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[实用新型]镀膜系统-CN202320811402.4有效
发明人：王君 -专利权人： 沈阳爱科斯科技有限公司;森科五金（深圳）有限公司
申请日： 2023-04-13 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型提供一种镀膜系统，涉及镀膜技术领域，镀膜系统包括作业室、转架以及举升机构；作业室内形成有作业腔和运输腔，举升机构设置于运输腔内，且转架与举升机构的举升端相接触，举升机构能够将转架由运输腔送入或运出作业腔。通过本申请提供的镀膜系统，当带有工件的转架进入作业室后，能够通过举升机构的伸展和折叠实现转架由运输腔进入或离开作业腔中，从而提高整体镀膜流程的速度，便于形成流水作业。
镀膜系统

[发明专利]连续镀膜生产线-CN202310390950.9在审
发明人：王君 -专利权人： 沈阳爱科斯科技有限公司;森科五金（深圳）有限公司
申请日： 2023-04-13 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明提供的一种连续镀膜生产线，涉及镀膜技术领域，连续镀膜生产线包括上料装置、工作装置、下料装置以及密封装置；所述工作装置包括预处理机构、清洗机构、镀膜机构以及冷却机构，工作装置包括顺次排布的预处理机构、清洗机构、镀膜机构以及冷却机构，且上料装置与预处理机构之间、预处理机构与镀膜机构之间、镀膜机构与冷却机构之间以及冷却机构与下料装置之间均设有能够实现互相分隔或连通的密封装置。通过本申请提供的连续镀膜生产线，能够将每一道工序分解成一个或多个作业腔室，从而能够极大的缩短每个腔室的作业时间，加快作业节拍，避免各工序互相影响的同时，提高作业效率。
连续镀膜生产线

[实用新型]连续镀膜生产线-CN202320817039.7有效
发明人：王君 -专利权人： 沈阳爱科斯科技有限公司;森科五金（深圳）有限公司
申请日： 2023-04-13 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型提供的一种连续镀膜生产线，涉及镀膜技术领域，连续镀膜生产线包括上料装置、工作装置、下料装置以及密封装置；所述工作装置包括预处理机构、清洗机构、镀膜机构以及冷却机构，工作装置包括顺次排布的预处理机构、清洗机构、镀膜机构以及冷却机构，且上料装置与预处理机构之间、预处理机构与镀膜机构之间、镀膜机构与冷却机构之间以及冷却机构与下料装置之间均设有能够实现互相分隔或连通的密封装置。通过本申请提供的连续镀膜生产线，能够将每一道工序分解成一个或多个作业腔室，从而能够极大的缩短每个腔室的作业时间，加快作业节拍，避免各工序互相影响的同时，提高作业效率。
连续镀膜生产线

[实用新型]承载机构及镀膜装置-CN202320821244.0有效
发明人：王君 -专利权人： 沈阳爱科斯科技有限公司;森科五金（深圳）有限公司
申请日： 2023-04-13 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型提供一种承载机构及镀膜装置，涉及镀膜设备技术领域，包括承托组件、承装组件以及驱动组件；承装组件用于承载工件，承托组件上形成有第一支撑部和第二支撑部，承装组件的两端分别与第一支撑部和第二支撑部转动连接；驱动组件的输出端与承装组件的一端相连接，以驱动承装组件转动。通过本申请提供的承载机构，由于采用单杆挂货形式，因此，能够极大的提升工件在每个阶段的作业节拍，即承载机构上承载的工件能够快速完成清洗、镀膜以及冷却等作业，从而能够提高整体作业效率，并实现镀膜作业的快速流水线作业。
承载机构镀膜装置

[实用新型]分体式镀膜设备及镀膜系统-CN202320818109.0有效
发明人：王君 -专利权人： 沈阳爱科斯科技有限公司;森科五金（深圳）有限公司
申请日： 2023-04-13 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型提供一种分体式镀膜设备及镀膜系统，涉及镀膜设备技术领域，分体式镀膜设备包括传动腔体、工作腔体和锁定件；传动腔体的边缘形成有对位件，工作腔体对应对位件的位置形成有对位部，对位件进入对位部以使工作腔体与传动腔体对位连接；锁定件的一端能够穿过工作腔体和传动腔体，以将工作腔体和传动腔体相锁定。通过本申请提供的分体式镀膜设备，由于工作腔体和传动腔体为分体式结构，且通过锁定件锁定连接，因此，可根据作业需求快速更换对应的工作腔体，以提高作业效率。并且，当需要对工作腔体进行检修时，可将待检修工作腔体拆除，更换新的工作腔体进行作业，以实现作业和维修的同步进行。
体式镀膜设备系统

[实用新型]弧源水冷座-CN202222888066.1有效
发明人：王君 -专利权人： 沈阳爱科斯科技有限公司
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本申请涉及真空镀膜设备技术领域，尤其是涉及一种弧源水冷座，包括：冷却主体，冷却主体形成有冷却面，冷却面与弧源的靶材接触或贴合；冷却主体设置有冷却流道，冷却流道内流动有冷却介质，冷却流道限定冷却介质的流动方向，冷却流道设置有出液口；冷却主体设置有进液口，进液口与冷却流道连通。本申请提供的弧源水冷座，通过设定多个形态不同的冷却流道的方式，扩大了冷却流道在冷却主体上的分布范围，从而增加冷却范围，同时缩短了冷却介质在单个冷却流道内的流动路径，不仅能够有效降低冷却介质返流、外溢的情况，还能够保证冷却介质的流动速度，从而提高冷却介质的吸热、换热效率，从而提高本弧源水冷座对靶材的冷却效果和效率。
水冷

[实用新型]一种带锯条镀膜装置-CN202222717015.2有效
发明人：王君 -专利权人： 沈阳爱科斯科技有限公司
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： C23C14/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种带锯条镀膜装置，用于带锯条的镀膜，所述带锯条镀膜装置包括镀膜室，所述镀膜室倾斜地设置；传动机构和设置于所述传动机构的挂载门体，所述带锯条设置于所述挂载门体，所述挂载门体与所述镀膜室相对应地设置，所述挂载门体通过所述传动机构与所述镀膜室可开闭地连接；镀膜机构，所述镀膜机构设置于所述镀膜室用以对所述带锯条镀膜。该带锯条镀膜装置简化了带锯条的安装和拆卸，可以更好地对带锯条进行镀膜的作业，同时生产效率高，经济效益好。
一种锯条镀膜装置

[实用新型]一种多盘带锯条同步镀膜装置-CN202222717664.2有效
发明人：王君 -专利权人： 沈阳爱科斯科技有限公司
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型提供一种多盘带锯条同步镀膜装置，用于多盘的带锯条的镀膜，所述多盘带锯条同步镀膜装置包括工作腔体，所述工作腔体倾斜地设置；运输部和设置于所述运输部的挂载门，所述挂载门与所述工作腔体相对应地设置，所述挂载门通过所述运输部与所述工作腔体可开闭地连接；所述挂载门包括多个挂载盘，所述带锯条设置于所述挂载盘；镀膜机构，所述镀膜机构设置于所述工作腔体用以对所述带锯条镀膜。该多盘带锯条同步镀膜装置可以同时对多个盘设好的带锯条进行镀膜，实现了带锯条镀膜作业的大批量生产，同时生产效率高，经济效益好。
一种盘带锯条同步镀膜装置

[发明专利]一种多盘带锯条同步镀膜装置-CN202211260026.0在审
发明人：王君 -专利权人： 沈阳爱科斯科技有限公司
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明提供一种多盘带锯条同步镀膜装置，用于多盘的带锯条的镀膜，所述多盘带锯条同步镀膜装置包括工作腔体，所述工作腔体倾斜地设置；运输部和设置于所述运输部的挂载门，所述挂载门与所述工作腔体相对应地设置，所述挂载门通过所述运输部与所述工作腔体可开闭地连接；所述挂载门包括多个挂载盘，所述带锯条设置于所述挂载盘；镀膜机构，所述镀膜机构设置于所述工作腔体用以对所述带锯条镀膜。该多盘带锯条同步镀膜装置可以同时对多个盘设好的带锯条进行镀膜，实现了带锯条镀膜作业的大批量生产，同时生产效率高，经济效益好。
一种盘带锯条同步镀膜装置

[实用新型]弧源及镀膜机-CN202221488288.8有效
发明人：王君 -专利权人： 沈阳爱科斯科技有限公司
申请日： 2022-06-14 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本申请涉及镀膜技术领域，尤其是涉及一种弧源及镀膜机，弧源包括：防护罩、固定件、磁体组件和驱动装置，其中防护罩设置有靶材；固定件设置在防护罩内；磁体组件设置于固定件；驱动装置包括固定部以及设置于固定部的驱动部，驱动部能够相对固定部运动以靠近或远离靶材，驱动部与固定件连接，驱动装置驱动固定件带动磁体组件靠近或远离靶材。本申请提供的弧源，通过驱动装置驱动固定件以调节固定件上的磁体组件与靶材之间的距离或者位置关系，能够调节磁体组件形成的磁场与靶材之间的距离，并且调节过程通过驱动装置自动完成，相对人工手动调节的方式，一方面降低了操作难度，另一方面提高了调节精度，从而有助于提高镀膜机的镀膜质量。
镀膜

[实用新型]转架移动系统-CN202221495495.6有效
发明人：王君 -专利权人： 沈阳爱科斯科技有限公司
申请日： 2022-06-15 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型提供一种转架移动系统，属于镀膜设备技术领域。转架移动系统包括移动装置和转架装置；移动装置包括车体、举升机构和承载台，转架装置设置于承载台上，举升机构的一端与车体相连接，另一端与承载台相连接，承载台沿水平方向设置，举升机构能够在竖直方向上伸缩。通过车体能够便于转运转架装置，并使转架装置送入真空镀膜室内的过程更加方便快捷，稳定省力，且在转架装置送入真空镀膜室的过程中，通过举升机构的伸缩能够不断调整承载台的水平高度，从而在一定程度上提高转架装置与真空镀膜室之间的对接精度。
移动系统

[实用新型]插板阀装置及连续式真空镀膜系统-CN202222186581.5有效
发明人：王君 -专利权人： 沈阳爱科斯科技有限公司
申请日： 2022-08-18 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： F16K3/20 文献下载
摘要：本实用新型提供的一种插板阀装置及连续式真空镀膜系统，其中插板阀装置包括升降机构、压紧机构、阀体机构及阀板组件；升降机构设置于阀体机构的外部，且升降机构的伸缩端位于阀体机构内，并与阀板组件相连接；压紧机构包括驱动组件和压紧件，驱动组件相对设置于阀体机构的两侧，驱动组件的伸缩端位于阀体机构内，且驱动组件与压紧件相连接，驱动组件能够驱动压紧件与阀板组件的侧部相抵接或相分离。通过升降机构能够实现阀板组件竖直方向的移动，并在与作业设备的待密封口对接后进行密封，通过两侧的压紧机构对阀板组件进行压紧，能够进一步提高阀板组件与密封口之间的紧密度，无需阀板组件的横移，降低阀板组件密封圈的磨损。
插板装置连续真空镀膜系统

[实用新型]靶材升降装置及真空镀膜设备-CN202222170941.2有效
发明人：王君 -专利权人： 沈阳爱科斯科技有限公司
申请日： 2022-08-17 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供的一种靶材升降装置及真空镀膜设备，其中靶材升降装置包括驱动机构、移动板以及靶材机构；驱动机构的一端与真空镀膜设备中的真空镀膜室相连接，另一端为伸缩端，且伸缩端与移动板相连接；靶材机构的一端与移动板相连接，另一端穿过真空镀膜室的外壁面进入真空镀膜室内，驱动机构能够驱动移动板向接近或远离真空镀膜室的方向移动，以使靶材机构能够进入或脱离真空镀膜室。通过驱动机构驱动移动板向接近或远离真空镀膜室的方向移动，从而能够带动靶材机构运动，使磁控溅射靶远离移动板的一端能够进入或脱离真空镀膜室，进而能够避免在非作业过程中靶材位于真空镀膜室内受到污染的问题。
升降装置真空镀膜设备

[实用新型]多弧离子镀膜装置-CN202221141277.2有效
发明人：王君;闫超颖;依君;梁惠朋 -专利权人： 沈阳爱科斯科技有限公司
申请日： 2022-05-12 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本申请涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种多弧离子镀膜装置。该多弧离子镀膜装置包括镀膜模组，镀膜模组包括真空室、镀膜弧源和刻蚀弧源，镀膜弧源和刻蚀弧源均与真空室相连接，真空室的内部用于通入反应气体。该多弧离子镀膜装置采用刻蚀弧源和阳极组件组成的刻蚀组件对工件表面进行刻蚀处理，再通过镀膜弧源对工件进行沉积镀膜，能够提高工件外表面与膜层之间结合力，使得工件表面获得致密、高硬度、高耐磨的高性能功能膜层，以应对各种复杂工况和工艺需求。
离子镀膜装置

[发明专利]陶瓷真空镀膜工艺方法-CN202110336148.2有效
发明人：王君;王思航;闫超颖;李昌华 -专利权人： 沈阳爱科斯科技有限公司;辽宁卓越真空设备有限公司;王君
申请日： 2021-03-29 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： C04B41/90 文献下载
摘要：本申请涉及镀膜工艺领域，尤其是涉及一种陶瓷真空镀膜工艺方法。陶瓷真空镀膜工艺方法包括如下步骤：S1：将陶瓷基材放入真空室内并抽真空；S2：向真空室充入惰性气体；S3：开启偏压电源调节偏压电源的参数；开启转架；S4：对陶瓷基材镀膜包括如下步骤：S4.1：对陶瓷基材加热放气；S4.2：开启第一预设金属靶对陶瓷基材刻蚀；S4.3：关闭第一预设金属靶；开启第二预设金属靶对陶瓷基材打底；S4.4：关闭第一预设金属靶和第二预设金属靶；开启第三预设金属靶对陶瓷基材镀膜；S5：降低真空室温度。本申请通过对陶瓷基材依次进行预热放气、刻蚀、打底及镀膜，提升了镀层的均匀性和镀层的附着度，进而提升了滤波器的质量。
陶瓷真空镀膜工艺方法

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