[实用新型]防止主辊被蒸镀物质污染的摆动式蒸发屏蔽框有效
| 申请号： | 201920274831.6 | 申请日： | 2019-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN209602636U | 公开（公告）日： | 2019-11-08 |
| 发明（设计）人： | 陈清胜;赵锐 | 申请（专利权）人： | 四川海格锐特科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 吴静宜 |
| 地址： | 610000 四川省成都市龙泉*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了防止主辊被蒸镀物质污染的摆动式蒸发屏蔽框，包括转轴、支撑框和驱动装置，转轴的两端由轴承座进行支撑，驱动装置驱动转轴绕自身轴线转动，支撑框通过连接板与转轴连接，在支撑框上位于转轴轴线的两端均滑动设置有屏蔽板，屏蔽板位于竖框边之间，屏蔽板能沿转轴的轴线滑动，屏蔽板的两侧分别各与一个竖框边接触，屏蔽板互相靠近时，支撑框的内部被屏蔽板覆盖的面积逐渐增大。本实用新型解决了在蒸镀工艺中，蒸镀物会污染主辊的问题。在主辊的下方设置一可以摆动的蒸发屏蔽框，在屏蔽框两端用于滑动连接屏蔽板的轨道结构，将活动挡板设置于轨道上，可以滑动调节屏蔽段遮挡主辊的长度，以适应不同幅宽基膜的镀制要求。 | ||
| 搜索关键词： | 屏蔽板 主辊 屏蔽框 支撑框 蒸镀 转轴 蒸发 本实用新型 驱动装置 摆动式 竖框边 污染 轨道结构 滑动调节 滑动连接 滑动设置 活动挡板 驱动转轴 逐渐增大 转轴连接 转轴轴线 自身轴线 连接板 轴承座 滑动 摆动 幅宽 屏蔽 镀制 基膜 遮挡 转动 轨道 支撑 覆盖 | ||
【主权项】：
1.防止主辊被蒸镀物质污染的摆动式蒸发屏蔽框，其特征在于：包括转轴(1)、支撑框(2)和驱动装置，所述转轴(1)的两端由轴承座(3)进行支撑，所述驱动装置驱动转轴(1)绕自身轴线转动，所述支撑框(2)通过连接板(5)与转轴(1)连接，支撑框(2)为一对平行于转轴(1)轴线的竖框边以及一对垂直于转轴(1)轴线的横框边围城的矩形框体，在支撑框(2)上位于转轴(1)轴线的两端均滑动设置有屏蔽板(4)，所述屏蔽板(4)位于竖框边之间，屏蔽板(4)能沿转轴(1)的轴线滑动，且屏蔽板(4)均平行于支撑框(2)围成的矩形面，屏蔽板(4)的两侧分别各与一个竖框边接触，屏蔽板(4)互相靠近时，支撑框(2)的内部被屏蔽板(4)覆盖的面积逐渐增大。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于四川海格锐特科技有限公司，未经四川海格锐特科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920274831.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种镀膜装置的定位夹具
- 下一篇：一种化学气相沉积炉的辅助进气装置
- 同类专利
- 防止主辊被蒸镀物质污染的摆动式蒸发屏蔽框-201920274831.6
- 陈清胜;赵锐 - 四川海格锐特科技有限公司
- 2019-03-04 - 2019-11-08 - C23C14/56
- 本实用新型公开了防止主辊被蒸镀物质污染的摆动式蒸发屏蔽框，包括转轴、支撑框和驱动装置，转轴的两端由轴承座进行支撑，驱动装置驱动转轴绕自身轴线转动，支撑框通过连接板与转轴连接，在支撑框上位于转轴轴线的两端均滑动设置有屏蔽板，屏蔽板位于竖框边之间，屏蔽板能沿转轴的轴线滑动，屏蔽板的两侧分别各与一个竖框边接触，屏蔽板互相靠近时，支撑框的内部被屏蔽板覆盖的面积逐渐增大。本实用新型解决了在蒸镀工艺中，蒸镀物会污染主辊的问题。在主辊的下方设置一可以摆动的蒸发屏蔽框，在屏蔽框两端用于滑动连接屏蔽板的轨道结构，将活动挡板设置于轨道上，可以滑动调节屏蔽段遮挡主辊的长度，以适应不同幅宽基膜的镀制要求。
- 一种用于密封真空腔室冷却设备的密封装置及其拆卸方法-201710898438.X
- 么曼实;闫风;南建辉;管长乐 - 北京创昱科技有限公司
- 2017-09-28 - 2019-11-05 - C23C14/56
- 本发明属于真空镀膜设备领域，尤其涉及一种用于密封真空腔室冷却设备的密封装置及其拆卸方法。该装置包括两个密封结构和一个冷却设备；密封结构包括刀口法兰组件、套筒以及设于套筒内的密封垫圈组件，刀口法兰组件的第一端面无缝连接于真空腔室的外侧壁，刀口法兰组件的第二端面与套筒的第一端口边缘无缝连接；刀口法兰组件包括多个可拆卸连接的刀口法兰；冷却设备包括冷却水管，冷却水管依次穿过两个密封结构。该拆卸方法为将相邻两个刀口法兰之间的连接处拆开，即可将套筒和密封圈组件从真空腔室上拆除。本发明的密封结构设于真空腔室外部，密封结构与冷却设备彼此独立，任何一者需拆装维护时，都可以单独操作，灵活方便，彼此间不存在干扰。
- 双面镀膜设备及其载板处理单元-201810375105.3
- 杨斌 - 君泰创新(北京)科技有限公司
- 2018-04-24 - 2019-11-01 - C23C14/56
- 本发明公开了一种双面镀膜设备及其载板处理单元，载板处理单元包括：与工作腔(4)连通的附加腔体(10)；用于将所述工作腔(4)内的载板(1)移至所述附加腔体(10)的处理装置(101)。本发明提供的载板处理单元，通过在附加腔体内设置处理装置，并使得附加腔体连通工作腔。由于工作腔设置在工艺腔前，通过处理装置将工作腔内的载板移至附加腔体，有效避免了具有碎片的载板进入工艺腔，避免碎片落到工艺腔的下镀膜装置上，确保了镀膜效果；避免了开腔处理的操作，提高了镀膜效率。
- 一种可调变角度的镀膜装置-201822212699.4
- 汤立新;汤佳伟 - 镇江阿尔法特种镀膜科技有限公司
- 2018-12-26 - 2019-11-01 - C23C14/56
- 本实用新型公开了一种可调变角度的镀膜装置，包括底箱，所述底箱的内腔设置有调节机构，所述调节机构的顶部设置有固定放置机构，所述底箱顶部的左右两端均连通有漏斗，所述底箱内腔的左右两端均固定连接有隔板，所述调节机构包括转动马达，所述转动马达的输出端固定连接有中轴，所述中轴的顶部固定连接有第一连接块，所述第一连接块的顶部活动连接有第一转轴，第一转轴活动连接有第一固定块。本实用新型设置了调节机构，起到了可用于在镀膜时进行有效的旋转调变以及角度调变，同时可增加生产量，解决了现有的镀膜装置不可调变角度，以至于无法大量生产，同时不便于死角清洗以及药水的交换，为人们使用带来不便的问题。
- 一种用于电容器薄膜加工的真空镀膜机-201920205576.X
- 周斌迁 - 台州豪达机电有限公司
- 2019-02-18 - 2019-11-01 - C23C14/56
- 本实用新型公开了一种用于电容器薄膜加工的真空镀膜机，旨在提供一种用于电容器薄膜加工且在抽真空时能起到过滤冷却效果的真空镀膜机，其技术方案要点是包括镀膜腔室和抽真空装置，还包括过滤装置，过滤装置包括外壳体、置于外壳体内的过滤组件和置于外壳体内的冷却组件，外壳体的两端分别与镀膜腔室和抽真空装置连通，过滤组件包括若干平行设置的网板，网板两侧均设有无纺布，相邻网板之间形成第一导流通道，冷却组件包括若干冷却管和置于冷却管上的导热板，相邻冷却管之间依次连通，相邻第二导热板之间形成第二导流通道，第一导流通道和第二导流通道之间形成V型流道，本实用新型适用于镀膜机技术领域。
- 气相沉积冷却装置-201810350546.8
- 蒲春 - 北京创昱科技有限公司
- 2018-04-18 - 2019-10-29 - C23C14/56
- 本发明涉及气相沉积技术领域，公开了一种气相沉积冷却装置，包括：冷却液注入机构和升降装置；冷却液注入机构包括：注液部件和进液管；注液部件设置在真空沉积区内，当载体停留在真空沉积区内时，注液部件在升降装置的驱动下上下移动插入载体内部的冷却液容纳区内，注入冷却液；所述进液管从外部伸入所述真空沉积区内并与所述注液部件连通，以便于从外部通过所述注液部件向所述冷却液容纳区内注入冷却液；进液管从外部伸入真空沉积区内并与注液部件连通，以便于从外部通过注液部件向冷却液容纳区内注入冷却液。本发明的气相沉积冷却装置能够实现在线气相沉积装置中基片的冷却散热，结构简单、操作方便，散热效率高。
- 真空镀膜装置-201811595488.1
- 赵斌 - 东莞市一粒米薄膜科技有限公司
- 2018-12-25 - 2019-10-25 - C23C14/56
- 本发明涉及一种真空镀膜装置，包括：第一真空腔室排、第二真空腔室排、第一转移机构、第二转移机构、第一驱动机构、第二驱动机构及基片架，第一真空腔室排、第二转移机构及第二真空腔室排顺次排布以形成循环，基片架的相对两侧均用于装载基片，第一驱动机构用于驱动基片架沿第一方向穿过第一真空腔室排，以使装载于基片架的第一侧的基片完成真空脱气镀膜；第二转移机构用于将基片架由第一真空腔室排转移至第二真空腔室排，以使基片架经由第二驱动机构带动沿第二方向穿过第二真空腔室排，从而以使装载于基片架的第二侧的基片完成真空脱气镀膜；第一转移机构用于将相对两侧重新装载有基片的基片架由第二真空腔室排转移至第一真空腔室排。
- 一种安全防爆膜均匀溅射镀膜装置及该装置加工的安全防爆膜-201821720484.7
- 宋仁祥 - 安徽省宁国市海伟电子有限公司
- 2018-10-22 - 2019-10-25 - C23C14/56
- 本实用新型公开了一种安全防爆膜均匀溅射镀膜装置及该装置加工的安全防爆膜，包括密封的矩形的壳体、送料辊和收料辊，所述壳体的内部设置有阴极靶材、阳极基片、进气圆盘和两个辊道。可以保持介质薄膜的平整性，从而在溅射镀膜的过程中，镀层可以保持均一性，在送料辊和收料辊在拉扯的情况下容易出现介质受力不均匀，这里可以防止介质由于张力的影响导致镀层不均一的问题。
- 卷绕镀膜装置-201910790368.5
- 陈自新;郑立冬;朱海锋;张艺馨;李伟 - 无锡光润真空科技有限公司
- 2019-08-26 - 2019-10-22 - C23C14/56
- 本发明公开了卷绕镀膜装置，用于在柔性材料表面镀膜，包括工作腔，工作腔内设置有卷绕系统和工作源。卷绕系统包括收放辊，收放辊对称设置在工作腔中且位于工作腔的两侧。工作腔的两侧对称开设有小门，小门可侧向拉开，收放辊靠近对应的小门。本发明中的卷绕镀膜装置适用于单卷重量不大的小型卷绕机，人工放原料和人工取成品，提高了生产效率和操作便捷性，且不需要移动小车，降低了制造成本。同时，取放料辊时只需开关小门，无需打开工作腔的大门，降低操作难度，减少机器不稳定因素。
- 一种用于高真空镀膜机专用的水冷隔热板机构-201821944540.5
- 杜宝胜 - 苏州佑伦真空设备科技有限公司
- 2018-11-24 - 2019-10-22 - C23C14/56
- 本实用新型公开了一种用于高真空镀膜机专用的水冷隔热板机构，其结构包括水冷板、水管和接头，所述水冷板底部与水管进行垂直焊接，所述水管前部通过垫圈与接头进行螺纹连接，本实用新型的一种用于高真空镀膜机专用的水冷隔热板机构，将本设安装在真空腔体和主阀腔体连接的过道中间，通过把水管焊接在铜制水冷板上面，利用了铜的极好的导热效果，当19度到25度左右的冷却水在铜制水管内部流动时，热量通过铜制水冷板的面积迅速扩散，从而形成了隔热保护层，抑制了主腔体内部的热辐射传递到主泵的速度和热辐射量，可以有效隔热，更好地保护了主泵，改善了主泵升温的问题，并且对腔体镀膜完成时的冷却效果起到了一定的作用。
- 一种新型高真空镀膜腔室-201821944567.4
- 杜宝胜 - 苏州佑伦真空设备科技有限公司
- 2018-11-24 - 2019-10-22 - C23C14/56
- 本实用新型公开了一种新型高真空镀膜腔室，其结构包括真空镀膜腔体、主阀小腔体和主阀体，所述真空镀膜腔体左侧设置有主阀小腔体，所述主阀小腔体右侧设置有主阀体，并且主阀小腔体右侧通过治具与主阀体进行水平焊接，本实用新型的一种新型高真空镀膜腔室，大大减少了作业效率和由于拼接处密封圈老化损坏而带来的更换困难的问题：能够大大缩小了作业时间；降低拼接难度；减少泄露几率；节约了拼接处的机构成本。
- 一种铜铟镓硒镀膜设备的真空腔室-201910556740.6
- 袁正 - 北京汉能薄膜发电技术有限公司
- 2019-06-25 - 2019-10-18 - C23C14/56
- 本发明公开了一种铜铟镓硒镀膜设备的真空腔室，包括腔体、前门板和背板，所述腔体的前端和后端分别开设有第一开口和第二开口，腔体内设有隔板，隔板将腔体分隔为腔体上部和腔体下部，腔体上部安装有卷绕装置，腔体下部安装有加热装置和蒸发源，且腔体与真空系统连接；前门板可开合地设置在腔体的前端，背板可开合地设置在腔体的后端，前门板与腔体之间设有第一密封件，背板与腔体之间设有第二密封件。该真空腔室在工作状态下，能够满足高真空的工艺要求，在非工作状态下，所述真空腔室能够满足检修的工艺要求。
- 一种真空镀膜生产线-201821812048.2
- 不公告发明人 - 肇庆市前沿真空设备有限公司
- 2018-11-05 - 2019-10-18 - C23C14/56
- 本实用新型属于真空镀膜领域，尤其涉及一种真空镀膜生产线。所述真空镀膜生产线包括至少一个工件小车、至少一个并列设置有进片腔和出片腔的真空室、分别设置在进片腔内和出片腔内的第一传送机构和第二传送机构、平移室，所述真空室与平移室连接。通过在一个真空室里并列设置进片腔和出片腔，所述进片腔和出片腔内分别设置第一传送机构和第二传送机构，即可在一个真空室里完成两个工序，有效的减少真空室的使用数量；再通过设置一个与真空室连接的平移室，即可将流出产线的工件小车转向传送回到产线上，有效的缩小小车返回装置的占地面积；本实用新型具有结构简单，占地面积小，投资成本低，工作效率高等优点。
- 一种真空镀膜机转架非正常停止的报警设备-201822270150.0
- 杜晓颖;杜国才;冯伟;吴海平 - 深圳市长兴荣五金制品有限公司
- 2018-12-29 - 2019-10-18 - C23C14/56
- 本实用新型公开了一种真空镀膜机转架非正常停止的报警设备，包括安装于真空室的转架及与该转架联动的第一驱动件，该第一驱动件由驱动轴驱动，该驱动轴另一端与第一同步带轮联动，该第一同步带轮通过同步带与第二同步带轮联动，第二同步带轮由电机驱动，第二同步带轮端面安装有钢片，第二同步带轮侧方与钢片对应安装有感应器，该感应器与蜂鸣器、开关、复位开关电性连接。本实用新型的真空镀膜机转架非正常停止的报警设备有效避免了转架非正常停止发现不及时造成的损失，与人工检查相比，效率和准确率大大提高，减轻了工人劳动强度。
- 超导带材缓冲层双面镀膜装置-201920067663.3
- 鲁玉明;豆文芝;蔡传兵;汪洋 - 上海上创超导科技有限公司
- 2019-01-16 - 2019-10-18 - C23C14/56
- 本实用新型涉及一种超导带材缓冲层双面镀膜装置。主要解决二次镀膜二次绕带存在的生产效率低下以及会对金属基带及膜层表面产生摩擦留下划痕的技术问题。本实用新型装置包括水平间隔设置的放卷盘和收卷盘，在放卷盘的一侧设置导向轮a和导向轮b，在放卷盘的左侧设有导向轮c，该导向轮c与放卷盘下方的导向轮b在同一水平线上，在导向轮c的上方设有导向轮d，在导向轮d的水平方向设有导向轮e，导向轮e下方同一轴线上设有导向轮f，导向轮f与收卷盘外侧的导向轮g在同一水平线上，基带从放卷盘输出经过上述各个导向轮进入收卷盘，在导向轮c和导向轮d上的基带左侧设有正面镀膜装置，在导向轮e和导向轮f上的基带左侧设有反面镀膜装置。
- 一种带隔膜阀的T型卷绕真空镀膜设备-201910771741.2
- 朱刚毅;朱刚劲;朱文廓 - 广东腾胜科技创新有限公司
- 2019-08-21 - 2019-10-15 - C23C14/56
- 本发明涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种带隔膜阀的T型卷绕真空镀膜设备。带隔膜阀的T型卷绕真空镀膜设备，包括镀膜室、放卷室、收卷室和基材,放卷室与镀膜室的相接处设有隔膜阀，收卷室与镀膜室的相接处设有隔膜阀，从放卷室出来的基材依次经过放卷室和镀膜室之间的隔膜阀、镀膜室、镀膜室和收卷室之间的隔膜阀、收卷室。本发明通过设置隔膜阀，将收、放卷室与镀膜室隔离，使得镀膜室能长期处于真空状态，提高生产效率，降低生产成本。
- 一种真空箱体抽气口加热装置-201822106715.1
- 舒逸;刘光斗;李赞 - 湖南玉丰真空科学技术有限公司
- 2018-12-15 - 2019-10-01 - C23C14/56
- 本实用新型公开了一种真空箱体抽气口加热装置，包括设置在真空箱体内抽气口处的匀热板，匀热板上设有与抽气口一致的开口，在匀热板的底面通过加热丝固定板安装有加热丝，所述加热丝呈S型迂回弯折状均匀分布在匀热板底面，加热丝两端为冷端，冷端通过静密封穿过真空箱体壁与引入电极连接。本实用新型的加热装置通过设置在真空室内的加热丝及匀热板对抽气口加热，加热效果好、效率高，使用方便，匀热板可确保抽气口区域的温度均匀性也可以很好的保护加热丝以免基片碎片对加热丝造成损伤。
- 一种真空镀膜机的抽真空系统-201920081089.7
- 焦艳璐;袁风磊;赵艺 - 青州市宝丰镀膜科技有限公司
- 2019-01-17 - 2019-10-01 - C23C14/56
- 本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体地说，涉及一种真空镀膜机的抽真空系统。包括通过管道与真空室连接的抽空机构、真空检测机构和PLC控制系统；所述抽空机构包括机械泵、第一罗茨泵、第二罗茨泵和扩散泵，其中，所述机械泵、第一罗茨泵和第二罗茨泵通过管道顺序连接与真空室之间形成一条预抽空气路，所述机械泵、第一罗茨泵和扩散泵通过管道顺序连接与真空室之间形成一条抽真空气路；所述扩散泵上装配有调功器，所述的调功器连接并受控于PLC控制系统。本实用新型在扩散泵上加装调功器，按PLC设定值随时调节扩散泵的功率，既可以实现真空状态的维持，又可以达到省电的效果，降低了能耗，同时降低了生产成本。
- 一种单面往复真空镀膜系统-201920081101.4
- 孙效刚;高子安;姜太星 - 青州市宝丰镀膜科技有限公司
- 2019-01-17 - 2019-10-01 - C23C14/56
- 本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体地说，涉及一种单面往复真空镀膜系统。包括蒸发源装置和卷绕机构，所述的蒸发源装置包括底座和蒸发源；所述卷绕机构包括设置在蒸发源上方的镀膜鼓、收卷装置和放卷装置，所述的收卷装置和放卷装置对称设置在镀膜鼓两侧的上方；所述蒸发源与镀膜鼓之间还设置有隔板，所述的隔板上沿其长度方向开设有容留蒸汽穿过的槽孔，且槽孔的宽度小于镀膜鼓的直径。本实用新型放卷装置和收卷装置采用对称结构设计，在少开仓甚至不开仓的情况下实现塑料薄膜多次往复连续运动，以达到镀层厚度的要求，减少了开仓次数，降低了工人的劳动强度，提高了生产效率，同时，降低了生产成本。
- 一种带材真空等离子体镀膜系统-201710288941.3
- 何培忠 - 广州市中昊装饰材料有限公司
- 2017-04-27 - 2019-09-27 - C23C14/56
- 本发明公开了一种带材真空等离子体镀膜系统，真空获得系统通过真空连接管道与若干连续式镀膜室连接；连续式镀膜室包括位于连续式镀膜室内部的放卷装置、收卷装置和发热管机构，位于连续式镀膜室侧壁上的进出气混气装置和过滤阴极靶发生装置；真空连接管道上设有第一阀门和第二阀门，第一阀门位于真空获得系统出口处，第二阀门位于真空连接管道与连续式镀膜室连接处的上方。本发明的带材真空等离子体镀膜系统设计科学合理，工作稳定不会走偏，提高自动化程度同时也大大提高产品的质量，提高了生产效率，创造更高的经济效益。
- 一种燃料电池金属极板真空镀膜流水线设备及其镀膜方法-201610984270.X
- 易培云;张伟鑫;毕飞飞;彭林法;来新民 - 上海交通大学
- 2016-11-09 - 2019-09-27 - C23C14/56
- 本发明涉及一种燃料电池金属极板真空镀膜流水线设备及镀膜方法，流水线设备包括：真空腔室组：包括依次密封联接并相互独立的进炉室、前处理室、第一镀膜室、第二镀膜室、后处理室和出炉室，所述的前处理室内设有加热装置，以及离子源装置，所述的第一镀膜室用于对燃料电池金属极板沉积底层元素层，所述的第二镀膜室用于对燃料电池金属极板沉积抗腐蚀导电涂层，每个腔室中均设有独立的真空泵；支架：用于安置待处理的燃料电池金属极板；传动机构：包括依次穿过真空腔室组中的各腔室的流水线导轨，以及驱动支架沿所述流水线导轨行进的动力组件；PLC控制系统。与现有技术相比，本发明的流水线设备结构精简，安装方面，维护可靠，生产效率高等。
- 一种连续真空镀膜设备-201822114804.0
- 乔晓东;楚殿军;陈静伟 - 嘉兴浩宇等离子体科技有限公司
- 2018-12-17 - 2019-09-24 - C23C14/56
- 本实用新型涉及镀膜技术领域，本实用新型公开了一种连续真空镀膜设备，包括机架，所述机架处设置有用于对零件进行镀膜的镀膜腔体，所述镀膜腔体两侧分别设置有进料腔体及出料腔体，所述镀膜腔体内设置有将零件排出镀膜腔体的第四输送带，所述机架还设置有用于用于清洗零件的清洗机构、用于烘干零件的烘干机构、用于检测零件镀膜情况并排出零件的检测出料机构，所述清洗机构及所述烘干机构设置于所述进料腔体，所述检测出料机构设置于所述出料腔体。本实用新型达到有效除去零件表面的污染物，提高零件镀膜的合格率。
- 带材真空连续镀膜系统及其所用的过渡舱单元-201822173714.9
- 廖先杰;赖奇;刘翘楚;赵海泉;李俊翰;邹宇;范立男;刘挺 - 攀枝花学院;成都天宇坤实机电设备有限公司
- 2018-12-24 - 2019-09-24 - C23C14/56
- 本实用新型公开了一种带材真空连续镀膜系统及其所用的过渡舱单元，属于真空连续镀膜技术领域，提供一种带材真空连续镀膜用过渡舱单元，用以实现对真空镀膜系统所需的真空要求；还提供一种能够实现对带材进行连续真空镀膜的系统，用以解决先用的镀膜系统中需要将所有工艺设备与舱室需全部置于全封闭的大真空舱体中问题。本实用新型可仅在带材进出真空镀膜区两侧的输送轨迹上设置过渡舱单元，进而实现对带材的输送轨迹所对应的输送通道进行隔离密封，有效地确保了在真空镀膜区内部形成的真空环境；因此本实用新型无需设置全封闭的大真空舱体以将放卷机构、收卷机构、真空镀膜区以及带材的整个输送通道等包围在该大真空舱体内部。
- 倾斜运输托盘的镀膜设备-201910600414.0
- 卢贤政;陈厚模;陈麒麟 - 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
- 2019-07-04 - 2019-09-20 - C23C14/56
- 本发明公开了倾斜运输托盘的镀膜设备，包括：用于放置基板的托盘和运送托盘的传输轨道，传输轨道具有倾斜运输段，倾斜运输段设置有至少一个镀膜装置；倾斜运输段运送托盘时，托盘与水平面存在夹角θt，镀膜装置的给托盘中的基板投射镀膜。本发明能简易实现基板的双面镀膜，镀膜效率高且基板的生产品质好。
- 用于镀膜机的炉内晶振片自动切换装置-201910601912.7
- 王越民;王焘骏 - 佛山王氏航空光学科技有限公司
- 2019-07-05 - 2019-09-20 - C23C14/56
- 用于镀膜机的炉内晶振片自动切换装置，本发明通过采用旋转电机使旋转盘于工作机台上旋转，实现对各组备用晶振片的选择，通过采用升降电机配合升降机构，使其实现机械手组件的上下轴向移动，通过采用机械手开合电机连接机械手组件，实现机械手组件的开合，从而实现该切换装置实现晶振片在真空状态下的自动切换，使镀膜机炉体内的工作环境不受影响，保证工作质量与提高工作效率，而旋转盘于工作机台上通过步进电机旋转，使得达到定位精度高、无抖动，晶振片重复位置几乎无偏差的效果，本发明使用方便，不需要暂停机台工作并调整环境状态，使镀膜机的镀膜工作时间大大减少，保证了工作质量，提高了工作效率。
- 一种移料机构及PVD镀膜设备-201821708793.2
- 许钊;吴丰礼;周小江 - 广东拓斯达科技股份有限公司
- 2018-10-22 - 2019-09-20 - C23C14/56
- 本实用新型属于自动化上下料技术领域，公开了一种移料机构及PVD镀膜设备。包括固定件、滑动组件、第一夹具及第二夹具，滑动组件能够滑动的设置于固定件上，第一夹具连接于滑动组件一端，第二夹具能够滑动的设置于滑动组件上。本实用新型通过设置滑动组件，第一夹具连接于滑动组件的一端，第二夹具能够滑动的设置于滑动组件上，当滑动组件的运动时能够带动第一夹具动作，第二夹具能够相对滑动组件运动，使得第一夹具和第二夹具可同时动作，也可单独进行动作，第一夹具和第二夹具的一体化设置，使该移料机构结构紧凑，便于维修，减小了移料机构的占地面积，降低了生产成本。本实用新型提出的PVD镀膜设备，结构紧凑，占地面积小，生产成本较低。
- 一种移料机构及PVD镀膜设备-201821718070.0
- 许钊;吴丰礼 - 广东拓斯达科技股份有限公司
- 2018-10-22 - 2019-09-20 - C23C14/56
- 本实用新型属于自动化上下料技术领域，公开了一种移料机构及PVD镀膜设备。包括固定件、滑动组件、驱动组件、第一夹具及第二夹具。驱动组件设置于固定件上，且能够带动滑动组件往复运动；第一夹具连接于滑动组件一端，第二夹具滑动设置于滑动组件上，且第二夹具能够选择性的连接于固定件或滑动组件连接第一夹具的一端。本实用新型通过驱动组件和滑动组件，当第二夹具连接于固定件时，驱动组件能通过滑动组件带动第一夹具动作。当第二夹具连接于滑动组件连接第一夹具的一端时，驱动组件能通过滑动组件带动第二夹具和第一夹具动作，第一夹具和第二夹具一体化设置，且动力源相同，使该移料机构结构紧凑，减小了移料机构的占地面积，降低了生产成本。
- 基片加热传输装置-201821883029.9
- 王浩;胡庆为 - 东泰高科装备科技有限公司
- 2018-11-15 - 2019-09-20 - C23C14/56
- 本实用新型公开了一种基片加热传输装置，包括：加热板，设置在基片载板的下表面；隔热背板，设置在所述加热板的下方；夹紧件，将所述基片载板、加热板和隔热背板夹持固定；传输组件，与所述夹紧件相连，用于驱动所述夹紧件移动。本实用新型提供的基片加热传输装置，通过设置加热板与基片载板直接接触，通过热传导的方式实现对基片载板的加热，通过设置夹紧件和传输组件使基片在加热的过程中被传输，从而能对基片持续地加热，避免了在基片被传输的过程中产生热量的损失，提高了基片加热的均匀性，并提高了太阳能电池产品的质量。
- 连续真空镀膜装置及镀膜系统-201822059569.1
- 王君;郭爱云;汪友林 - 沈阳爱科斯科技有限公司
- 2018-12-07 - 2019-09-17 - C23C14/56
- 本申请涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种连续真空镀膜装置及镀膜系统，一种连续真空镀膜装置，包括:运送机构、进片室、镀膜室、出片室和传送机构；进片室与所述镀膜室之间设置有第一竖推式插板阀，镀膜室与所述出片室之间设置有第二竖推式插板阀，运送机构至少设置有两个，其中至少一个运送机构用于将待镀件输送至进片室内，其中至少另一个运送机构用于将已镀件由出片室输送到外部；进片室的顶部、镀膜室的顶部与所述出片室的顶部均设置有传送机构。本申请可实现对工件在相邻真空室内的传送，自动化成都高，生产效率高。
- 一种可实现织物连续镀膜的生产线-201810177527.X
- 王银川;余荣沾;刘琼溪;张欣;梁媛;尹华平 - 广东欣丰科技有限公司
- 2018-03-05 - 2019-09-13 - C23C14/56
- 一种可实现织物连续镀膜的生产线，按照工艺流程包括放卷室，真空沉积室和收卷室，其中，所述放卷室包括真空除气室和烘烤室，所述真空室包括上盖可打开的腔室，可移动取出的放卷轴，驱动电机，观察窗，位于放卷轴下游的导辊，冷却盘管，抽气口，充气口及真空测量探头；所述烘烤室包括：烘烤箱，抽气口，烘烤箱外部设置的冷却盘管，温度测量探头，真空测量探头，烘烤箱外设置的导辊。本发明提供的生产线，解决了不能采用真空沉积方法在织物上沉积膜层的问题，可实现织物上沉积膜层的连续化大生产。
- 专利分类
