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[实用新型]光罩弯曲校正装置及曝光机-CN201821346226.7有效
发明人：李亮亮;赵玉财;王璐 -专利权人：咸阳彩虹光电科技有限公司
申请日： 2018-08-21 - 公布日： 2019-03-29 - 主分类号： G03F1/64 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种光罩弯曲校正装置及曝光机，所述光罩弯曲校正装置包括第一光罩保持架、第二光罩保持架及抽真空装置，其中，所述第一光罩保持架为方框形结构，其下表面包括多个第一吸附口，以吸附所述光罩的四周部分；所述第二光罩保持架为杆状结构且与所述第一光罩保持架构成日字形结构，所述杆状结构的下表面包括多个第二吸附口，以吸附所述光罩的中间部分；所述第一光罩保持架和所述第二光罩保持架分别包括连接至抽真空装置的真空接口该光罩弯曲校正装置设置有第一光罩保持架和第二光罩保持架，能够很大程度上减少曝光过程中光罩自身重力导致的下垂，避免光罩上的图案在转印过程中发生失真现象。
光罩保持架弯曲校正装置抽真空装置杆状结构曝光机吸附口下表面吸附本实用新型方框形结构曝光过程失真现象真空接口转印过程字形结构下垂架构图案

[实用新型]一种落球装置-CN202021557347.3有效
发明人：李婷;逯正旺;赵学军 -专利权人：凯茂科技（深圳）有限公司
申请日： 2020-07-30 - 公布日： 2021-01-19 - 主分类号： G01N3/303 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种落球装置，包括：主架体，设置有工作平台；具有中通管道的落球保持柱，设置在所述工作平台正上方，所述落球保持柱的下端设置有吸附面，所述中通管道的第一开口连通第一真空泵，所述中通管道的第二开口设置在所述吸附面，所述落球保持柱可以吸附或释放钢球。在第一真空泵的作用下，钢球可以吸附在落球保持柱下端的吸附面上，且在每次测试过程中均从同一高度由静止释放后自由下落，由于空气摩擦阻力几乎可以忽略不计，钢球落点的位置不会产生偏移，确保了落球测试的准确性，提高了落球测试的精度
一种装置

[发明专利]基板搬运装置以及基板搬运方法-CN202110798153.5在审
发明人：辻泽孝文 -专利权人：松下知识产权经营株式会社
申请日： 2021-07-14 - 公布日： 2022-01-28 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：基板搬运装置(100)具备：搬运臂(63)，具有用于吸附基板的第1面来进行保持的第1吸附部(65)；移动部(64)，使搬运臂(63)移动；和工作台(72)，载置基板。工作台(72)具有第2吸附部(73)，该第2吸附部被设置为从工作台(72)的上表面突出，用于吸附基板中的与第1面对置的第2面来进行保持。在保持在搬运臂(63)以及工作台(72)的一者的基板交接至另一者时，第1吸附部(65)通过移动部(64)而移动到与第2吸附部(73)对置的位置。
搬运装置以及方法

[发明专利]吸附板和吸附板的制造方法-CN200910179455.3无效
发明人：梶山启一;五木田洋平;原田晴司 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2009-10-13 - 公布日： 2010-06-16 - 主分类号： B24B7/22 文献下载
摘要：本发明提供一种卡盘工作台用吸附板及其制造方法，该卡盘工作台用吸附板适于进行磨轮的磨削面与卡盘工作台的保持面之间的找平。上述吸附板是吸引保持被加工物的保持工作台用吸附板，该吸附板由粒径为200μm～800μm的硅粒子一体烧结而形成。关于多孔状吸附板，将粒径为200μm～800μm硅粒子按体积比为50％～80％、与粒径为150μm以下的硅粒子按体积比为50％～20％混合，并将得到的混合物在真空气氛、惰性气体气氛或者还原气氛的任一种气氛中、且在0.1～20MPa的压力下以1200℃～1350℃的温度进行烧结，从而形成上述多孔状吸附板。
吸附制造方法

[发明专利]蒸发燃料处理装置-CN201310227249.1无效
发明人：荒濑雄治;吉田博行;堀松俊宣 -专利权人：株式会社马勒滤清系统
申请日： 2013-06-08 - 公布日： 2014-01-01 - 主分类号： B01D53/04 文献下载
摘要：一种蒸发燃料处理装置，包括筒形外壳主体、填充在外壳主体中的粒状吸附剂、叠加在粒状吸附剂上的透气部件、叠加在透气部件上的保持部件以及布置在外壳主体的内周表面和保持部件的外周表面之间的齿形定位保持机构。齿形定位保持机构允许保持部件将透气部件保持在压缩变形状态，能够在保持部件的推动方向上相对于外壳主体将保持部件定位和保持在可选位置，并且抑制保持部件在保持部件的去除方向上的位移。
蒸发燃料处理装置

[发明专利]接合装置和接合方法-CN202110492000.8在审
发明人：菅川贤治;大森阳介 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-05-06 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： H01L21/18 文献下载
摘要：实施方式所涉及的接合装置具备保持部、按压部以及曲率调整部。保持部用于对要被接合的基板进行吸附保持。按压部与被保持部吸附保持的基板的中心部接触地按压基板，来使基板的中心部突出。
接合装置方法

[发明专利]用于移动焊接机器人的柔性磁吸附方法-CN201210489710.6有效
发明人：毛志伟;周少玲;石志新;王艳庆 -专利权人：南昌大学
申请日： 2012-11-27 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： B23K37/02 文献下载
摘要：用于移动焊接机器人的柔性磁吸附方法，其吸附装置包括第一导磁轭铁、第一磁块、隔磁块、第二磁块、第二导磁轭铁、第三导磁轭铁和柔性导磁介质；第一导磁轭铁、第一磁块、隔磁块、第二磁块、第二导磁轭铁、第三导磁轭铁等组成的吸附单元，其特征是在吸附单元与工件之间，增加一柔性导磁介质，使吸附单元、柔性导磁介质与工件形成磁路，且当吸附单元与工件距离变化时，柔性导磁介质始终保持与吸附单元、工件之间相接触，保持磁路。本发明具有结构简单、易于实现；因在吸附单元与工件间增加导磁率远大于空气的柔性导磁介质，两者间隙变化时，柔性导磁介质始终能保持与两者接触，且导磁率变化很小，当吸附单元与工件之间间隙变化时，吸附力变化很小。
用于移动焊接机器人柔性吸附方法

[发明专利]基片处理装置和基片处理方法-CN201910909737.8在审
发明人：筱崎贤哉 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2019-09-25 - 公布日： 2020-04-14 - 主分类号： B05C9/06 文献下载
摘要：实施方式的基片处理装置包括保持部、输送部、调节部、涂敷部和控制部。保持部具有吸附基片的下表面的多个吸附垫，用于保持基片。输送部沿输送方向输送保持部。调节部调节保持部的倾斜度。涂敷部对基片涂敷处理液。控制部用调节部控制涂敷部的正下方的保持部的倾斜度。本发明能够均匀地形成涂敷膜。
处理装置方法

[发明专利]输送载体、蒸镀装置以及电子器件的制造装置-CN201911279985.5有效
发明人：小川滋之;柴田匠;塚本健太;秋田和夫 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2019-12-13 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：输送载体能够同时保持掩模和基板，蒸镀装置能够高精度地保持掩模和基板的对准并进行蒸镀。输送载体具备能够保持蒸镀对象的基板的载体主体，一边保持所述基板一边在蒸镀装置内进行输送，其特征在于，所述载体主体具备磁吸附构件，所述磁吸附构件在隔着所述基板对掩模进行磁吸附而使所述掩模紧贴于所述基板的成膜面的状态下进行保持
输送载体装置以及电子器件制造

[发明专利]图案形成装置、设置基板的方法和制造物品的方法-CN201710405956.3有效
发明人：舟桥直纪 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2017-06-01 - 公布日： 2021-03-12 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：图案形成装置在基板上形成图案，该图案形成装置包括可移动的载台；保持单元，所述保持单元能移除地附接到所述载台并且被配置成吸附和保持基板；光学系统，所述光学系统的位置相对于保持单元被固定，并且被配置成检测基板的对准标记，其中所述基板被保持单元从基板的吸附表面侧吸附；参考标记，用于测量光学系统的检测场的位置；以及检测系统，被配置成检测所述参考标记。基板根据由检测系统检测到的参考标记的位置被设置在保持单元上，使得通过光学系统从基板的吸附表面侧检测到的基板的对准标记被设置在光学系统的检测场中。
图案形成装置设置方法制造物品

[发明专利]用于纯化生物物质的系统和方法-CN201080016874.6无效
发明人：杰弗里·L·赫尔飞;李安农·R·加布雷斯基;莫里斯·A·希达尔 -专利权人：第菲尼特基因组学公司
申请日： 2010-02-13 - 公布日： 2012-05-02 - 主分类号： C12M1/00 文献下载
摘要：远端保持器位于所述壳体内并在所述远端开口上方。近端保持器位于所述壳体内所述远端保持器和所述近端开口之间，或者与所述近端开口相邻、接触、或在所述近端开口上。所述系统还包含吸附材料，例如官能化颗粒，所述吸附材料在所述壳体内并被约束在所述远端保持器和所述近端保持器之间。所述吸附材料吸附不期望的物质，而同时拒绝期望的物质。
用于纯化生物物质系统方法

[发明专利]电子部件输送装置及电子部件检查装置-CN201910907417.9有效
发明人：柳沢诚 -专利权人：北星科技股份有限公司
申请日： 2019-09-24 - 公布日： 2021-11-05 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本发明提供了在吸附电子部件的吸附力下降时，能够检测到该吸附力下降的电子部件输送装置及电子部件检查装置。所述电子部件输送装置的特征在于，其具备：第一保持部及第二保持部，通过吸附而保持电子部件；吸引部，付与使第一保持部及第二保持部吸附电子部件的吸附力；吸引流路；第一分支流路；第二分支流路；第一开闭部，开闭第一分支流路；第二开闭部，开闭第二分支流路；第一压力检测部，检测第一分支流路内的第一压力；第二压力检测部，检测第二分支流路内的第二压力；和控制部，在通过第一开闭部将第一分支流路设为开状态从而使第一保持部吸附电子部件
电子部件输送装置检查

[发明专利]茉莉花香气物质提取前的生态养花方法-CN201310440424.5有效
发明人：陈艳影 -专利权人：广西茉莉花开发投资有限公司
申请日： 2013-09-25 - 公布日： 2014-01-22 - 主分类号： C11B9/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种对茉莉花香气物质提取前的生态养花，通过以下步骤实现的：1）采摘含苞欲放的花蕾，放到布袋保存；2）置于可控温控湿的房子，温度控制在20-45℃，控制方法是25－30℃保持3－6小时，30－40℃保持3－6小时，40－45℃保持3－6小时，湿度控制在50-85%，利用日光灯控光让花开放；3）吸附方法：将开放的鲜花和吸附剂装进密闭容器中，每公斤鲜花要0.5-1公斤的吸附剂，以一层花一层吸附剂方式堆积，香气吸附时间5－10小时，基本上吸完香味以后，拿出吸附剂放到容器中，密闭存放，存放温度4－10℃；4）用CO2液体超临界或者浸泡法提取吸附剂中吸附的香气。
茉莉花香气物质提取生态养花方法

[实用新型]一种吸附式气体净化设备-CN200920301025.X有效
发明人：杨克剑 -专利权人：北京国能时代能源科技发展有限公司;杨克剑
申请日： 2009-03-03 - 公布日： 2009-12-23 - 主分类号： B01D53/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种吸附式气体净化设备，它包括至少一个吸附单元、冷却系统和加热系统，每个吸附单元具有至少有两个吸附塔，每个吸附塔均配备有加热冷却器；在每个吸附单元内，吸附塔和加热冷却器交替串联在一起；第一吸附塔的进气通道连接原料气输入口和再生气输出口由于加热冷却器使再生气在加热过程中保持较高温度、在冷却过程中保持较低温度，再生气使用量明显减少；同时原料气在净化过程中能保持较低温度，净化效果更好。
一种吸附气体净化设备

[发明专利]基板保持部件和基板接合装置-CN201310072650.2无效
发明人：前田荣裕;片桐惠 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2008-10-30 - 公布日： 2013-08-21 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供基板保持部件、基板接合装置、叠层基板制造装置、基板接合方法、叠层基板制造方法和叠层半导体装置制造方法。使用利用永磁体的吸引力夹持接合基板的基板保持部件，接合基板。本发明的保持位置匹配而叠层的一对基板的基板保持部件包括：第一保持部件，其保持一对基板中的一方；多个被结合部件，其与第一保持部件连结；第二保持部件，其与一方的基板相对并保持一对基板的另一方的基板；多个结合部件，其具有作用于被结合部件的吸附力，并与被结合部件的位置对应地与第二保持部件连结；以及吸附限制部，其限制吸附力直至一对基板位置匹配。
保持部件接合装置

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