使所吸附的膜前体反应以形成膜层。本发明还公开了一种装置，该装置包括：处理室；衬底保持架；喷头；以及一个或多个控制器，其用于操作该装置以使用前述膜沉积技术。
用于低温 ald 系统中的稳定沉积控制方法装置

[实用新型]丝网印刷机-CN201220151478.0有效
发明人：友松道范;大武裕治;村上俊行;村上稔;前田亮 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2012-04-11 - 公布日： 2013-01-23 - 主分类号： B41F15/08 文献下载
摘要：在通过基板保持组件(15)在丝网印刷用的掩模(13)的下方保持基板(2)之后，使升降自如的吸附垫(32)上升并在基板(2)的上方的位置用吸附垫(32)吸附掩模(13)后，通过使吸附垫(32)下降而将掩模
丝网印刷机

[发明专利]一种抛光头和基板抛光装置及研磨方法-CN202310152463.9在审
发明人：庞浩;李婷;尹影;边润立;司马超 -专利权人：北京晶亦精微科技股份有限公司
申请日： 2023-02-10 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： B24B37/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种抛光头和基板抛光装置及研磨方法，该抛光头包括：本体；吸附保持组件，固定设置在所述本体的底部中心位置，用于吸附基板，并将基板按压在抛光面上；边缘施力组件，设置在所述吸附保持组件的外周侧且位于所述本体的下方本发明中通过设置边缘施力组件可调节对基板边缘研磨量的控制；同时还设置有吸附保持组件，通过调节各通气槽和与其连通的各封闭吸附腔内的气压值，能够调节对基板中部位置的研磨量，从而提高基板表面的均匀性和一致性，
一种抛光装置研磨方法

[发明专利]基板处理装置、涂敷装置及涂敷方法-CN200610115921.8无效
发明人：元村秀峰 -专利权人： HOYA株式会社
申请日： 2004-04-09 - 公布日： 2007-04-04 - 主分类号： B05C5/00 文献下载
摘要：提供一种不使用旋转机构，就可以使基板的被处理面朝向下方吸附在吸附板上的基板处理装置、涂敷装置及涂敷方法。利用基板处理单元2的毛细管现象使储存在基板10下方的涂敷液上升，使所上升的所述涂敷液接触朝向下方的基板10的被涂敷面，通过使基板处理单元2和基板10相对移动，在被涂敷面上形成涂敷膜，该涂敷装置具有：可以自由装卸地保持基板10的保持单元5a；在使基板10的被处理面朝向下方的状态下，从保持单元5a吸附基板10的吸附单元3；和使基板处理单元2和/或吸附单元3在水平面内移动的移动单元4。
处理装置方法

[实用新型]用于汽车空调注塑件的机械手设备-CN202121000274.2有效
发明人：李义燮;卢光灿;金俊衍 -专利权人：廊坊动益汽车配件有限公司
申请日： 2021-05-11 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： B29C45/40 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于汽车空调注塑件的机械手设备，包括：保持架，其设置于注塑模的底模的上方，相连的注塑件位于所述底模上；吸附机构，其装设于所述保持架的下方，所述吸附机构包括与多个所述注塑件一一对应的多个，以用于同步吸附多个所述注塑件移动至所述底模的上方；剪切机构，其装设于所述保持架的下方，每个所述注塑件的连接区域均对应一个所述剪切机构；其中：当所述吸附机构将所述注塑件吸附至所述底模的上方时，所述剪切机构用于剪切所述注塑模的连接区域
用于汽车空调注塑机械手设备

[实用新型]保持装置-CN202222427620.6有效
发明人：刘云飞;王浩然;赖浩勇;安博智;刘铿;胡柳;谷云森 -专利权人：捷普电子（广州）有限公司
申请日： 2022-09-13 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： B05B13/02 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种保持装置，其包括：基体、第一吸附器、第二吸附器和直线驱动器；所述第一吸附器固定设置于所述基体，所述第二吸附器与所述第一吸附器相对设置，所述直线驱动器设置于所述基体，所述直线驱动器还与所述第二吸附器驱动连接，以驱动所述第二吸附器靠近或远离所述第一吸附器；所述第一吸附器用于与待吸附件的第一侧部吸附连接；在所述第二吸附器移动至靠近所述第一吸附器的位置的情况下，所述第二吸附器能够与所述待吸附件的第二侧部吸附连接，以带动所述待吸附件脱离所述第一吸附器，其中，所述第一侧部与所述第二侧部相背离。所述保持装置用于使得待吸附件的第一侧部和第二侧部能够分别暴露在外。
保持装置

[发明专利]衬底洗净装置-CN202080064970.1在审
发明人：甲盛谆;西山耕二 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2020-08-07 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： B08B1/02 文献下载
摘要：本发明的衬底洗净装置的旋转保持部保持衬底下表面中央部而旋转。第1及第2直动保持部分别保持衬底下表面周缘部的相互对向的第1及第2区域，且在平行于第1方向的方向往复移动。下表面洗净器在由第1及第2直动保持部保持衬底时洗净衬底下表面中央部，在由旋转保持部将衬底保持及旋转时洗净衬底下表面周缘部。第1直动保持部包含通过吸引而保持衬底的第1区域的多个第1吸附垫；第2直动保持部包含通过吸引而保持衬底的第2区域的多个第2吸附垫。
衬底洗净装置

[发明专利]一种氡的吸收存储方法-CN201110096578.8无效
发明人：周百昌;朱文凯;王新赤;赵锋涛;陈坤;陈军;熊建平 -专利权人：第二炮兵装备研究院第六研究所
申请日： 2011-04-18 - 公布日： 2011-11-23 - 主分类号： C01B23/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种氡的吸收存储方法，包括以下步骤：步骤S100，在吸附用活性炭通过活性炭吸附法吸附空气中的氡达到吸附饱和后，将所述吸附用活性炭升温并将温度保持在160℃±10℃范围，压力保持-0.3～-0.5个大气压范围内，解吸出吸附在所述吸附用活性炭中的氡；步骤S200，将步骤S100中解吸出的氡，利用真空泵以20～25L/min的流量将所述吸附用活性炭中解吸出的氡吸出来，压入滞留炭床储存。本发明的方法可有效地将在有限空间中吸附的氡进行解吸转存储。
一种吸收存储方法

[发明专利]静电吸附电极及其制造方法和基板处理装置-CN201010185980.9有效
发明人：佐佐木芳彦;南雅人;古屋敦城 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2010-05-27 - 公布日： 2010-12-01 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种静电吸附电极及其制造方法和基板处理装置，该静电吸附电极不产生耐电压性能的问题而较薄地形成绝缘覆膜，又能够确保所需吸附力，不需要消除电荷。在具备利用静电力来吸附保持玻璃基板(G)的基板保持面的静电吸附电极(6)中，具备通过喷镀形成的被设置于基材(5)上的绝缘覆膜(41)以及被设置于绝缘覆膜(41)中的、被施加正电压的第一电极层(42a)和被施加负电压的第二电极层
静电吸附电极及其制造方法处理装置

[发明专利]曝光装置、平板显示器的制造方法、元件制造方法、及曝光方法-CN202110485378.5在审
发明人：青木保夫 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2017-09-29 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种液晶曝光装置，其使由非接触固定器(32)非接触地支撑的基板(P)相对于投影光学系统而相对移动，从而相对于基板(P)进行扫描曝光，所述液晶曝光装置包括：保持垫(10044)，保持位于非接触固定器(32)的上方的第1位置的基板(P)的一部分；吸附垫，保持基板(P)的其他部分；第1驱动部，于基板(P)位于第1位置并由吸附垫保持的状态下，使保持垫(10044)自基板(P)的下方朝与上下方向交叉的方向相对移动；以及第2驱动部，使保持基板(P)的第2保持部朝基板(P)非接触地支撑于非接触固定器(32)的第2位置移动；第2驱动部于扫描曝光中，使保持非接触地支撑于非接触固定器(32)的基板(P)的吸附垫相对于投影光学系统而相对移动
曝光装置平板显示器制造方法元件

[发明专利]曝光装置、平板显示器的制造方法、元件制造方法、及曝光方法-CN201780060676.1有效
发明人：青木保夫 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2017-09-29 - 公布日： 2021-05-18 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种液晶曝光装置，其使由非接触固定器(32)非接触地支撑的基板(P)相对于投影光学系统而相对移动，从而相对于基板(P)进行扫描曝光，所述液晶曝光装置包括：保持垫(10044)，保持位于非接触固定器(32)的上方的第1位置的基板(P)的一部分；吸附垫，保持基板(P)的其他部分；第1驱动部，于基板(P)位于第1位置并由吸附垫保持的状态下，使保持垫(10044)自基板(P)的下方朝与上下方向交叉的方向相对移动；以及第2驱动部，使保持基板(P)的第2保持部朝基板(P)非接触地支撑于非接触固定器(32)的第2位置移动；第2驱动部于扫描曝光中，使保持非接触地支撑于非接触固定器(32)的基板(P)的吸附垫相对于投影光学系统而相对移动
曝光装置平板显示器制造方法元件

[实用新型]粘结头组件及具有其的芯片粘结设备-CN201921750312.9有效
发明人：高峰 -专利权人：颀中科技（苏州）有限公司;北京奕斯伟科技有限公司
申请日： 2019-10-18 - 公布日： 2020-04-24 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型揭示了一种粘结头组件及具有其的芯片粘结设备，粘结头组件用于配合驱动器吸附及转移芯片，其包括：主体部，贯穿主体部形成的m个真空吸附通道，m>2,且为正整数，当真空吸附通道开启时，该真空吸附通道利用真空压力保持吸附芯片；所述粘结头组件还包括：选择性堵塞真空吸附通道的堵塞件，其中，堵塞件堵塞真空吸附通道的数量最大为n，最小为0，所述n<m，且n为正整数；当堵塞件堵塞任一真空吸附通道时，被堵塞的真空吸附通道漏真空；当堵塞件脱离真空吸附通道时，真空吸附通道利用真空压力保持吸附芯片。本实用新型可以根据用户需求调整真空吸附通道的开放数量，进而可以使同一粘结头组件适用不同尺寸芯片的吸附需求。
粘结组件具有芯片设备

[实用新型]一种设有新型均压机构的医用PSA制氧设备-CN202122322195.X有效
发明人：蔡利军 -专利权人：浙江正大空分设备有限公司
申请日： 2021-09-25 - 公布日： 2022-01-25 - 主分类号： C01B13/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种设有新型均压机构的医用PSA制氧设备；其特征是还包括设置在吸附器上的均压机构以及设置在吸附器上的便于快速更换吸附剂的换料结构；所述吸附器包含吸附塔A和吸附塔B，所述均压机构包含设置在吸附塔A和吸附塔B之间的均压管路以及与均压管路连接的均压罐。该实用新型通过均压机构的设置使吸附塔A和吸附塔B内的压力通过均压机构保持均衡，当吸附塔A和吸附塔B内压力均过高时，则通过均压管路将其排至均压罐进行缓存，当吸附塔A和吸附塔B内压力过低时，能够在将均压罐内缓冲的气体吸回，保持压力均衡，当压力持续过高时，则通过真空泵将均压罐内的气体排出释放压力，管路少，结构简单，起到压力均衡的同时还能作为备用。
一种设有新型机构医用 psa 设备

[发明专利]基板运送方法和基板运送系统-CN201180036140.9有效
发明人：南展史;武者和博 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2011-07-25 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：在利用运送机器人的保持面(210)对基板进行的保持中使用静电吸盘机构，以在保持面(210)产生静电吸附力的状态下，从支撑面(303)向保持面(210)转运基板(W)。从而，能够在将基板(W)转移至保持面(210)之后立即通过静电吸附力来保持基板，因此能够快速实行基板(W)的运送操作，能够缩短在处理室之间运送基板的时间。
运送方法系统