“刘光斗”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果50个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[实用新型]U型立式多功能双面镀膜生产线-CN202223534075.7有效
发明人：舒逸;刘光斗;李赞;张巧;袁帅;杨红;欧阳杰 -专利权人：湖南玉丰真空科学技术有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种U型立式多功能双面镀膜生产线，包括平行设置的PVD连续真空生产线和CVD连续真空生产线，PVD连续真空生产线的末端与CVD连续真空生产线的首端通过真空平移室衔接，真空平移室用于将基片从PVD连续真空生产线转移至CVD连续真空生产线，以及真空度切换，真空平移室与PVD连续真空生产线、CVD连续真空生产线对接腔室的连接处分别设置有用于封闭进出口的门阀，且真空平移室通过真空管道连接真空抽气系统，在真空平移室内设置有用于转移基片的平移机构。本实用新型实现了所镀产品多层膜系且不同工艺条件下在真空环境下连续完成，而且实现产品双面镀膜工艺，在满足产品高要求工艺的同时大大提高生产产能。
立式多功能双面镀膜生产线

[实用新型]一种播种装置-CN202121385550.1有效
发明人： 刘光斗 -专利权人： 刘光斗
申请日： 2021-06-22 - 公布日： 2022-01-18 - 主分类号： A01C7/08 文献下载
摘要：一种播种装置，包括机架，所述机架处安装有传动机构、分种机构及开沟机构，所述传动机构包括转轴，所述转轴与机架转动连接，所述转轴处设置有第一链轮、第二链轮，所述第一链轮与传动机构连接，所述第二链轮与分种机构连接；所述分种机构包括种盒、分种盘和下种管；所述开沟机构包括安装支架、第一开沟盘、第二开沟盘，所述下种管的出口设置于第一开沟盘与第二开沟盘间。该播种装置结构简单，具有能够精准调节播种间距、开沟宽度和开沟深度的有益效果。
一种播种装置

[实用新型]一种耐高温基片夹具-CN202022135360.6有效
发明人：李国强;舒逸;刘光斗;李赞 -专利权人：湖南玉丰真空科学技术有限公司
申请日： 2020-09-25 - 公布日： 2021-09-17 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种耐高温基片夹具，包括由左、右立柱和上、下横梁连成一个整体的框架，在上、下横梁上分别设置有用于装载基片的卡槽，在左、右立柱分别设置有翻板机构，翻板机构包括固定在左立柱/右立柱上的固定座，固定座上通过销轴转动连接有压板，在左立柱/右立柱上嵌入安装有耐高温磁铁，压板与耐高温磁铁相对应部位为能被磁铁吸引的金属材质，压板与基片接触部位为PEEK材质。本实用新型的耐高温基片夹具采用钛合金材质的整体框架，更加耐高温，卡槽、压板选用比金属质软又能耐高温的PEEK材质，不会造成玻璃基片表面划伤，翻板机构操作便捷，基片装卸方便，中间连杆及PEEK材质的隔套可对玻璃基片起到有效的保护作用。
一种耐高温夹具

[实用新型]一种用于真空镀膜设备的简易格栅装置-CN202022138275.5有效
发明人：李国强;舒逸;刘光斗;李赞 -专利权人：湖南玉丰真空科学技术有限公司
申请日： 2020-09-25 - 公布日： 2021-09-17 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于真空镀膜设备的简易格栅装置，包括固定板、拉伸气缸、活动杆、活动板，所述固定板固定在真空室抽气口处，在固定板上沿垂直方向设置有多个开口，所述拉伸气缸固定在真空室抽气口的顶板上，拉伸气缸的活塞杆端通过连接套与活动杆连接，所述活动杆延伸至真空室抽气口内，在活动杆上固定有多块活动板，所述活动板与固定板上的开口相匹配，拉伸气缸通过活动杆带动活动板上下移动，从而实现对固定板上的开口的封闭和开启。本实用新型的用于真空镀膜设备的简易格栅装置结构简单、拆卸方便、能耐高温、加工便捷、成本低廉，易损备件都是常规产品，有效降低了生产成本和提高了运行效率。
一种用于真空镀膜设备简易格栅装置

[实用新型]一种磁控溅射区域降温装置-CN202022138294.8有效
发明人：李国强;舒逸;刘光斗;李赞 -专利权人：湖南玉丰真空科学技术有限公司
申请日： 2020-09-25 - 公布日： 2021-09-17 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种磁控溅射区域降温装置，该磁控溅射区域降温装置安装在磁控阴极的正对面、基片与磁控阴极之间，包括水冷板，所述水冷板底部通过支撑座固定在真空镀膜箱体底部，水冷板上部通过固定支架固定在镀膜箱体上部，所述水冷板朝向基片一侧的面板上焊接有呈蛇形分布的冷却水管，所述冷却水管的进水端及出水端分别通过密封装置与真空镀膜箱体底部密封连接。本实用新型的磁控溅射区域降温装置安装在磁控阴极的正对面、基片与磁控阴极之间，通过水冷板及冷却水管的设置，可通过水冷来降低周边温度，保证了基片表面的正常工艺温度。
一种磁控溅射区域降温装置

[实用新型]一种可调的真空磁控溅射镀膜设备工件转架-CN202022138272.1有效
发明人：李国强;舒逸;刘光斗;李赞 -专利权人：湖南玉丰真空科学技术有限公司
申请日： 2020-09-25 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可调的真空磁控溅射镀膜设备工件转架，包括上支撑盘、上支撑座、下支撑盘、下支撑座、撑杆，上支撑盘固定在上支撑座上，下支撑盘固定在下支撑座上，撑杆连接上支撑盘、下支撑盘，在上支撑盘、下支撑盘之间沿周向分布有多块活动挂板，活动挂板一侧与设置在上支撑座、下支撑座之间的转轴连接，在上支撑座、下支撑座上分别对应设置有呈圆弧形的导轨，活动挂板的另一侧的上、下部分别设置有与导轨相匹配的导向销，活动挂板可沿导轨绕转轴转动。通过转动活动挂板可以控制活动挂板到溅射阴极之间的距离，使挂板跟溅射阴极呈现不同的溅射距离，从而改变挂板各个区域的成膜厚度，给工艺调节提供的更广泛的使用条件。
一种可调真空磁控溅射镀膜设备工件

[实用新型]磁场可调的磁控溅射阴极-CN202022138296.7有效
发明人：李国强;舒逸;刘光斗;李赞 -专利权人：湖南玉丰真空科学技术有限公司
申请日： 2020-09-25 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种磁场可调的磁控溅射阴极，包括靶材、背板、磁体装置、阴极底板以及屏蔽板，磁体装置由在长度方向上的多块独立磁场模块组成，每个独立磁场模块分别单独通过调节组件与固定在阴极底板上的固定底板连接，调节组件包括调节螺母、调节螺杆、导向柱，调节螺母转动连接在固定底板上，调节螺杆与调节螺母螺纹连接，调节螺杆穿过固定底板与独立磁场模块连接，固定底板上设有导向孔，导向柱一端与独立磁场模块固定连接，另一端与导向孔配合。本实用新型将磁体装置在高度方向上分成多段独立磁场模块，每块独立磁场模块均可通过调节螺母来实现前后移动，从而调节磁场前后的距离，实现高度方向上不同区域膜厚不一致的工艺生产要求。
磁场可调磁控溅射阴极

[实用新型]一种重载型铰链装置-CN201822107997.7有效
发明人：舒逸;刘光斗;李赞 -专利权人：湖南玉丰真空科学技术有限公司
申请日： 2018-12-16 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： E05D5/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种重载型铰链装置，包括两个上下间隔设置的、固定在室体上的铰链座，以及一个固定在室门的铰链板，铰链板包括面板部和圆筒部，面板部通过螺栓固定在室门上，筒状部置于上下两个铰链座之间，连接轴穿过两个铰链座以及筒状部的圆孔将铰链座和铰链板连接在一起，在铰链板筒状部圆孔内嵌有轴承套，并在其上下部分别内置有深沟球轴承，在下部深沟球轴承下方还设有推力轴承。本实用新型的重载型铰链装置，铰链板圆筒部内上下端内置深沟球轴承，下端安装推力轴承并分别安装在轴承套上，有效的解决了来自轴向和径向的外力，始终保持铰链板以连接轴为中心旋转，有效避免了大室门由于自重影响而造成的卡死现象。
一种重载铰链装置

[实用新型]一种溅射阴极匀气装置-CN201822108005.2有效
发明人：舒逸;刘光斗;李赞 -专利权人：湖南玉丰真空科学技术有限公司
申请日： 2018-12-16 - 公布日： 2021-01-26 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种溅射阴极匀气装置，包括安装在阴极靶门上的溅射阴极以及罩住溅射阴极的阴极挡板，在阴极挡板内侧、溅射阴极的两边沿溅射阴极长度方向，对称设有两段或两段以上的独立且互不连通的匀气管，所述匀气管由匀气外管和匀气内管组成，匀气内管套在匀气外管内，匀气内管与进气管道连接，进气管道穿过阴极靶门并与气体流量控制器连接，在匀气内管壁四周分布有出气孔，在匀气外管上沿长度方向分布有多个出气喷嘴。本实用新型通过在溅射阴极长度方向两边布置匀气管，外部通过单独的气体流量控制器来控制每一段匀气管的气体流量，对溅射阴极上中下各位置进行工艺气体流量补偿，进而来提高或者降低阴极区域等离子体浓度，提高产品的质量。
一种溅射阴极装置

[实用新型]一种真空室用翻板阀门装置-CN201822108006.7有效
发明人：舒逸;刘光斗;李赞 -专利权人：湖南玉丰真空科学技术有限公司
申请日： 2018-12-16 - 公布日： 2021-01-15 - 主分类号： F16K41/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空室用翻板阀门装置，包括阀板，所述阀板上设有一组以上的连接装置，所述连接装置包括两根平行设置的连接杆，在两个连接杆之间设有连接座，连接座与连接杆之间通过轴活动连接，所述连接座通过螺杆与阀板连接，在连接座与阀板之间的螺杆上套有蝶形弹簧，在连接座两侧的连接杆上各设有一穿透连接杆与阀板接触的调节杆，连接杆固定在一通轴上，通轴两端分别与穿透真空室壁的联轴器连接，联轴器与真空室壁之间通过磁流体密封装置连接，联轴器另一端连接驱动装置。本实用新型密封性能好、结构简单、加工方便、成本低，易损件都是常规产品，有效降低了生产成本和提高了运行效率。
一种真空室用翻板阀门装置

[实用新型]一种真空环境下的动力传输装置-CN201822107993.9有效
发明人：舒逸;刘光斗;李赞 -专利权人：湖南玉丰真空科学技术有限公司
申请日： 2018-12-16 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： F16H49/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空环境下的动力传输装置，包括输入轴、输出轴、外壳体、内壳体，内壳体呈圆筒状，内中空，内壳体穿透真空腔体壁并与真空腔体壁密封连接，内壳体在大气侧一端通过顶盖封闭，位于真空侧的输出轴伸入内壳体内并通过轴承与内壳体连接，在靠近大气侧一端的输出轴上套有一圈第一磁铁，外壳体套在大气侧的内壳体外并与内壳体间留有间隙，在该间隙处设有旋转套筒，旋转套筒与内壳体之间通过轴承连接，在旋转套筒内壁上设有与第一磁铁对应的第二磁铁，旋转套筒穿过外壳体与输入轴连接。本实用新型输入轴与输出轴无接触传动，传动时只是壳体与腔壁的静密封，实现了零泄漏，输入轴端与输出轴端不接触，从而不会存在卡死的现象。
一种真空环境动力传输装置

[发明专利]一种可调的真空磁控溅射镀膜设备工件转架-CN202011024183.2在审
发明人：李国强;舒逸;刘光斗;李赞 -专利权人：湖南玉丰真空科学技术有限公司
申请日： 2020-09-25 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种可调的真空磁控溅射镀膜设备工件转架，包括上支撑盘、上支撑座、下支撑盘、下支撑座、撑杆，上支撑盘固定在上支撑座上，下支撑盘固定在下支撑座上，撑杆连接上支撑盘、下支撑盘，在上支撑盘、下支撑盘之间沿周向分布有多块活动挂板，活动挂板一侧与设置在上支撑座、下支撑座之间的转轴连接，在上支撑座、下支撑座上分别对应设置有呈圆弧形的导轨，活动挂板的另一侧的上、下部分别设置有与导轨相匹配的导向销，活动挂板可沿导轨绕转轴转动。通过转动活动挂板可以控制活动挂板到溅射阴极之间的距离，使挂板跟溅射阴极呈现不同的溅射距离，从而改变挂板各个区域的成膜厚度，给工艺调节提供的更广泛的使用条件。
一种可调真空磁控溅射镀膜设备工件

[发明专利]一种耐高温基片夹具-CN202011024205.5在审
发明人：李国强;舒逸;刘光斗;李赞 -专利权人：湖南玉丰真空科学技术有限公司
申请日： 2020-09-25 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种耐高温基片夹具，包括由左、右立柱和上、下横梁连成一个整体的框架，在上、下横梁上分别设置有用于装载基片的卡槽，在左、右立柱分别设置有翻板机构，翻板机构包括固定在左立柱/右立柱上的固定座，固定座上通过销轴转动连接有压板，在左立柱/右立柱上嵌入安装有耐高温磁铁，压板与耐高温磁铁相对应部位为能被磁铁吸引的金属材质，压板与基片接触部位为PEEK材质。本发明的耐高温基片夹具采用钛合金材质的整体框架，更加耐高温，卡槽、压板选用比金属质软又能耐高温的PEEK材质，不会造成玻璃基片表面划伤，翻板机构操作便捷，基片装卸方便，中间连杆及PEEK材质的隔套可对玻璃基片起到有效的保护作用。
一种耐高温夹具

[发明专利]一种用于真空镀膜设备的简易格栅装置-CN202011024209.3在审
发明人：李国强;舒逸;刘光斗;李赞 -专利权人：湖南玉丰真空科学技术有限公司
申请日： 2020-09-25 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于真空镀膜设备的简易格栅装置，包括固定板、拉伸气缸、活动杆、活动板，所述固定板固定在真空室抽气口处，在固定板上沿垂直方向设置有多个开口，所述拉伸气缸固定在真空室抽气口的顶板上，拉伸气缸的活塞杆端通过连接套与活动杆连接，所述活动杆延伸至真空室抽气口内，在活动杆上固定有多块活动板，所述活动板与固定板上的开口相匹配，拉伸气缸通过活动杆带动活动板上下移动，从而实现对固定板上的开口的封闭和开启。本发明的用于真空镀膜设备的简易格栅装置结构简单、拆卸方便、能耐高温、加工便捷、成本低廉，易损备件都是常规产品，有效降低了生产成本和提高了运行效率。
一种用于真空镀膜设备简易格栅装置

[发明专利]磁场可调的磁控溅射阴极-CN202011024220.X在审
发明人：李国强;舒逸;刘光斗;李赞 -专利权人：湖南玉丰真空科学技术有限公司
申请日： 2020-09-25 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种磁场可调的磁控溅射阴极，包括靶材、背板、磁体装置、阴极底板以及屏蔽板，磁体装置由在长度方向上的多块独立磁场模块组成，每个独立磁场模块分别单独通过调节组件与固定在阴极底板上的固定底板连接，调节组件包括调节螺母、调节螺杆、导向柱，调节螺母转动连接在固定底板上，调节螺杆与调节螺母螺纹连接，调节螺杆穿过固定底板与独立磁场模块连接，固定底板上设有导向孔，导向柱一端与独立磁场模块固定连接，另一端与导向孔配合。本发明将磁体装置在高度方向上分成多段独立磁场模块，每块独立磁场模块均可通过调节螺母来实现前后移动，从而调节磁场前后的距离，实现高度方向上不同区域膜厚不一致的工艺生产要求。
磁场可调磁控溅射阴极

1
2
3
4
下一页»
尾页
共 50 条