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[实用新型]槽式清洗设备-CN202320710604.X有效
发明人：闫亮;李圆晨;南建辉;张金斌;张明 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2023-04-03 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本实用新型提供一种槽式清洗设备。其包括：工艺槽体；升降机构，包括多个用于承载晶圆且沿第一水平方向间隔排布的卡槽；传感器组件和反光件，二者沿第二水平方向相对设置于工艺槽体两侧，且高于工艺槽体的上边沿；第二水平方向与第一水平方向相互垂直；传感器组件包括多个漫反射传感器，且多个漫反射传感沿第一水平方向间隔排布，并且每相邻两个卡槽的间隔中对应设置有一个漫反射传感器；漫反射传感器用于向反光件发射光信号，并接收反光件反射而来的反射信号。本申请的槽式清洗设备可以检测升降机构是否出现异常，且扩大了可检测到的升降机构异常的范围，以提高对于升降机构异常检测的准确性。
清洗设备

[发明专利]电解法制备硒化氢的方法和设备-CN201910424759.5有效
发明人：赵青松;闫冬升;胡有光;刘文杰;彭小磊;南建辉 -专利权人：紫石能源有限公司
申请日： 2019-05-21 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： C25B1/01 文献下载
摘要：本发明提供一种电解法制备硒化氢的方法和设备，属于电子气体制备技术领域，其可至少部分解决现有的硒化氢的制备过程中工艺不安全、工艺系统复杂、转化率低的问题。本发明的电解法制备硒化氢的方法包括提供电解池，电解池内设置有离子交换膜，离子交换膜将电解池分割为第一电解槽和第二电解槽，第一电解槽内存储有阴极电解液，第二电解槽内存储有阳极电解液，离子交换膜仅允许阴极电解液和阳极电解液中的氢离子透过该离子交换膜且不允许气体通过该离子交换膜，阴极电解液为纯水或酸溶液；在第一电解槽内设置硒阴极，在第二电解槽内设置阳极，阳极由电解时不与阳极电解液反应的材料形成；分别向硒阴极和阳极通入设定工作电压以制备硒化氢。
解法制备硒化氢方法设备

[实用新型]用于半导体工艺腔室的调试辅助装置-CN202320194526.2有效
发明人：刘晓环;张玉涛;南建辉;赵宏宇;王锐廷;徐瑶;闫亮;李文杰;董丽荣 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2023-01-13 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于半导体工艺腔室的调试辅助装置，包括底座、固定杆和移动杆，底座呈环状，固定杆固定设置在底座上，移动杆与固定杆连接，并能够相对于固定杆升降，且与底座的环内对应设置，移动杆能够下降靠近底座，并能够穿入底座的环内，或者能够上升远离底座，且移动杆还能够连接用于对待测参数进行检测的检测装置。本实用新型提供的用于半导体工艺腔室的调试辅助装置，能够提高检测调试的一致性及准确性，从而能够提高晶圆清洗的一致性，并能够改善晶圆清洗的效果。
用于半导体工艺调试辅助装置

[发明专利]转接装置及半导体工艺设备-CN202310214428.5在审
发明人：刘东旭;马宏帅;南建辉;赵宏宇 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： F16L29/00 文献下载
摘要：本发明公开一种转接装置，所公开的转接装置用于将水阻计转接至工艺槽，转接装置包括壳部和封堵部，壳部设有进水孔、出水孔和第一内腔，第一内腔分别与进水孔和出水孔连通；进水孔用于与工艺槽连通；出水孔用于与水阻计连通；封堵部活动地设于第一内腔内，以在第一位置与第二位置之间切换；在封堵部处在第一位置时，封堵部封堵进水孔和出水孔中的至少一者；在封堵部处在第二位置时，进水孔通过第一内腔与出水孔连通。本发明公开的转接装置能够避免对水阻计的损坏，无需操作人员拆装水阻计，进而能够缓解操作繁琐以及设备产能较低的问题。本发明还公开一种半导体工艺设备，所公开的半导体工艺设备包括本发明公开的转接装置。
转接装置半导体工艺设备

[发明专利]一种晶圆升降装置及清洗设备-CN202310101720.6在审
发明人：高少飞;马宏帅;赵宏宇;王锐廷;张金斌;南建辉 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2023-01-18 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本申请公开了一种晶圆升降装置及清洗设备，晶圆升降装置包括：第一支撑组件用于对晶圆的端面进行至少两点支撑，以使晶圆侧立；第二支撑组件用于在上升后支撑晶圆，并且第二支撑组件在上升至对晶圆进行支撑时避让第一支撑组件；升降机构，分别与第一支撑组件和第二支撑组件连接，用于驱动第一支撑组件带动晶圆由第一预设位置上升至第二预设位置；以及，用于当晶圆上升至第二预设位置后，驱动第二支撑组件带动晶圆由第二预设位置上升至第三预设位置，以使晶圆脱离第一支撑组件。本申请的支撑装置可以对晶圆进行完全干燥，并且晶圆与本支撑装置的接触点数量的多少对晶圆是否干燥完全无任何影响。
一种升降装置清洗设备

[发明专利]清洗装置-CN202310108974.0在审
发明人：张亚斌;王昭;王锐廷;南建辉;赵宏宇;李嘉 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2023-01-31 - 公布日： 2023-04-21 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请公开一种清洗装置。所公开的清洗装置用于清洗晶圆夹持机构。所公开的清洗装置包括装置主体和调节件，装置主体设有进水口和与进水口连通的过水空间，调节件与装置主体相连，且调节件与装置主体形成水幕喷射缝隙，水幕喷射缝隙与过水空间连通；调节件可相对于装置主体具有多个相对位置，调节件处在不同的相对位置时与装置主体形成的水幕喷射缝隙的第一尺寸均不相等，第一尺寸为调节件与装置主体用于形成水幕喷射缝隙的部位之间的距离。上述方案能解决相关技术涉及的清洗装置存在的水幕喷射缝隙无法较好地适应不同供水场景下的清洗任务的问题。
清洗装置

[实用新型]一种牲畜防疫用电子耳标-CN202223083141.3有效
发明人：周峙;谭镜明;龚磊;李蜜;戴伶;杨希文;唐曼科;南建辉;喻亮军 -专利权人：长沙九兴动物防检用品有限公司
申请日： 2022-11-21 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： A01K11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种牲畜防疫用电子耳标，包括主标，所述主标内封装有FRID电子标签，所述主标的端部连接有可拆卸的副标，所述主标的底部设有识别标志，所述主标的上端面设有安装杆，所述副标上的固定孔内连接有连接套筒，所述安装杆和连接套筒之间连接有高度调节单元，所述安装杆和连接套筒之间设置有导向组件，所述主标上设置有通风单元，本牲畜防疫用电子耳标通过设置磁吸孔、安装杆、固定孔、安装槽、连接软板、吸附凸起和取出槽方便调节主副标之间的距离，便于适应于不同耳朵厚度的牲畜使用，且方便拆装，有利于重复使用，通过设置第一通风孔、防尘网和第二通风孔便于提高牲畜耳标处的通风性，防止牲畜的耳标处皮肤溃烂。
一种牲畜防疫用电子耳标

[实用新型]一种真空自耗炉炉头用新型清扫装置-CN202222268518.6有效
发明人： 南建辉;樊凯;焦毅柱;张平;鲁由武 -专利权人：湖南湘投金天钛业科技股份有限公司
申请日： 2022-08-29 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： C22B9/21 文献下载
摘要：本实用新型属于真空自耗炉领域，具体公开了一种真空自耗炉炉头用新型清扫装置，包括驱动部分、固定部分及清扫部分，通过将固定部分的卡头按照真空自耗炉使用的辅助电极夹持部位进行设计，使用时将本实用新型夹持在电极杆上，给驱动部分的直流电机通电，通过真空自耗炉的电极杆上升或下降动作，完成对炉头内壁的清扫。相比现有技术而言，大大减轻了劳动强度，提高了工作效率。
一种真空耗炉炉头用新型清扫装置

[发明专利]一种晶片的传输装置及半导体工艺设备-CN202110839309.X在审
发明人：李广义;王锐廷;赵宏宇;杨斌;南建辉;赵曾男 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-07-23 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开一种晶片的传输装置及半导体工艺设备，传输装置包括上下料组件(100)、储存组件(200)、运载机构(400)和第一机械手(500)；储存组件(200)具有多个储存位(210)，且至少两个储存位(210)成一组，储存位(210)用于存储晶片承载盒；运载机构(400)用于在上下料组件(100)存储至少两个晶片承载盒后，同时将上下料组件(100)上存储的至少两个晶片承载盒传输至第一机械手(500)；第一机械手(500)用于将运载机构(400)传输的至少两个晶片承载盒传输至一组储存位(210)。上述方案能够解决半导体工艺设备的传输效率较差的问题。
一种晶片传输装置半导体工艺设备

[实用新型]一种大功率液压系统快速启动装置-CN202221723517.X有效
发明人： 南建辉;樊凯;胡珊珊;张滔;张毅 -专利权人：湖南湘投金天钛业科技股份有限公司
申请日： 2022-07-06 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： F15B1/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及液压系统启动技术领域，公开了一种大功率液压系统快速启动装置，包括主泵、主电机、液压马达等；主电机、主泵、液压马达三者依次通过联轴器同轴连接；在主泵上通过第一油路管道连接有蓄能器且在第一油路管道上固定连接有第一电磁换向阀，在蓄能器上固定连接有压力传感器；蓄能器通过第二油路管道连接液压马达且在第二油路管道上固定连接有第二电磁换向阀；电机转速传感器固定连接在主电机的轴上。可实现在需要停机时立即停机，在需要启动时可以快速启动，彻底消除频繁启停所造成的负面影响。
一种大功率液压系统快速启动装置

[发明专利]混液装置和半导体工艺设备-CN202210884013.4在审
发明人：张虎威;王龙;王锐廷;南建辉;张金斌;高少飞 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-07-26 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： B01F23/40 文献下载
摘要：本发明公开一种混液装置和半导体工艺设备，所公开的混液装置包括第一输液管、第二输液管、混液容器和第一溢流管路；其中：第一输液管的排液端部和第二输液管的排液端部均与混液容器连通，第一溢流管路的溢流入口与混液容器连通，且第一溢流管路的溢流入口位于混液容器的预设高度，第一溢流管路设有第一开关阀；第一输液管用于向处在排空状态的混液容器内输送第一液体，以使第一液体的实际液位大于预设高度以及第一液体可从第一溢流管路的溢流入口排出；第二输液管设有第一计量设备，在实际液位降至预设高度的情况下，第二输液管用于向混液容器中输送经第一计量设备控制的预设体积的第二液体，第一开关阀处在关闭状态。
装置半导体工艺设备

[实用新型]半导体清洗设备-CN202220192461.3有效
发明人：张虎威;高少飞;南建辉;张金斌 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-01-24 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供一种半导体清洗设备，包括：晶片清洗单元、干燥单元以及上下料单元，上下料单元用于对晶片进行上料以及下料；第一机械手、第二机械手以及洗手单元，洗手单元用于对第一机械手进行清洗和/或吹干，洗手单元内部设有晶片暂存结构，用于对待清洗的晶片进行暂时存放，第一机械手用于将待清洗的晶片由上下料单元传送至晶片暂存结构，且在通过洗手单元清洗后还用于将清洗后的晶片由晶片清洗单元传送至干燥单元，且在通过洗手单元吹干后还用于将干燥后的晶片由干燥单元传送至上下料单元，第二机械手用于将待清洗的晶片由晶片暂存结构传送至晶片清洗单元。第一机械手和第二机械手配合调度，从而改善晶片传输效率，提升设备产能。
半导体清洗设备

[发明专利]清洗系统-CN202210264827.8在审
发明人：李广义;南建辉 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-03-17 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种清洗系统，涉及半导体领域。一种清洗系统，包括清洗装置和花篮；清洗装置包括装置本体、支撑组件和清洁组件；所述装置本体具有工艺腔体；所述支撑组件包括设于工艺腔体内的支撑架，所述花篮设置于所述支撑架；所述清洁组件包括喷臂，所述喷臂设置于所述工艺腔体内，并与所述花篮对应设置，所述喷臂用于向所述花篮喷射清洗介质或干燥介质。本申请至少能够解决自动清洗整个过程中传送花篮而导致清洗效率低的问题。
清洗系统

[发明专利]一种防松滚针轴承、安装外套及防松滚针轴承的安装方法-CN202011265250.X有效
发明人：韩瑞瑞;熊高明;南建辉 -专利权人：杭州人本装备轴承有限公司
申请日： 2020-11-13 - 公布日： 2022-05-20 - 主分类号： F16C19/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种防松滚针轴承，包括轴承内圈和密布围绕在轴承内圈外侧壁上的滚针，滚针外形为圆柱形，圆柱形的至少其中一端的端面上设有内凹的镶块盲孔，镶块盲孔内适配的镶嵌有防松镶块；所述防松镶块为下端小上端大的旋转体形；所述旋转体形的旋转轴与圆柱形的旋转轴重合。在此基础上,本发明还公开了一种防松滚针轴承的安装外套，以及一种防松滚针轴承的安装方法。本发明的有益效果是：重新设计了滚针的导向结构，使导向结构也能承受径向受力，因而可以显著减少滚针的长度，减轻滚针的重量，使轴承具有尺寸小、重量轻、能量传递效率高的优势。
一种防松滚针轴承安装外套方法

[实用新型]轴承保持架盖-CN202122781182.9有效
发明人： 南建辉;熊高明;韩瑞瑞;王辉;张喜民;李瑶;杨宇祥 -专利权人：杭州人本装备轴承有限公司
申请日： 2021-11-15 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： F16C33/46 文献下载
摘要：本实用新型公开了轴承保持架盖，属于轴承技术领域，目前的保持架盖与凸筋榫头间铆合存在如下不足：铆合处存在缝隙，无法做到完全焊接，则凸筋存在径向晃动；盖环与凸筋端面贴合不够紧密，凸筋存在轴向晃动，本方案包括第一盖环和第二盖环，第一盖环和第二盖环相靠近的一端端面间设有多个凸筋，凸筋的两侧外壁均开有转槽，相邻转槽围成兜孔，第一盖环和第二盖环上均开有多个榫槽，凸筋的两端端面均固定安装榫头，榫头贯穿榫槽并与第一盖环和第二盖环铆接。凸筋端面的榫头与榫槽紧密贴合匹配，从而热铆合连接后凸筋在第一盖环和第二盖环间完全固定，滚动体转动卡接在转槽内，并通过兜孔限位，配合精度高，提高轴承转动精度。
轴承保持

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