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[发明专利]基于钕铁硼PVD镀膜的晶界扩散系统及方法-CN202210457441.9有效
发明人：赵宇;胡金辉;冯建涛;王栋;李欢;卓宇 -专利权人：杭州永磁集团振泽磁业有限公司
申请日： 2022-04-27 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： C23C14/58 文献下载
摘要：本发明公开了基于钕铁硼PVD镀膜的晶界扩散系统及方法，所述挂杆的内壁对称固定套接有套环，所述第二挤压杆和第一挤压杆相对的一端固定连接有磁铁，所述滑动块、挂杆和套环的内腔滑动套接有第二挤压杆，所述第二挤压杆的底部和挂杆的内腔之间固定连接有第二弹簧，所述挂钩的内腔转动套接有转动轴，且转动轴的两端贯穿挂钩的内壁，并固定连接有限位杆，所述转动轴中间的表面缠绕有钢丝绳，所述转动轴的表面与挂钩的内壁之间对称固定连接有涡旋弹簧，本发明涉及钕铁硼镀膜技术领域。该基于钕铁硼PVD镀膜的晶界扩散系统及方法，解决对无法进行挂住的钕铁硼镀膜时，需要跟换相匹配的挂杆进行夹持，使其在更换时比较麻烦的问题。
基于钕铁硼 pvd 镀膜扩散系统方法

[发明专利]一种去除光学薄膜节瘤缺陷表面球冠状凸起的抛光方法-CN202210329698.6在审
发明人：朱美萍;刘天宝;杜文云;李静平;邵建达 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2022-03-28 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： C23C14/58 文献下载
摘要：本发明涉及光学薄膜领域，主要针对降低光学薄膜损伤阈值的节瘤缺陷，具体涉及一种基于去除节瘤缺陷表面球冠状凸起提高薄膜激光损伤阈值的方法。本发明提供的方法包括：使用粗糙度小于薄膜元件的光滑表面作为抛光面；利用润湿性良好的液体在抛光面和薄膜表面间形成液膜，液膜产生的毛细力作为作用在薄膜表面的正压力；膜面的节瘤凸起在抛光面和膜面的相对滑动过程中由摩擦力去除。本发明利用光滑表面和润湿性良好的液体去除薄膜表面的节瘤凸起，降低了节瘤缺陷引起的电场增强，在不影响薄膜光谱性能的前提下提升了薄膜元件的激光损伤阈值。与现有的提高光学薄膜激光损伤阈值的方法相比，本发明具有操作简单、成本低和适用范围广等特点。
一种去除光学薄膜缺陷表面冠状凸起抛光方法

[发明专利]一种真空镀膜用外膜快速冷却装置-CN202310751496.5在审
发明人：傅寿鸿;刘力;陈田冬;蔡振兴 -专利权人：浙江安胜科技股份有限公司
申请日： 2023-06-25 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C23C14/58 文献下载
摘要：本发明属于真空镀膜技术领域，具体涉及一种真空镀膜用外膜快速冷却装置，包括主传输带，所述主传输带上安装有多个固定夹持爪，所述固定夹持爪上滑动安装有活动夹持爪，所述活动夹持爪和固定夹持爪之间安装有第一弹簧，所述主传输带靠近活动夹持爪的一侧设有限位台，所述限位台上开设有导向槽，所述活动夹持爪于导向槽内安装有滑动机构，所述主传输带和限位台之间沿主传输带的传输方向依次设有支撑组件、冷却组件和落料口。其目的是：通过固定夹持爪、活动夹持爪、导向槽、支撑组件的相互配合，实现工件的自动夹持和落料，通过冷却组件提高了冷却效率和冷却效果。
一种真空镀膜用外膜快速冷却装置

[实用新型]一种真空镀膜机色层厚度控制装置-CN202321402195.3有效
发明人：吴江荣 -专利权人：东阳市佳禾新材料股份有限公司
申请日： 2023-06-05 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： C23C14/58 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空镀膜机色层厚度控制装置，包括安装于真空镀膜机内的面板；面板表面设置有切刀，切刀与面板之间安装有升降组件；面板表面设置有一个以上的排料槽；排料槽与切刀相对设置；面板上安装有框架；框架上安装有收卷组件；本实用新型通过在面板表面设置切刀，在切刀与面板之间安装升降组件，通过升降组件控制切刀与面板之间的间距；通过在面板表面设置一个以上的排料槽，排料槽与切刀相对设置，面板相较切刀运行，切刀将渣屑推动至排料槽处，实现自动排料；通过在面板上安装框架，在框架上安装收卷组件，框架上设置斜面，斜面与排料槽上下相对设置，当渣屑从排料槽落下后，从斜面向外排除。
一种真空镀膜机色层厚度控制装置

[发明专利]光泽度和表面特性优异的镀覆钢板及其制造方法-CN201980084796.4有效
发明人：韩贤燮;郭荣镇;金兑烨;金辰泰 -专利权人：浦项股份有限公司
申请日： 2019-11-27 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： C23C14/58 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种用于家电、建筑材料及汽车等的内装材料和外装材料等中的镀覆钢板及其制造方法。
光泽表面特性优异镀覆钢板及其制造方法

[发明专利]激光诱导薄膜实现共振自组织纳米结构的方法-CN202310444090.2在审
发明人：朱晓龙;元双秀;李可欣 -专利权人：华东师范大学
申请日： 2023-04-24 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： C23C14/58 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光诱导薄膜实现共振自组织纳米结构的方法，包括以下步骤：在衬底上生长一层薄膜，调整所述薄膜厚度满足与激光的中心波长发生法布里‑珀罗共振；在共振条件下，激光脉冲照射该薄膜并诱导其重新排布，最终自组织出所规划的纳米结构。通过所述方法实现纳米结构向特定形态收敛的辐照过程，也是由共振所控制的反馈辐照过程，使照射在薄膜上的脉冲数量不需要再精准控制，这不仅让辐照过程变得更为容易，且提供了一种更加可预测的方式产生纳米结构。本发明解决了现有技术问题中额外激光脉冲带来的干扰，为获得可预测的产品提供可靠技术手段。
激光诱导薄膜实现共振组织纳米结构方法

[发明专利]激光装置-CN201910293824.5有效
发明人：李童敏;苏炳洙;高仁哲;徐宗吾;李东成 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2019-04-12 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： C23C14/58 文献下载
摘要：本发明涉及一种激光装置。激光装置包括：激光发生器，产生第一激光束；以及反转模块，将所述第一激光束转换而释放第二激光束。所述反转模块包括：第一棱镜，包括第一入射面、第一出射面以及第一反射面；以及第二棱镜，包括与所述第一出射面平行的第二入射面、与所述第一入射面平行的第二出射面以及第二反射面。
激光装置

[实用新型]一种PVD涂层加工风冷装置-CN202320956637.2有效
发明人：周军萍;沈荣 -专利权人：苏州豪尔葳纳米科技有限公司
申请日： 2023-04-25 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： C23C14/58 文献下载
摘要：本实用新型涉及降温设备技术领域，具体是一种PVD涂层加工风冷装置，包括底座，所述底座的一侧固定连接有支座，支座上开设有放置槽，底座的顶端固定连接有多个底管，多个底管和支座之间共同固定连接有弯管，还包括降温组件，所述降温组件包括支架和风机，所述弯管与放置槽连通，所述支架固定连接于弯管的内壁上，所述风机固定连接于支架上本实用新型中，空气中的水可以在弯杆上凝结而最终被海绵套所吸收，因此吹至放置槽内的空气中所含有的水汽很少，因此可以将PVD镀膜后的材料放入放置槽内，通过风机吹至放置槽内冷气进行降温，从而使材料上的镀膜涂层更加稳固，待降温结束后，打开排水管将抽屉内的水排出即可。
一种 pvd 涂层加工风冷装置

[发明专利]一种镀膜缺陷去除工艺及红外截止滤光片-CN202310412723.1在审
发明人：周伟杰;王伟士;吴德生 -专利权人：信利光电股份有限公司
申请日： 2023-04-17 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： C23C14/58 文献下载
摘要：本发明公开了一种镀膜缺陷去除工艺及红外截止滤光片，工艺包括步骤：在镀制红外截止滤光片A面时，对A面的第一真空腔体进行加热，以使得A面的高折射率材料膜层产生第一雾度；在镀制红外截止滤光片B面时，对B面的第二真空腔体进行加热，以使得B面的高折射率材料膜层产生第二雾度。通过在镀制A面低反射薄膜和B面多层薄膜时，在第一真空腔体和第二真空腔体的加热温度分别提高到对应的温度阈值，使得A面低反射薄膜和B面多层薄膜的高折射材料由非结晶态转换为结晶态，分别产生对应的雾度，去除了“星点”镀膜缺陷，并且产生的雾度对视觉不产生影响，提高摄像模组的良率。
一种镀膜缺陷去除工艺红外截止滤光

[发明专利]一种氧化镍薄膜的改性处理方法-CN202310435297.3在审
发明人：姚力军;潘杰;姚舜;王予丛;沈栋栋;范昕 -专利权人：浙江景昇薄膜科技有限公司
申请日： 2023-04-21 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： C23C14/58 文献下载
摘要：本发明涉及一种氧化镍薄膜的改性处理方法，所述改性处理方法包括如下步骤：将氧化镍薄膜依次进行升温处理与后退火处理，随炉冷却至室温，得到改性氧化镍薄膜；所述升温处理包括依次进行的第一升温段与第二升温段。本发明将氧化镍薄膜进行两段升温处理与后退火处理，使得氧化镍薄膜高温后退火重结晶，从而改善其结晶性和致密性，进一步提高了其耐腐蚀性能。
一种氧化薄膜改性处理方法

[发明专利]一种快速退火设备-CN202111656034.2在审
发明人：寇崇善 -专利权人：日扬科技股份有限公司;明远精密科技股份有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： C23C14/58 文献下载
摘要：本发明提供一种快速退火设备，其可适用于碳化硅晶圆的回火处理。此快速退火设备包含变频微波功率源系统、共振腔加热系统及测控系统。变频微波功率源系统使用固态功率放大器并具有在热处理过程中快速频率扫描的灵活性，以补偿由待退火材料因温度变化引起的负载效应所造成的共振频率改变。为提高能量使用效率及提供足够的微波能量均匀区域，采用TM010的共振腔结构，可对4寸至8寸碳化硅晶圆进行退火处理。测控系统结合软硬体组成具有即时反馈的自动化系统，为整个设备提供了进一步的灵活性、稳定性和可靠性。
一种快速退火设备

[发明专利]含铝涂层的涂层剥离-CN201980062519.3有效
发明人：安德斯·奥洛夫·埃里克森;塞巴斯蒂安·本尼迪克特;瓦蒂姆·绍特 -专利权人：欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔
申请日： 2019-08-21 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： C23C14/58 文献下载
摘要：一种自基材的涂覆表面剥离涂层的方法，其中，该涂层在碱性水溶液中被剥离，其特征在于，所述方法包括以下步骤：通过沉积包括一层或多层的涂层而使该基材具有可剥离的涂层，由此制备待除去涂层的涂覆基材，其中，包含铝的一层被直接沉积在待除去涂层的基材表面上；和将待除去涂层的基材引入碱性水溶液中，由此执行该涂层自基材的化学剥离，而该碱性水溶液包含浓度按重量百分比为30～50重量％的NaOH。
涂层剥离

[实用新型]一种ITO导电薄膜生产用镀膜机-CN202223332633.1有效
发明人：项宏其;彭雄;侯涛 -专利权人：高邮市汇金新材料科技有限公司
申请日： 2022-12-13 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： C23C14/58 文献下载
摘要：本实用新型公开了镀膜机技术领域的一种ITO导电薄膜生产用镀膜机，包括镀膜机主体，镀膜机主体内上方设有喷盘，喷盘底部设有多组喷嘴，喷盘顶部贯穿连通设有输送管，镀膜机主体顶部设有抽气泵，抽气泵出气端与输送管一端相连接，抽气泵进气端连接设有连接管，镀膜机主体顶部设有加热箱，多组加热板左侧设有干燥层，干燥层上下侧壁分别与加热箱内上下侧壁相连接，本实用在抽气泵的作用下将热空气抽入到喷盘内，然后在喷嘴的作用下喷向ITO导电薄膜，从而能够对ITO导电薄膜进行烘干，在过滤网的配合下能够对外界空气进行过滤，从而能够避免外界空气携带灰尘进入到镀膜机内，保证ITO导电薄膜烘干的洁净度。
一种 ito 导电薄膜生产镀膜

[发明专利]一种碘化铅薄膜的致密化方法及其应用-CN202211447671.3在审
发明人：库治良;黄福志;徐觅;鲁建峰;程一兵 -专利权人：佛山仙湖实验室
申请日： 2022-11-18 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： C23C14/58 文献下载
摘要：本发明涉及铅卤钙钛矿光电转化技术领域，公开了一种碘化铅薄膜的致密化方法及其应用。所述方法包括：将碘化铅薄膜进行气氛热处理和退火处理；所述气氛热处理的气体为NH3、NH4Cl、NH2CnH2nCOOH中的至少一种，n为正整数；所述气氛热处理的压强为0.1‑1000Pa。本发明提供的致密化方法首先将碘化铅薄膜置于特定气体中进行热处理，将特定的气体通过热处理的方式插入碘化铅层状晶格中，经过一段时间处理后，再进行退火处理，从而使特定的气体从碘化铅层状晶格中逸出，本方法能够有效改变碘化铅晶体片层结构，使碘化铅薄膜变得更加致密，且薄膜结晶度更好，同时有效减少其转化为钙钛矿薄膜后的孔洞。
一种碘化薄膜致密方法及其应用

[发明专利]一种镀膜机通用退火装置-CN202211284699.X在审
发明人：寇洋;张梦蝶;袁磊;杨峰;黄康 -专利权人：齐鲁中科光物理与工程技术研究院
申请日： 2022-10-17 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： C23C14/58 文献下载
摘要：本发明公开了一种镀膜机通用退火装置，该退火装置包括流量控制器，气体恒温装置，气体过滤器，运动组件，温度参数控制部，加热部和气体管。本发明装置能根据不同镀膜机尺寸进行调整，安装并使用在镀膜机上，是一种能够安装于不同型号镀膜机的退火装置。利用本发明公开的退火装置进行薄膜退火，可以在镀膜工序结束后直接进行退火处理，可以避免薄膜在非真空环境中与杂质接触。该退火装置可以灵活调控气体出射位置与待退火样品的距离，气体流量和退火温度等退火条件，达到不同退火效果。结构稳定性好，安装调整灵活，不影响镀膜机正常运行。
一种镀膜通用退火装置

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