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- [发明专利]蒸发装置和蒸发系统-CN202310221367.5在审
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孙美俊;王雄
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无锡宏朗石化装备科技有限公司
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2023-03-09
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2023-06-23
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B01D1/00
- 本发明公开了一种蒸发装置和蒸发系统,该蒸发装置包括:壳体,壳体的中部形成为夹套,夹套内填充有蒸发介质;布液件,布液件设在壳体内,布液件上开设有多个出液孔,布液件用于将其内部的液体通过出液孔喷射在夹套的内表面本发明将液体分割成无数个液滴后喷射在夹套的内表面,液体更加分散,避免了液体流动的汇聚现象,使得蒸发更加均匀,从而提升了蒸发效果和蒸发效率,另一方面,液滴后喷射在夹套的内表面时,液体在受到冲击时被挤压摊薄,厚度进一步降低,使得蒸发效果得到进一步提升。
- 蒸发装置系统
- [发明专利]蒸发方法及蒸发设备-CN200910225436.X有效
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宋怡桦;徐士峰
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友达光电股份有限公司
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2009-12-10
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2010-06-09
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C23C14/04
- 本发明提供一种蒸发方法及蒸发设备。所述蒸发方法为:首先提供基板以及提供蒸发掩膜,其中蒸发掩膜上具有N个图案区域。另外,提供蒸发源,其中蒸发源具有多个蒸发区域,且蒸发源的每一个蒸发区域对应蒸发掩膜的至少一图案区域设置。接着,将蒸发掩膜设置于基板与蒸发源之间。之后,对基板进行第一次蒸发步骤。将基板转动90度之后,对基板进行第二次蒸发步骤。再次将基板转动90度之后,对基板进行第三次蒸发步骤。再次将基板转动90度之后,对基板进行第四次蒸发步骤。
- 蒸发方法设备
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