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[发明专利]洗净装置以及洗净方法-CN201080020516.2有效
发明人：鹿田延秀;泉孝宪 -专利权人：村田机械株式会社
申请日： 2010-04-13 - 公布日： 2012-04-18 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：在洗净装置中缩短洗净动作时间。开盒器(21)是用于向具有盒罩(5)和开闭自如的底盖(7)的中间掩模盒(1)内供给清洁气体以及从中排出而进行洗净的装置，并具备载物台(25)、升降驱动机构(41)、锁机构(13)、以及给排部(49)。给排部(49)在完成锁部件(15)将底盖(7)固定于盒罩(5)的动作之前，开始进行洗净。
洗净装置以及方法

[发明专利]洗净装置及洗净方法-CN02814099.0无效
发明人：水户清;太田胜久;增冈真二;浅田裕 -专利权人：夏普株式会社;夏普工业控制系统株式会社
申请日： 2002-07-12 - 公布日： 2004-09-08 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：一种洗净装置及其洗净方法，在可得到真空状态的真空容器1中包括：具有贮留洗净液(5)的贮槽部(6a)、在该贮槽部(6a)中收容被洗净物(3)的洗净槽(5)；以及内部具有所定空间(7a)、向洗净液(5)施加超声波振动的超声波振动子单元(7)，超声波振动子单元(7)的所定空间(7a)从吸入口(10a)经由止回阀(11)向洗净用真空容器(1)内开口。由此，提供一种可抑止主要构件内外及其这些构件相互间的压力差，不用特意采取措施即可容易地维持气密性，并且即使在使用了可燃性的洗净液的场合对防止火灾和爆炸的安全性也优良的真空超声波方式的洗净装置。
洗净装置方法

[发明专利]采用洗净剂的洗净方法-CN94104357.6无效
发明人：稻田实;冠木公明;今城康隆;小国尚之;八木典章;齐藤信宏;栗田明嗣;竹泽好昭 -专利权人：东芝硅株式会社
申请日： 1990-10-25 - 公布日： 1999-03-03 - 主分类号： C23G5/032 文献下载
摘要：本发明洗净方法所用洗净剂可代替氟系洗净剂，不会污染或破坏环境，具安全和稳定性。洗净对象为金属、玻璃、陶瓷、电子、半导体、光学以及表面处理等部件。所用洗净剂包括选自直链聚二有机硅氧烷和环状聚二有机硅氧烷中至少一种的低分子量聚有机硅氧烷、含聚氧亚烷基的聚有机硅氧烷、表面活性剂、水，或亲水性溶剂。在洗净工序和漂洗工序中可同时对其废液进行回收、再生。在精细洗净工序中进行最终洗净、将残留表面的洗净液置换并使其干燥。
采用洗净方法

[发明专利]洗净方法及此洗净方法所使用的洗净装置-CN201710066451.9在审
发明人：鹈饲笃司;尾崎健二;前田南 -专利权人：光洋机械产业株式会社
申请日： 2017-02-07 - 公布日： 2017-08-22 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本发明提供一种洗净方法及其所使用的洗净装置，该方法是用于洗净附着有切削油时，无须温度控制洗净液，即可抑制气泡产生以进行有效洗净的洗净方法。本发明的洗净方法，是一种使用于洗净装置的洗净方法，洗净装置包括洗净槽，用于收容被洗净物；鼓风机，供给空气；以及输送管，使自鼓风机供给的空气往洗净槽输送；其特征在于其具有浸渍工序，注入包含洗净剂液的水溶液到洗净槽，浸渍被洗净槽收纳的被洗净物到水溶液中；以及洗净工序，驱动鼓风机，喷出空气到被注入洗净槽的水溶液中，藉此洗净被洗净物。洗净剂液是含有硅酸盐、磷酸盐、碳酸盐及螯合剂中的至少一种的不含表面活性剂的碱性洗净剂液。
洗净方法使用装置

[发明专利]洗净材料制造方法、洗净材料制造装置和洗净系统-CN200510005734.X无效
发明人：田中健;山本刚士;多田益太 -专利权人：太阳日酸株式会社
申请日： 2005-01-17 - 公布日： 2005-12-21 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：提供一种制造能良好而且有效地洗净衬底等的洗净材料的方法。从洗净材料制造容器5的一端部形成的过冷却液喷出口62，采用使水或水和比其凝固点低的有机化合物液的混合液作为原料液冷却到过冷却状态的过冷却液1c象洗净材料制造容器5内喷出的办法，在净材料制造容器5内形成过冷却液1c的紊流区域53，通过使过冷却液喷出口62喷出的过冷却液1c的一部分和洗净材料制造容器5内发生的籽冰93a接触，使其相变为冰粒子，同时在紊流区域53的紊流搅拌使冰粒子生长，就得到成为冰粒子和液体混合固液共存的冰冻果子露状洗净材料1，这样得到的洗净材料1就从洗净材料制造容器5向连接它的另一端的洗净材料供给管路7流出。
洗净材料制造方法装置系统

[发明专利]逆渗透膜的洗净剂、洗净液及洗净方法-CN201580054150.3有效
发明人：川胜孝博;石井一辉 -专利权人：栗田工业株式会社
申请日： 2015-10-01 - 公布日： 2019-01-22 - 主分类号： B01D65/06 文献下载
摘要：本发明提供一种具有抑制由洗净引起的逆渗透膜的阻挡率下降的效果的洗净剂、洗净液及利用所述洗净液的逆渗透膜的洗净方法。所述洗净剂含有脲衍生物的逆渗透膜。所述洗净液包含将所述洗净剂稀释而成的水溶液。所述洗净方法为使用所述洗净液将逆渗透膜洗净的方法。脲或缩二脲形成为接近芳香族聚酰胺系逆渗透膜的酰胺键的结构，与酰胺键部分的亲和性强，通过吸附于酰胺键部分，从而抑制由洗净液引起的酰胺键的切断。
逆渗透洗净液洗净洗净剂酰胺键脲衍生物缩二脲芳香族聚酰胺亲和性吸附稀释优选阻挡

[发明专利]洗净水生成装置、食品洗净装置及食品洗净系统-CN201480073752.9有效
发明人：大野喜智;根来好星 -专利权人：大和房屋工业株式会社
申请日： 2014-03-24 - 公布日： 2020-06-12 - 主分类号： A23N12/02 文献下载
摘要：洗净水生成装置(1)包括接受自来水的受水部(11)、使用所接受的自来水生成电解水的电解部(12)、和洗净水供给部(15)。洗净水供给部(15)将在电解部(12)生成的电解水及自来水作为洗净水供给洗净装置(2)。洗净装置(2)按照与从洗净水供给部(15)供给的洗净水的种类分别对应的多种洗净模式、选择性地进行食品的洗净运转。
洗净水生装置食品系统

[发明专利]反渗透膜用洗净剂、洗净液及洗净方法-CN201680039616.7有效
发明人：石井一辉;川胜孝博 -专利权人：栗田工业株式会社
申请日： 2016-03-23 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： B01D65/06 文献下载
摘要：一种RO膜用洗净剂，其包含脂肪族酰胺和/或芳香族酰胺，当用于水处理的RO膜、特别是芳香族聚酰胺系RO膜污染而使透过通量、差压、脱盐率等的性能降低时，有效地去除用以往的洗净剂不能充分去除的污染物质。一种使用该洗净剂或洗净液洗净RO膜的方法。脂肪族酰胺和/或芳香族酰胺、特别是水溶性且分子量较小的脂肪族酰胺和/或芳香族酰胺，对附着于芳香族聚酰胺系RO膜的污染物质产生高的洗净效果。
反渗透洗净方法

[发明专利]反渗透膜用洗净剂、洗净液以及洗净方法-CN201680042882.5在审
发明人：石井一辉;川胜孝博 -专利权人：栗田工业株式会社
申请日： 2016-03-23 - 公布日： 2018-03-27 - 主分类号： B01D65/06 文献下载
摘要：一种RO膜用洗净剂，其包含醛糖酸和/或其盐，当用于水处理的RO膜、特别是海水淡水化中使用的芳香族聚酰胺系RO膜污染而使透过通量、差压、脱盐率等的性能降低时，有效地去除用以往的洗净剂不能充分去除的污染物质一种使用该洗净剂或洗净液洗净RO膜的方法。除了洗净时碱条件下的剥离效果、水解效果，还包括醛糖酸和/或其盐对重金属的螯合作用、进而包括联用阴离子系界面活性剂时阴离子系界面活性剂对污染物质的剥离效果、以及联用分子量为1000以下的多元醇化合物时多元醇化合物对污染物质的润湿、溶胀效果，它们协同地作用从而能提高碱洗净效果。
反渗透洗净以及方法

[发明专利]衬底洗净装置及衬底洗净方法-CN202111571492.6在审
发明人：篠原敬 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2021-12-21 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种衬底洗净装置及衬底洗净方法。衬底洗净装置包含：衬底保持部，将衬底以水平姿势保持；及一面洗净装置，洗净由衬底保持部保持的衬底的一面。一面洗净装置包含：洗净具，以可与衬底的一面接触的方式设置；流体缸，对洗净具施加朝向上方的力；及缸驱动部，驱动流体缸。缸驱动部在待机时，以对洗净具施加朝向上方的第1力的方式，驱动流体缸。另外，缸驱动部在洗净衬底的一面时，以在洗净具与衬底的一面接触的状态下，对洗净具施加朝向上方且与第1力不同的第2力，由此洗净具以预先设定的力推压一面的方式，驱动流体缸。
衬底洗净装置方法

[发明专利]衬底洗净装置及衬底洗净方法-CN202210659023.8在审
发明人：中村一树;石井淳一;筱原智之;髙桥拓马 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2022-06-10 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种衬底洗净装置及衬底洗净方法。本发明通过衬底保持部将衬底以水平姿势保持。在处理位置，通过下表面刷子将由衬底保持部保持的衬底的下表面洗净。在与由衬底保持部保持的衬底于上下方向重叠且位于处理位置的下方的待机位置，通过刷子洗净部将下表面刷子洗净。下表面刷子通过下表面刷子升降驱动部在处理位置与待机位置之间升降。
衬底洗净装置方法

[发明专利]衬底洗净装置及衬底洗净方法-CN202210719627.7在审
发明人：筱原智之;中村一树;冈田吉文;髙桥拓马;筱原敬;冲田展彬;石井淳一 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2022-06-23 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种衬底洗净装置及衬底洗净方法。通过一边使洗净器具接触由第1保持部保持的衬底的下表面中央区域，一边使洗净器具绕中心轴旋转，而将下表面中央区域洗净。使洗净器具接触通过第2保持部而旋转的衬底的下表面外侧区域，由此将下表面外侧区域洗净。以如下方式使设置着第2保持部及洗净器具的可动基座在水平面内移动，即，当在第1保持部与第2保持部之间交接衬底时，俯视下第1保持部的基准位置与第2保持部的中心轴一致，在对下表面中央区域进行洗净时，俯视下洗净器具与由第1保持部保持的衬底的下表面中央区域重叠，且洗净器具的中心轴和衬底的与中心不同的第1部分一致。
衬底洗净装置方法

[发明专利]衬底洗净装置及衬底洗净方法-CN202210773648.7在审
发明人：筱原智之;石井淳一;中村一树;冈田吉文;髙桥拓马;筱原敬;冲田展彬 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2022-07-01 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种衬底洗净装置及衬底洗净方法。通过将洗净工具接触于由第1保持部保持的衬底的下表面中央区域来将下表面中央区域洗净。通过将洗净工具接触于由第2保持部旋转的衬底的下表面外侧区域来将衬底的下表面外侧区域洗净。在下表面中央区域的洗净时，在不保持衬底的状态下使第2保持部绕铅直轴旋转。或，在下表面中央区域的洗净时，通过配置在洗净工具与第2保持部之间的气体喷出部从只离开衬底特定距离的第1高度向衬底喷出气体，且在下表面中央区域的干燥时，通过气体喷出部从比第1高度更接近衬底的第2高度向衬底喷出气体
衬底洗净装置方法

[发明专利]基板洗净方法和基板洗净装置-CN200910128635.9有效
发明人：吉原孝介;吉田勇一;山本太郎 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2009-03-16 - 公布日： 2009-10-07 - 主分类号： G03F7/26 文献下载
摘要：本发明是对水的静接触角是85度以上的基板表面进行洗净的方法。包含如下工序：以基板的中心部和旋转中心部一致的方式使基板保持部水平保持基板；使所述基板保持部围绕垂直轴旋转的同时，从洗净喷嘴向基板的中心部喷出洗净液，通过离心力扩展到基板的表面整体；接着在使基板保持部旋转的状态下将基板上的洗净液的喷出位置变更到从基板的中心部偏移的偏心位置上，并在将洗净液的喷出位置的气体喷出位置侧界面和气体喷嘴的气体喷出位置的洗净液喷出位置侧界面的距离设定为9mm～15mm的状态下，从所述气体喷嘴向所述基板的中心部喷出气体形成洗净液的干燥区域；在使基板保持部旋转的状态下，以比所述干燥区域向外扩展的速度慢的速度使洗净液的喷出位置向基板的周缘移动。
洗净方法装置

[发明专利]基板洗净方法和基板洗净装置-CN201210156325.X有效
发明人：吉原孝介;吉田勇一;山本太郎 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2009-03-16 - 公布日： 2012-09-05 - 主分类号： G03F7/26 文献下载
摘要：本发明是对水的静接触角是85度以上的基板表面进行洗净的方法。包含如下工序：以基板的中心部和旋转中心部一致的方式使基板保持部水平保持基板；使所述基板保持部围绕垂直轴旋转的同时，从洗净喷嘴向基板的中心部喷出洗净液，通过离心力扩展到基板的表面整体；接着在使基板保持部旋转的状态下将基板上的洗净液的喷出位置变更到从基板的中心部偏移的偏心位置上，并在将洗净液的喷出位置的气体喷出位置侧界面和气体喷嘴的气体喷出位置的洗净液喷出位置侧界面的距离设定为9mm～15mm的状态下，从所述气体喷嘴向所述基板的中心部喷出气体形成洗净液的干燥区域；在使基板保持部旋转的状态下，以比所述干燥区域向外扩展的速度慢的速度使洗净液的喷出位置向基板的周缘移动。
洗净方法装置

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