[发明专利]蒸镀装置、蒸镀方法及有机EL显示装置的制造方法有效
| 申请号： | 201680083566.2 | 申请日： | 2016-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN109072402B | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 西田光志;矢野耕三;岸本克彥;崎尾进 | 申请（专利权）人： | 鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 汪飞亚;薛晓伟 |
| 地址： | 中国台湾*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 提供蒸镀方法及及其蒸镀装置,在蒸镀蒸镀材料时,蒸镀掩膜与被蒸镀基板之间不会由于形成间隙而蒸镀的膜的图案不均匀,可以以正确的图案蒸镀。特征在于,蒸镀掩膜(1)在周缘部由框架(12)支撑往水平方向配置,其蒸镀掩膜(1)的上面侧重叠配置形成蒸镀膜的被蒸镀基板(2),蒸镀掩膜(1)的下方配置蒸镀源(5),从蒸镀源(5)蒸发蒸镀材料(51),由此在被蒸镀基板(2)形成蒸镀膜。蒸镀掩膜(1)的弯曲中心部的铅直方向上,从被蒸镀基板(2)的上面位置开始,以成为相当于根据蒸镀掩膜(1)的弯曲延伸后的蒸镀掩膜(1)的长度(沿着蒸镀掩膜的一边的剖面中的长度)之长度的方式,一边压入被蒸镀基板(2),一边进行蒸镀。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 有机 el 显示装置 制造 | ||
【主权项】：
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