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[发明专利]吸附保持装置以及吸附保持方法-CN200780026749.1无效
发明人：横田典之 -专利权人：芝浦机械电子装置股份有限公司
申请日： 2007-06-12 - 公布日： 2009-07-22 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种吸附保持装置以及吸附保持方法，可以通过简单且廉价的结构，不论基板的种类而可靠地吸附保持。具有：吸附片(2)，具有吸附面(21)；升降机构，使玻璃基板(P1)和吸附片(2)的相对位置变化；温度变更部(5)，改变吸附面(21)的温度；以及控制装置(100)，控制温度变更部(5)，以在使玻璃基板(P1)向吸附面(21)吸附时，在吸附面(21)结露。将吸附面(21)冷却至露点温度以下，使用所结露的水分吸附玻璃基板(P1)，向对置基板(P2)贴合。
吸附保持装置以及方法

[发明专利]非接触型吸附保持装置-CN200580033758.4有效
发明人：栗田刚;中田幹 -专利权人：琳得科株式会社
申请日： 2005-06-29 - 公布日： 2007-09-12 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供一种非接触型吸附保持装置，其是，通过使板状部件上除了边缘部分之外的部分(主要部分)相对于吸附台以浮起的非接触状态确实地吸附保持，从而可以确实保持该板状部件的面不受损伤。本发明所述的非接触型吸附保持装置(1)的特征是，在吸附台(2)上配置通过空气(气体)的喷出可以产生负压的伯努力吸附机构(10)，下周缘部载置在上述吸附台(2)上的晶片(板状部件)(W)除了其周缘部之外的部分相对于吸附台(2)呈浮起的状态，用上述伯努力吸附机构(10)保持晶片(W)，使其对于吸附台(2)保持非接触的状态。另外，设置加压机构，其是用来对着吸附保持在吸附台(2)上的晶片(W)的下面中央部向上方加压使得该板状部件大致保持为平面的机构。
接触吸附保持装置

[发明专利]保持构件及制法、检查机构、切断装置、保持对象物制法-CN202010271789.X有效
发明人：礒野早织;昔根锅;宫田和志;高森雄大;石桥干司;黄善夏 -专利权人：东和株式会社
申请日： 2020-04-08 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明提供一种保持构件、检查机构、切断装置、保持对象物的制造方法及保持构件的制造方法。保持构件能够高精度地进行由多个吸附孔各自吸附保持的保持对象物的边缘检测。本发明的保持构件保持多个保持对象物用于光学检查，包括：保持部，设置有吸附保持所述保持对象物的多个吸附孔、及配置在多个所述吸附孔之间的槽；以及反射部，设置在所述槽，反射率比所述保持部高；且所述反射部具有平坦的表面
保持构件制法检查机构切断装置对象

[发明专利]物体保持装置、曝光装置、平板显示器之制造方法、元件制造方法、以及物体保持方法-CN201780060669.1有效
发明人：青木保夫 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2017-09-29 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种物体保持装置，其中，保持基板(P)的基板保持具部(70)具有：多个夹具部(74)，分别具备保持基板(P)的保持面、以及设于保持面的背面侧的吸附部分与非吸附部分；底座部(72)，吸附夹具部(74)的吸附部分；定盘部(50)；以及管路部(62)，设于定盘部(50)与底座部(72)之间，具有经由夹具部(74)的非吸附部分使气体通过的管路，夹具部(74)，在使用通过非吸附部分的气体保持基板(P)，且解除吸附部分对底座部(72)的吸附后，从所述底座构件卸除第1构件。
物体保持装置曝光平板显示器制造方法元件以及

[发明专利]基片保持装置和基片吸附方法-CN202080017328.8在审
发明人：带金正 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-02-21 - 公布日： 2021-10-15 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：基片保持装置具有工作台和吸气路径。工作台用于载置基片，通过真空吸附基片的背面来保持基片。吸气路径与用于进行真空吸附的真空泵连接。工作台的基片载置面被划分为多个区域。能够使用设置在与多个区域各自对应的吸气路径中的阀，对多个区域各自切换真空吸附用的吸附力。在多个区域分别形成有多个微细孔。
保持装置吸附方法

[发明专利]机械手装置、机械手系统以及保持方法-CN201810823124.8在审
发明人：永田贵之;冈崎安直;浅井胜彦;井上和夫 -专利权人：松下知识产权经营株式会社
申请日： 2018-07-25 - 公布日： 2019-02-05 - 主分类号： B25J15/06 文献下载
摘要：本公开提供机械手装置、机械手系统及保持方法。机械手装置(8)具备：具有用于通过负压吸附对象物(4)的能够弯折的第1吸附面(44)的第1保持部(40)；和具有用于通过负压吸附对象物的能够弯折的第2吸附面(46)的第2保持部(42)。第1保持部(40)和第2保持部(42)配置成第1吸附面(44)和第2吸附面(46)相互对向。在第1保持部(40)和第2保持部(42)保持对象物时，以第1吸附面在第1位置(66)弯折且第2吸附面在第2位置(68)弯折的状态使第1吸附面中的第1位置(66)与第1保持部(40)的前端部(40b)之间的区域吸附对象物且使第2吸附面中的第2位置(68)与第2保持部(42)的前端部(42b)之间的区域吸附对象物。
吸附面对象物机械手装置弯折的机械手系统负压吸附第1位置第2位置前端部吸附对向弯折配置

[发明专利]元件压接装置-CN201510350908.X有效
发明人：龟田明;辻慎治郎 -专利权人：松下知识产权经营株式会社
申请日： 2015-06-23 - 公布日： 2019-06-18 - 主分类号： H01L21/60 文献下载
摘要：吸附膜状元件(3)并将该膜状元件(3)压接于基板(2)的压接工具(21)构成为具备多个吸附块(33)和吸附块保持部(32)，所述多个吸附块(33)在下端具备吸附膜状元件(3)的吸附口(33H)，所述吸附块保持部(32)将所述多个吸附块(33)排成一列进行保持，各吸附块(33)能够任意地变更由吸附块保持部(32)保持的保持位置。
元件装置

[发明专利]基板保持装置以及基板保持方法-CN202110803744.7在审
发明人：辻泽孝文 -专利权人：松下知识产权经营株式会社
申请日： 2021-07-15 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明涉及基板保持装置以及基板保持方法，提供能够抑制基板的变形的基板保持装置等。基板保持装置(100)具备：基板保持部(例如第1基板保持部(60))，设置有用于真空吸附基板(3)的吸附孔；真空配管(110)，与吸附孔(例如第1吸附孔(66))连接；和控制部(2a)，通过控制真空配管(110)内的压力来控制经由该吸附孔的吸附力。控制部(2a)在基于与是否能够通过移动部(64)向搬运目的地搬运基板(3)相关的信息的获取结果而判定为不能搬运基板(3)的情况、以及保持在该基板保持部的基板(3)的吸附时间达到了给定时间的情况中的至少一种情况下，使经由该吸附孔的吸附力降低。
保持装置以及方法

[发明专利]保持密封材料、废气净化装置及废气净化装置的制造方法-CN200880000789.3有效
发明人：五岛谦纲;篠原知英 -专利权人：揖斐电株式会社
申请日： 2008-07-10 - 公布日： 2010-05-26 - 主分类号： F01N3/28 文献下载
摘要：本发明的目的是提供一种保持密封材料，该保持密封材料在应用于尿素SCR系统中所使用的废气净化装置中时，在长期使用后也能保持高的保持力。本发明的保持密封材料为垫状，其特征在于，该保持密封材料由用于吸附尿素的吸附部和用于保持废气保持体的保持部构成，上述吸附部的长侧面与上述保持部的长侧面隔着空间相互对置，上述吸附部与上述保持部通过连接部连接，上述吸附部的宽度小于上述保持部的宽度。
保持密封材料废气净化装置制造方法

[发明专利]涂布装置-CN202110862389.0在审
发明人：福岛雄悟;釜谷学 -专利权人：东丽工程株式会社
申请日： 2021-07-29 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： B05C5/02 文献下载
摘要：[解决手段]一种涂布装置，其使由载台单元保持的基板与涂布单元相对移动，同时从涂布单元排出涂布液，由此在基板上形成涂布膜，其中，载台单元具有使基板浮起到规定高度位置的浮起载台部、和吸附保持基板的吸附保持部，其形成为在利用吸附保持部保持浮起在浮起载台部上的基板的状态下，移动到搬入搬出基板的基板更换位置和在基板上涂布涂布液的涂布位置，吸附保持部为下述构成，其具备在与浮起载台部的移动方向正交的方向位置处吸附保持基板的第1吸附保持部、和在浮起载台部的移动方向位置处吸附保持基板的第2吸附保持部。
装置

[发明专利]接合装置和接合方法-CN202210899333.7在审
发明人：和田宪雄;杉原绅太郎 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：基于本公开的一个方式的接合装置具备第一保持部、第二保持部、吸附压力产生部以及升降销。第一保持部用于保持第一基板。第二保持部设置于与第一保持部相向的位置，所述第二保持部具有用于吸附与第一基板进行接合的第二基板的吸附面。吸附压力产生部使得在吸附面产生吸附压力。升降销用于使吸附面上的第二基板相对于第二保持部分离。另外，在第二保持部设置有包括供升降销通过的开口的空间，空间被控制为比大气压低的压力。
接合装置方法

[发明专利]媒体保持装置、媒体输送装置及喷墨记录装置-CN201380039204.X有效
发明人：尾崎多可雄 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2015-08-03 - 公布日： 2015-07-29 - 主分类号： B41J11/04 文献下载
摘要：本发明提供一种能够任意地设定吸附保持面内的各区域的吸附力的媒体保持装置、媒体输送装置及喷墨记录装置。在本发明的一实施方式中，在形成为鼓筒状的主体(302)上安装罩(304)，罩(304)的表面作为用纸P的吸附保持面发挥功能。在罩(304)上形成多个吸附孔(320)，从该吸附孔(320)将吸附保持面上的用纸P吸引。吸附孔(320)以一定间距配置。在其中特定的吸附孔(320)中安装节流部件(322)。被安装节流部件(322)的吸附孔(320)吸附力被减弱。因而，通过调整安装节流部件(322)的特定的吸附孔(320)的配置，在吸附保持面内部分性地控制吸附力。
媒体保持装置输送喷墨记录

[发明专利]基板保持装置-CN202111549821.7在审
发明人：横山雅树 -专利权人：中外炉工业株式会社
申请日： 2021-12-17 - 公布日： 2023-03-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种基板保持装置，能抑制在解除基板的吸附时因来自供气流路的供气而使灰尘排出并附着于基板。基板保持装置包括：具有供基板载置的保持面的保持部；设置于所述保持部，并用于将所述基板吸附于所述保持面的吸附孔；以及设置于所述保持部的抽吸流路和供气流路，在解除所述基板相对于所述保持面的吸附时，从所述供气流路向所述基板供气，接着，通过所述抽吸流路抽吸所述吸附孔附近的空气。
保持装置

[发明专利]湿度调节装置及换气装置-CN200880110058.4有效
发明人：薮知宏;奥村恭伸 -专利权人：大金工业株式会社
申请日： 2008-09-03 - 公布日： 2010-08-25 - 主分类号： F24F3/14 文献下载
摘要：在壳体内，设置有保持吸附水分的吸附部件和用来加热或冷却吸附部件中的吸附剂的载热体回路的保持部件。保持部件构成为：边一体地保持吸附部件及载热体回路，边能够朝壳体的外部抽出。
湿度调节装置换气

[发明专利]磨削装置-CN201010176762.9无效
发明人：五木田洋平 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2010-04-23 - 公布日： 2010-11-24 - 主分类号： B24B7/22 文献下载
摘要：该磨削装置包括：保持工作台，其将经由粘接带支承于环状框架的开口部的工件保持为能够旋转；和磨削构件，其具有对保持在该保持工作台上的工件进行磨削的磨削磨具，该磨削装置的特征在于，该保持工作台包括：具有对粘贴有所述工件的所述粘接带进行吸引保持的吸附面的吸附卡盘；围绕该吸附卡盘的框体；和固定该环状框架的框架固定构件，所述吸附面具有：中心吸附面，其吸引保持所述粘接带中的粘贴有所述工件的部分；和外周吸附面，其围绕该中心吸附面，并且吸引保持所述粘接带中的没有粘贴所述工件的部分，所述中心吸附面相对于所述外周吸附面凸出预定的高度。
磨削装置

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