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[实用新型]真空镀膜测量系统-CN202222970114.1有效
发明人：伍平生;王岳利;尚鲲鹏;雷克武;薛颜同;王伟 -专利权人：宁德时代新能源科技股份有限公司
申请日： 2022-11-08 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本申请公开了一种真空镀膜测量系统，包括：测量模块，测量模块的测量位置位于真空镀膜设备的走带上，用于检测走带上镀膜的参数信息；控制模块，控制模块与测量模块通讯，用于接收测量模块输出的参数信息，且控制模块可将获取的参数信息处理后输出标记信息；标记模块，标记模块的标记位置位于真空镀膜设备的走带上且位于测量位置的下游，标记模块与控制模块通讯，以根据标记信息进行标记。在上述技术方案中，测量模块可将测量的参数信息输出至控制模块，经控制模块处理后输出给标记模块，标记模块能根据控制模块输出的标记信息实现进行精准标记，由此可以通过标记模块对测量模块的测量结果进行标记，简化了工艺流程，保证了标记的及时性和准确性。
真空镀膜测量系统

[实用新型]一种用于测量且带有固定标记的旋转台-CN202122506516.1有效
发明人：张志亮;胡跃伟;白雪帅 -专利权人：深度光学科技（天津）有限公司
申请日： 2021-10-18 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于测量且带有固定标记的旋转台，包括：旋转台、标记台、被测量物体和测头；所述标记台通过螺栓固设在所述旋转台上，所述被测量物体设在所述标记台上；所述标记台上固设有标记点；所述旋转台带动所述标记台和所述被测量物体转动，所述被测量物体放置在所述标记台上时，裸露出所述标记点，以使所述测头测量所述被测量物体的外观轮廓。如此，通过旋转台和标记台的结合，所形成的检测平台固设有标记点和标记方向，将被测量物体放置在检测平台上，测头即可快速测量被测量物体的外观轮廓，使得整个测量过程更简洁方便。
一种用于测量带有固定标记旋转

[发明专利]一种套刻标记及使用套刻标记进行套刻误差测量的方法-CN202010597518.3在审
发明人：田范焕;梁时元;贺晓彬;丁明正;杨涛;李俊峰;王文武 -专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请日： 2020-06-28 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本公开提供了一种套刻标记及使用套刻标记进行套刻误差测量的方法。该套刻标记包括第一测量标记和第二测量标记，其中，第一测量标记具有圆形外轮廓、形成于前层上，第二测量标记具有圆形外轮廓、形成于当前层上。该方法包括下述的步骤：在前层上形成具有圆形外轮廓的第一测量标记以及在当前层上形成具有圆形外轮廓的第二测量标记，且第二测量标记尺寸与第一测量标记尺寸不同，然后再利用第一测量标记与第二测量标记的位置偏差计算出套刻误差与传统套刻标记不同，本公开创新地提出了具有圆形结构设计的套刻标记，能够利用面积比例的方式计算出套刻误差，彻底解决了传统套刻误差测量方案受噪音信号干扰的问题。
一种标记使用进行误差测量方法

[发明专利]一种套刻对准标记结构及相关方法和器件-CN202010472791.3有效
发明人：方超;高志虎 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2020-05-29 - 公布日： 2021-11-05 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种套刻对准标记结构及其制作方法、套刻精度测量方法及半导体器件，包括基底；位于基底一侧表面的实体参考标记；覆盖实体参考标记背离基底一侧的薄膜覆盖层，薄膜覆盖层背离基底一侧包括凹槽测量标记，实体参考标记与凹槽测量标记组合为套刻对准标记；凹槽测量标记与实体参考标记之间具有至少一个交叠区域，且在交叠区域裸露实体参考标记的至少一侧边。由于凹槽测量标记与实体参考标记之间具有至少一个交叠区域，且在交叠区域裸露实体参考标记的至少一侧边，通过CDSEM测量机台获取更为清晰且精确的实体参考标记和凹槽测量标记在交叠区域处的形貌，进而对该清晰且精确的形貌进行套刻精度的测量，能够保证套刻精度的测量误差小。
一种对准标记结构相关方法器件

[发明专利]一种套刻对准标记结构及相关方法和器件-CN202111347473.5有效
发明人：方超;高志虎 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2020-05-29 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种套刻对准标记结构及其制作方法、套刻精度测量方法及半导体器件，包括：基底；位于基底一侧表面的实体参考标记；以及，覆盖实体参考标记背离基底一侧的薄膜覆盖层，薄膜覆盖层背离基底一侧包括凹槽测量标记，实体参考标记与凹槽测量标记组合为套刻对准标记；凹槽测量标记与实体参考标记之间具有至少一个交叠区域，且在交叠区域裸露实体参考标记的至少一侧边。由于凹槽测量标记与实体参考标记之间具有至少一个交叠区域，且交叠区域裸露实体参考标记的至少一侧边，能够通过CDSEM测量机台获取更为清晰且精确的实体参考标记和凹槽测量标记在交叠区域处的形貌，进而对该清晰且精确的形貌进行套刻精度测量，能够保证套刻精度的测量误差小。
一种对准标记结构相关方法器件

[发明专利]路测数据的测量路径确定方法、装置、设备及存储介质-CN202310630370.2在审
发明人：徐其帅;张海峰;王坦;魏志国;张庆 -专利权人：苏州恩赫信息科技有限公司
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G06Q10/047 文献下载
摘要：本发明涉及一种路测数据的测量路径确定方法、装置、设备及存储介质，所述方法包括：根据已标记的测量点与前后相邻测量点的距离的变化，以及所述已标记的测量点前后的路径的方向变化，从未标记的测量点中确定所述已标记的测量点的下一个测量点，并将所述下一个测量点标记为已标记的测量点；依次确定每个已标记的测量点的下一个测量点，并标记为已标记的测量点；将所有的已标记的测量点按序连接起来，确定所述路测数据的测量路径。本发明所提供的路测数据的测量路径确定方法、装置、设备及存储介质，能够将原始顺序被打乱、时间特征丢失的路测数据的路径重新确定。
数据测量路径确定方法装置设备存储介质

[发明专利]一种组合式套刻标记、使用套刻标记测量套刻误差的方法-CN202010948697.0在审
发明人：梁时元;丁明正;贺晓彬;刘金彪;刘强 -专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请日： 2020-09-10 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本公开提供了一种组合式套刻标记、使用套刻标记测量套刻误差的方法，该套刻标记包括当层比较标记和前层基准标记。当层比较标记包括第一比较标记和形成于第一比较标记周围的第二比较标记，前层基准标记包括第一基准标记和形成于第一基准标记周围的第二基准标记。第一比较标记与第一基准标记可上下对应地设置，第二比较标记与第二基准标记上下对应地设置。该测量方法包括：利用第一比较标记和第一基准标记测量出第一套刻误差，利用第二比较标记和第二基准标记测量出第二套刻误差，根据第一套刻误差和/或第二套刻误差确定误差测量结果。本公开通过组合式两种套刻标记提高套刻误差测量可靠性，保证测量精度的前提下有效提高套刻误差的测量精度。
一种组合式标记使用测量误差方法

[发明专利]一种农业建筑墙体结构倾斜测量装置及测量方法-CN202311107174.3在审
发明人：林诗淼;谢传流;杨智良;李德胜;王强;吴照学;韩睿;蔡广凯 -专利权人：安徽农业大学
申请日： 2023-08-30 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G01C9/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种测量装置，具体是一种农业建筑墙体结构倾斜测量装置，所述的测量装置包括安装部和测量部；所述安装部用于与待测量的墙体固定连接；所述测量部用于对待测量的墙体进行倾斜度测量；所述测量部包括标记板、第一标记机构和第二标记机构，所述第一标记机构用于在所述标记板上标记竖向基准线；所述第二标记机构用于在所述标记板上标记与所述墙体平面相平行的测量线，通过测量竖向基准线与测量线之间的角度，来确定墙体的倾斜角度，且测量结果能够直观的在标记板上记录下来，便于数据的记录和采集，方便对数据的分析研判。本发明还提供了一种农业建筑墙体结构倾斜测量方法。
一种农业建筑墙体结构倾斜测量装置测量方法

[发明专利]一种波像差测量标记及波像差测量方法-CN201210183465.6有效
发明人：马明英;段立峰 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2012-06-06 - 公布日： 2013-12-25 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提出一种波像差测量物面标记，形成在光刻机系统的掩模上，其特征在于该物面标记包括光栅标记和小孔标记，光栅标记和小孔标记分别在标记面上排成列，每个光栅标记和每个小孔标记构成一组标记并且排成一行。同时还提出了使用该物面标记测量波像差的方法。由于本发明的波像差测量物面标记既包括光栅标记，又包括小孔标记，在通过剪切干涉条纹测量波像差的同时，通过小孔标记测量剂量，从而提高了波像差测量精度，减小了光强不均匀性对波像差检测精度的影响。
一种波像差测量标记测量方法

[发明专利]对准标记图像制作方法、对准标记测量方法及测量装置-CN201911380080.7有效
发明人：陈跃飞;徐兵 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2019-12-27 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种对准标记图像制作方法、对准标记测量方法及测量装置，其中，对准标记图像制作方法中首先获取包含目标对准标记的图像，然后截取包含目标对准标记的目标区域，生成子图，并计算目标对准标记的尺寸，最后绘制对准标记图像对准标记测量方法中首先采用如上所述的对准标记图像制作方法，基于金属掩模上的一目标对准标记制作对准标记图像，并获取金属掩模的图像，然后将金属掩模的图像与对准标记图像进行比对，筛选出所有与目标对准标记相匹配的对准标记，最后计算各个对准标记的位置。本发明中的对准标记测量方法通过在线制作对准标记图像，提高了测量结果的可信度，缩短了测量时间，而且扩大了测量装置的适用范围。
对准标记图像制作方法测量方法测量装置

[实用新型]带标记功能的测距仪-CN202221910875.1有效
发明人：王源 -专利权人：成都昊图新创科技有限公司
申请日： 2022-07-22 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： G01S7/481 文献下载
摘要：本实用新型涉及测距设备领域，具体而言，涉及一种带标记功能的测距仪。带标记功能的测距仪包括主体、激光测距组件以及标记组件；激光测距组件及标记组件均与主体连接；标记组件用于标记测量起点，激光测距组件用于向外发出激光光线，以测量测量起点至目标位置之间的距离。带标记功能的测距仪能够在测量的过程中标记测量起点，进而能够辅助使用者进行测量，从而能够精准实现距离测量。
标记功能测距仪

[实用新型]测量标记-CN201320717895.1有效
发明人：岳力挽;蔡博修 -专利权人：中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
申请日： 2013-11-14 - 公布日： 2014-04-16 - 主分类号： H01L23/544 文献下载
摘要：本实用新型揭示了一种测量标记，包括四个第一标记，所述第一标记位于一曝光单元外的四个顶角处；第二标记，位于所述曝光单元外的一个顶角处，所述第二标记为“十”字形，由所述“十”字形分割出四个空白区域，位于该顶角处的第一标记位于所述空白区域中，且所述第二标记与该第一标记的相对位置固定不变。通过测量每个第一标记与第二标记之间的距离，既能够得到曝光单元之间的位置关系，又能够明确每个曝光单元自身的例如缩放、偏移、旋转等变动，从而能够达到较为精确和快速的对准。
测量标记

[发明专利]测量装置-CN201580029220.X有效
发明人：中野良平 -专利权人：株式会社普利司通
申请日： 2015-05-12 - 公布日： 2019-08-13 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：一种测量装置，其设置有：测量标记(2)，其设置在转鼓(3)的外周表面上，转鼓具有设置在外周表面上的带状部件(10)；至少一个测量传感器(4)，其获取至少一些测量标记(2)的位置信息；以及计算装置，其基于测量标记(2)上的测量信息来计算测量标记(2)的位置，所述测量信息已经通过测量传感器(4)获取，并且其计算提前测得的测量标记(2)的实际位置与测量标记(2)的计算位置之间的偏差。
测量装置

[发明专利]运动台定位误差的测量标记组合、补偿装置及补偿方法-CN201910941031.X有效
发明人：牛磊磊 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2019-09-30 - 公布日： 2022-02-15 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种运动台定位误差的测量标记组合、补偿装置及补偿方法。将至少两个第一测量标记和至少两个第二测量标记分布在至少三个分支位置点上，所述分支位置点不在同一直线上，所述分支位置点位于所述第一测量标记或所述第二测量标记的外轮廓上，且所述第一测量标记和所述第二测量标记无重叠，以形成一种具有二维可扩展性的测量标记组合结构，用以测量运动台定位误差。本发明提供的运动台定位误差的测量标记组合适用于各种类型的运动台系统，且在同一基底上经过一次曝光及测量流程即可获得所有测量位置点之间的位置关系，提高了运动台定位误差的测量效率和精度。
运动定位误差测量标记组合补偿装置方法

[发明专利]对准误差测量方法-CN201911212303.9有效
发明人：齐月静;杨光华;王宇;李璟;卢增雄;齐威;孟璐璐 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-11-29 - 公布日： 2021-08-13 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：一种对准误差测量方法，用于测量非对称的第一对准标记引入的对准误差，方法包括：根据非对称位置确定至少四种类型的非对称对准标记，每一非对称对准标记包括一种所述非对称位置，所述第一对准标记包括至少一种非对称位置；测量每一非对称对准标记引入的对准误差分量，以及测量第一对准标记对应的第一测量信号；利用电磁仿真模型分别获取对称对准标记、每一非对称对准标记对应的理论测量信号；根据第一测量信号、对称对准标记对应的理论测量信号、每一非对称对准标记对应的理论测量信号和对准误差分量计算每一非对称对准标记对应的权重因子；根据每一非对称对准标记对应的权重因子和对准误差分量计算第一对准标记引入的对准误差。
对准误差测量方法

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