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[发明专利]基板保持部件、基板接合装置、叠层基板制造装置、基板接合方法、叠层基板制造方法和叠层半导体装置制造方法-CN200880114438.5有效
发明人：前田荣裕;片桐惠 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2008-10-30 - 公布日： 2010-10-27 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供基板保持部件、基板接合装置、叠层基板制造装置、基板接合方法、叠层基板制造方法和叠层半导体装置制造方法。使用利用永磁体的吸引力夹持接合基板的基板保持部件，接合基板。本发明的保持位置匹配而叠层的一对基板的基板保持部件包括：第一保持部件，其保持一对基板中的一方；多个被结合部件，其与第一保持部件连结；第二保持部件，其与一方的基板相对并保持一对基板的另一方的基板；多个结合部件，其具有作用于被结合部件的吸附力，并与被结合部件的位置对应地与第二保持部件连结；以及吸附限制部，其限制吸附力直至一对基板位置匹配。
保持部件接合装置叠层基板制造方法半导体

[发明专利]检测装置和检测方法-CN201810687289.7在审
发明人：高须将也 -专利权人：兄弟工业株式会社
申请日： 2018-06-28 - 公布日： 2019-01-15 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：PC(个人计算机)基于拍摄部拍摄到的拍摄图像来检测由吸附机构在吸附面保持的布料的位置。拍摄部能够对包含保持于吸附面的布料的预定的拍摄区域进行拍摄。吸附机构包括在吸附面的内侧保持布料并将该布料向缝纫机交接的带电装置。PC从拍摄部拍摄到的拍摄图像确定作为与吸附面相对应的区域的候选的候选区域。PC利用轮廓跟踪来确定确定下来的候选区域的轮廓位置。
布料拍摄吸附候选区域检测装置轮廓位置拍摄图像吸附机构检测个人计算机带电装置检测对象轮廓跟踪拍摄区域吸附面缝纫机交接图案

[发明专利]压印装置、使用该压印装置的物品制造方法和压印方法-CN201210493215.2有效
发明人：宫田巨树 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2012-11-28 - 公布日： 2013-06-05 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：该压印装置包括：保持单元，被配置为通过使用包含多个吸附力产生部的吸附单元来保持模具；吸附力调整单元，被配置为能够调整所述多个吸附力产生部的吸附力；以及形状校正单元，被配置为通过向所述模具施加力来使所述模具的图案区域的形状与所述基板的基板侧图案区域的形状对准在通过使用所述形状校正单元向所述模具施加力的情况下，所述吸附力调整单元将向所述模具施加吸附的吸附表面的预定区域配置为吸附区域，并且，调整多个吸附力产生部的吸附力，使得其它区域上的吸附力比所述吸附区域上的吸附力小
压印装置使用物品制造方法

[发明专利]加工装置和加工方法-CN202080009612.0在审
发明人：池上和哉 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-01-16 - 公布日： 2021-08-24 - 主分类号： B24B55/06 文献下载
摘要：一种加工装置，其用于对基板进行加工，其中，该加工装置包括：基板保持部，其具有用于吸附保持所述基板的基板保持面；以及外缘清洗部，其用于清洗所述基板保持面的外缘部。此外，一种加工方法，其对使用所述加工装置的基板的背面进行加工，该加工方法包含以下工序：在利用基板保持部的基板保持面吸附保持所述基板的表面的状态下对所述基板的背面进行加工；以及对所述基板保持面的外缘部进行清洗
加工装置方法

[发明专利]周期吸附控制方法和控制器-CN201080013425.6有效
发明人： P.W.贝兰格;M.S.A.贝克什;P.钱德拉;A.C.罗辛斯基 -专利权人：普莱克斯技术有限公司
申请日： 2010-03-12 - 公布日： 2016-11-30 - 主分类号： B01D53/04 文献下载
摘要：本发明提供控制吸附剂床单元的方法和控制系统，其中测量吸附剂床单元的吸附剂床内的吸附剂床杂质浓度。通过控制进料周期时间——在此期间吸附剂床吸附杂质——来控制吸附剂床浓度，以使吸附剂床浓度保持在目标吸附床浓度。测定目标吸附床浓度以使产物杂质浓度保持在产物杂质浓度目标值。该方法和控制系统可包括响应产物杂质浓度水平和相关目标值以确定目标吸附床浓度的监督控制级和基于测得和目标吸附床浓度之间的误差计算进料周期时间的主要控制级。比例积分控制可用于此类用途。
周期吸附控制方法控制器

[发明专利]图像形成装置及图像形成方法-CN201110175607.X无效
发明人：兼古佳明;近藤博文;井口健 -专利权人：株式会社东芝;东芝泰格有限公司
申请日： 2011-06-27 - 公布日： 2011-12-28 - 主分类号： B41J13/00 文献下载
摘要：一种图像形成装置及图像形成方法，该图像形成装置包括卷曲形成部、环形设备、吸附部以及图像形成部。卷曲形成部用于在记录介质上形成卷曲。环形设备用于保持通过卷曲形成部形成有卷曲的记录介质。吸附部用于向记录介质赋予使其吸附在环形设备的表面上的吸附力。图像形成部用于通过由吸附部赋予的吸附力，将图像形成在被保持在环形设备的表面的状态下的记录介质上。
图像形成装置方法

[发明专利]板材的分离方法-CN200680004821.6有效
发明人：丸山学;中川义明;中尾敬一郎 -专利权人：本田技研工业株式会社
申请日： 2006-02-13 - 公布日： 2008-02-06 - 主分类号： B21D43/24 文献下载
摘要：首先，在最上板材(W1)的表面呈格子状地吸附配置多个吸附垫(3)，接着，在大体呈格子状地配置的吸附垫(3)中，由呈锯齿状地配置的吸附垫(3)保持最上板材(W1)的同时，由其余的吸附垫(3)抬升最上板材(最后，将保持最上板材(W1)的吸附垫(3)抬升起来。
板材分离方法

[实用新型]医疗用品室杀菌除臭器-CN201320342623.8有效
发明人：王玉强 -专利权人：深圳市知健医疗科技有限公司
申请日： 2013-06-09 - 公布日： 2013-12-11 - 主分类号： F24F5/00 文献下载
摘要：一种医疗用品室杀菌除臭器，该杀菌除臭器包括紫外杀菌单元、异味吸附单元和除湿单元，该紫外杀菌单元具有正面和背面，而该异味吸附单元和除湿单元设置在该紫外杀菌单元的背面。本实用新型通过除湿单元除去空气中多余的水分，保持室内环境干燥，而异味吸附单元中包含能吸附空气中异味分子的含碳除臭包，保持室内无异味；最主要的是通过紫外线杀菌除臭器，对室内的细菌和微生物进行杀灭，保持无菌环境
医疗用品杀菌除臭

[发明专利]静电吸盘及其制造方法-CN200980141296.6有效
发明人：辰巳良昭;藤田隆仁;天满康之;藤泽博 -专利权人：创意科技股份有限公司
申请日： 2009-10-13 - 公布日： 2011-09-14 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：提供一种静电吸盘，能够减少从基板吸附面向基板的污染物附着，能够最优地保持基板的接触面积并且高效地进行经由静电吸盘的冷却。该静电吸盘将由弹性材料构成的具备多个凸部的弹性吸附层设为基板吸附面，并经由该弹性吸附层来吸附/保持基板，当将弹性吸附层中的凸部的高度设为h(m)，将基板吸附面中的单位面积上的凸部的数量设为n(个/m2)，将凸部中的顶面的面积设为A(m2)，形成凸部的弹性材料的弹性率设为E(Pa)，以吸附力F(Pa)来吸附/保持整体的平整度为Wh(m)的基板时，在吸附力F作用的方向上凸部收缩的量δ(m)满足下述关系式(1)，且基板吸附面中的单位面积上的凸部顶面的总面积的比例ξ为10％以上，5Wh≥δ≥0.5Wh，δ＝(h/nA)·(F/E)…(1)。
静电吸盘及其制造方法

[发明专利]工作台装置、成膜装置、光学元件、半导体元件及电子设备-CN200410033309.7无效
发明人：渡边信子 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2004-04-02 - 公布日： 2004-10-13 - 主分类号： B41J2/01 文献下载
摘要：一种吸附保持基板(100)的工作台装置(40)，设有由多孔体构成并具有基板吸附面的吸附部(43)、和配置于所述吸附部的所述基板吸附面上并且接地的导电膜(44)。
工作台装置光学元件半导体电子设备

[发明专利]卸货装置-CN202211094927.7在审
发明人：伊藤和俊;依田智 -专利权人：株式会社大福
申请日： 2022-09-08 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： B65G1/04 文献下载
摘要：本发明涉及卸货装置，从堆叠物品组将部分物品组分离的卸货装置（1）具备把持装置（10）、吸附装置、第1升降装置、第2升降装置、第1搬运装置（60），前述把持装置将一层的部分物品组作为把持对象物品组，将把持对象物品组的侧周面把持，将把持对象物品组及比其靠上的层的部分物品组保持，前述吸附装置具备多个吸附部，并且吸附部彼此独立地动作，将最上层的部分物品组设为吸附对象物品组，前述吸附部将构成吸附对象物品组的多个物品的各自的上表面吸附，保持物品，前述第1升降装置使载置部和把持装置相对地升降，前述第2升降装置使吸附装置和把持装置相对地升降，前述第1搬运装置将把持装置保持着的部分物品组从把持装置接收来搬运。
卸货装置

[发明专利]输送装置及涂布系统-CN201110074994.8无效
发明人：滨川健史;森俊裕 -专利权人：东丽工程株式会社
申请日： 2011-03-28 - 公布日： 2011-10-05 - 主分类号： B05C5/00 文献下载
摘要：本发明提供输送装置及涂布系统，能够将浮起的基板牢固地保持，并且将被保持的基板通过简单的结构使其整体变为平坦。其中，输送基板(W)的输送装置(40)包括：浮起载物台(1)，将基板浮起；吸附机构(3)，吸附被浮起的基板侧部底面(9)；输送驱动装置，通过移动吸附机构，将吸附机构所吸附的基板以浮起至规定高度(h)的状态输送吸附机构包括：阻挡器(10)，具有接触面(11)，通过使基板侧部底面接触，使所述基板侧部定位在所述规定高度上；吸附垫(20)，能够吸附基板侧部底面，在吸附之前突出至接触面之上规定尺寸(S)，吸附之后向下收缩规定尺寸
输送装置系统

[实用新型]一种真空吸附装置-CN201821262347.3有效
发明人：黎进;朱思辉;周健;王新中 -专利权人：重庆金山医疗器械有限公司
申请日： 2018-08-06 - 公布日： 2019-07-19 - 主分类号： A61B5/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种真空吸附装置，属于医疗器械技术领域。它解决了现有的检测设备固定装置需要刺穿黏膜，易导致黏膜坏死的问题。本真空吸附装置，包括内部具有吸附腔的吸附座体，吸附座体的头端设有与吸附腔连通的抽气孔，吸附座体的尾端设有用于连接检测装置的连接部，吸附座体的侧部设有与吸附腔连通的吸入孔，吸入孔处安装有与吸附腔连通的吸盘，吸附座体内设有当吸盘吸附到器官壁上时用于使吸盘保持吸附状态的保持结构。
吸附座体吸附腔真空吸附装置连通吸盘本实用新型吸入孔坏死连接检测装置医疗器械技术连接稳定性固定装置检测设备吸附状态吸盘吸附抽气孔器官壁吸附座掉落刺穿头端尾端体内

[发明专利]基板固定装置、静电吸盘及制造静电吸盘的方法-CN202110665641.9在审
发明人：原山洋一;竹元启一 -专利权人：新光电气工业株式会社
申请日： 2021-06-16 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：基板固定装置包括：底板；以及静电吸盘，其固定于底板并且构造成通过静电力吸附对象。静电吸盘包括：吸附层，其构造成吸附并且保持对象；以及加热器层，其设置在吸附层与底板之间并且构造成对由吸附层保持的对象进行加热。加热器层的厚度在加热器层的整个区域上是均匀的。
固定装置静电吸盘制造方法

[实用新型]一种真空保持组件及吸附传送装置-CN201922154908.9有效
发明人：王全林;韦海旺;辛鑫;张思权;彭威 -专利权人：深圳市道元实业有限公司
申请日： 2019-12-04 - 公布日： 2020-07-17 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空保持组件及吸附传送装置，涉及机械传送设备技术领域。包括腔体，所述腔体上设置有吸附组件和腔体连通阀，所述吸附组件用于吸附待固定工件，所述腔体连通阀包括阀芯、弹性件和设置在阀体上的通孔，所述弹性件与所述阀芯连接，以使所述阀芯将通孔密封。使用时无需与真空源连接并保持所需的真空环境，从而实现零件的吸附传送需求。
一种真空保持组件吸附传送装置

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