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[发明专利]一种用于镀膜机的封闭式上下片系统-CN201710943124.7有效
发明人：朱刚劲;朱刚毅;朱文廓 -专利权人： 广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2017-10-11 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于镀膜机的封闭式上下片系统，包括壳体和均设置在壳体内部的基片移载机构、夹具移载机构、出料机构、上料机构、基片识别机构、方圆识别机构、机械手、承接机构、方形基片存放架、圆形基片存放架；上料机构，基片识别机构，用于识别夹具形状的方圆识别机构，用于夹取夹具的机械手，用于装载夹具的承接机构，用于存放方形基片的方形基片存放架，用于存放圆形基片的圆形基片存放架依次布置；基片移载机构和夹具移载机构均位于承接机构的上方，壳体上设有入料口和出料口，上料机构位于入料口处，出料机构位于出料口处。封闭式的上下片系统能实现基片的自动装夹和卸载，属于基片上下片的技术领域。
一种用于镀膜封闭式下片系统

[发明专利]一种可隔离坩埚蒸发装置-CN202310625783.1在审
发明人：陈庆华;季旭;朱刚劲;杨容军 -专利权人：肇庆学院;广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2023-05-30 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： B01D1/22 文献下载
摘要：本公开属于蒸发装置技术领域，公开一种可隔离坩埚蒸发装置，包括三脚架、放置于三脚架顶部的泥三角、放置于泥三角顶部的坩埚，坩埚内壁开设有若干个呈圆周分布的第一凹陷件，且第一凹陷件靠近坩埚顶部的一端与远离坩埚外壁的一端皆贯穿坩埚设置；本公开采用第一分隔件对坩埚内部空间进行分隔，以形成多个相隔离的蒸发区；而由于第一凹陷件的开设，使得进行蒸发结晶时部分结晶处于第一凹陷件内，导致难以取出，因此，由第一填充件对对应第一凹陷件进行填充；此外，通过设置第一填充件，可同时对对应第一插入件进行限位，进而实现对对应第一分隔件的限位。
一种隔离坩埚蒸发装置

[实用新型]一种坩埚送丝蒸发卷对卷镀膜设备-CN202320156969.2有效
发明人：朱刚毅;杨容军 -专利权人： 广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2023-01-19 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开一种坩埚送丝蒸发卷对卷镀膜设备，包括真空镀膜室、真空抽气装置、双面蒸发镀膜辊轮组、第一自动送丝蒸镀组件和第二自动送丝蒸镀组件，双面蒸发镀膜辊轮组包括放膜辊、第一水冷镀膜辊、收卷辊、第二水冷镀膜辊、第一张紧辊轮组和第二张紧辊轮组；通过从放膜辊拉出待镀膜，待镀膜经由第一张紧辊轮组进行张紧，再绕过第一水冷镀膜辊下方，由第一自动送丝蒸镀组件对第一水冷镀膜辊下方待镀膜进行一面的蒸发镀膜，再由第二张紧辊轮组改变待镀膜的转动方向，使得待镀膜绕过第二水冷镀膜辊下方，由第二自动送丝蒸镀组件对第二水冷镀膜辊下方待镀膜进行另一面的蒸发镀膜，最后由收卷辊将其回收。
一种坩埚蒸发镀膜设备

[实用新型]一种高真空用内装式挡板阀-CN202320160284.5有效
发明人：杨容军;朱刚劲 -专利权人： 广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2023-01-13 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： F04B53/10 文献下载
摘要：本实用新型公开一种高真空用内装式挡板阀，包括安装在真空室壁外的精抽泵，安装在精抽泵周围的若干个伸缩缸，伸缩缸输出端通过真空室壁进入真空室内部，若干个伸缩缸输出端安装有内装式挡板，伸缩缸输出端外围套设有动态密封组件；内装式挡板设置有挡板密封圈；通过在真空室内设置有内装式挡板，在精抽泵周围设置若干个伸缩缸，若干个伸缩缸输出端与内装式挡板相固定，当分子泵与真空室之间需要有阀门隔断时，若干个伸缩缸回缩，内装式挡板上的挡板密封圈卡入与精抽泵相连通的阶梯孔中，实现密封；当精抽泵与真空室之间不需要阀门隔断时，若干个伸缩缸伸长，内装式挡板上的挡板密封圈与精抽泵相连通的阶梯孔相远离，实现精抽泵连通真空室。
一种真空用内装式挡板

[发明专利]一种卷绕式真空镀膜机-CN202210628994.6有效
发明人：朱刚毅;朱刚劲 -专利权人： 广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2022-06-06 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明属于镀膜设备技术领域，公开一种卷绕式真空镀膜机，包括放卷组件、第一双平衡辊抗应力组件、第一镀膜组件、第二镀膜组件、第二双平衡辊抗应力组件、收卷组件，所有组件都设置在真空室内。所述放卷组件和所述收卷组件在放卷和收卷的过程中，能够避免薄膜基材发生褶皱，将薄膜基材展平，所述第一双平衡辊抗应力组件和所述第二双平衡辊抗应力组件的设置，使得薄膜基材受到的拉应力均匀，很好的保护薄膜基材，避免拉应力变化过大造成薄膜基材变形受损。
一种卷绕真空镀膜

[发明专利]一种真空蒸发镀膜设备的自动送丝填料工艺-CN202211305934.7在审
发明人：朱刚劲;朱刚毅 -专利权人： 广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2022-10-24 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开一种真空蒸发镀膜设备的自动送丝填料工艺，包括真空室，放薄膜装置、收薄膜装置、镀膜辊、真空抽气装置、蒸发坩埚和送丝装置；将薄膜装置上原膜绕过镀膜辊，再由收薄膜装置收紧；真空抽气装置对抽真空，预热坩埚使膜料预溶；调节预热坩埚的中频感应蒸发源频率和功率使膜料溶化蒸发，对原膜进行蒸发镀膜；启动送丝装置，使膜料丝不断地加入到坩埚中进行加热蒸发，保持长时间蒸发；镀膜完成时按停机顺序进行关停机操作；通过送丝装置对蒸发坩埚进行投送膜料膜丝，在提高镀膜的厚度时，调节蒸发坩埚的蒸发速度，进而提高镀膜厚度；在镀较长原膜时，可以持续不断对蒸发坩埚添加蒸发材料，进而减少镀膜过程中的停机次数、提高蒸发镀膜的生产效率。
一种真空蒸发镀膜设备自动填料工艺

[实用新型]一种新型真空镀膜设备的真空室结构-CN202222144542.9有效
发明人：朱刚毅;朱刚劲;杨容军;顾垂风;阮汉飞;伽龙;戚孝群;纪永生;朱正录 -专利权人： 广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2022-08-15 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型真空镀膜设备的真空室结构，包括由前面板、后面板及侧板围成的真空腔室，在真空腔室中设有收放卷系统、设于收放卷系统之间的可错位安装的镀膜辊及用于镀膜的镀膜源，镀膜源沿镀膜辊的外周布置。本实用新型提供一种新型真空镀膜设备的真空室结构，镀膜辊可以错位安装在真空腔室内，占用空间不大，空间利用率高，能有效缩短真空抽气的时间，提升了生产效率。
一种新型真空镀膜设备真空结构

[实用新型]一种可调节式卷绕式真空镀膜机-CN202222398497.X有效
发明人：朱刚毅;朱刚劲;杨容军;顾垂风;阮汉飞;伽龙;唐振方;朱汉明;戚孝群 -专利权人： 广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2022-09-09 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可调节式卷绕式真空镀膜机，涉及真空镀膜机技术领域，包括卷绕装置，所述卷绕装置的底端内部可拆卸式安装有吸尘装置，所述卷绕装置的底端两侧边缘位置上固定连接有支撑腿，所述支撑腿的底端固定连接安装底板。本实用新型通过启动吸尘器，利用吸尘器配合吸尘口将薄膜外表面上的灰尘吸进集尘箱的内部，使用防护网防止大件物品掉落其内部造成装置损坏，再通过外界设备连接进水管道，将水引进集尘箱的内部，使用融合叶片促使灰尘与水进行加速混合，防止排出时，灰尘再次漂浮周围环境中，最后通过排尘口排出即可，解决薄膜在经过加工后，其表面附着有大量的毛屑灰尘，从而影响产品质量的问题，以达到快速除尘的效果。
一种调节卷绕真空镀膜

[发明专利]一种带阀门隔离蒸发室与卷绕室的电子束蒸发镀膜设备-CN202210848546.7在审
发明人：朱刚劲;朱刚毅 -专利权人： 广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2022-07-19 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种带阀门隔离蒸发室与卷绕室的电子束蒸发镀膜设备，包括真空容器，真空容器内设有卷绕室和蒸发室，在蒸发室上活动设有隔断蒸发室与卷绕室的阀盖板。本发明提供一种带阀门隔离蒸发室与卷绕室的电子束蒸发镀膜设备，通过阀盖板盖在蒸发室上，可保持蒸发室内的真空环境，可单独预熔，不影响卷绕室内收放卷材，节省生产时间，提高生产效率。
一种阀门隔离蒸发卷绕电子束镀膜设备

[发明专利]一种锂电复合集流体卷对卷镀膜方法及其电场吸附装置-CN202210848728.4在审
发明人：朱刚毅;朱刚劲;杨容军 -专利权人： 广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2022-07-19 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明公开一种锂电复合集流体卷对卷镀膜方法及其电场吸附装置，一种镀膜方法，包括：基材进入第一镀膜辊时，线性源给基材带上偏压，基材贴紧第一镀膜辊；基材由第一镀膜源给基材的第一镀膜面镀上镀膜层；基材进入第二镀膜辊时，带电导辊给基材带上偏压，通过异性相吸作用，基材贴紧第二镀膜辊；基材由第二镀膜源给基材的第二镀膜面镀上镀膜层。一种电场吸附装置，包括第一镀膜辊、第二镀膜辊及带电导辊，第一镀膜辊外围设第一镀膜源和线性源，第二镀膜辊外围设第二镀膜源。本发明通过在基材和镀膜辊之间通过电荷的异性相吸的作用，将基材吸附在镀膜辊上，解决基材包辊不好受热变形的问题。
一种复合流体镀膜方法及其电场吸附装置

[实用新型]一种蒸发坩埚及电子束蒸发卷绕镀膜设备-CN202221308444.8有效
发明人：孔令镇;麦耀华;朱红兵;沈凯;吴绍航;顾垂风;阮汉飞 -专利权人： 广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2022-05-27 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种蒸发坩埚及电子束蒸发卷绕镀膜设备，一种蒸发钳锅，包括底座和设于底座的锅体，底座设有驱动机构和水冷盖板，该驱动机构连接有转臂和转轴，驱动机构驱动转轴转动，转轴带动转臂转动，转臂与水冷盖板连接、带动水冷盖板绕转轴运动，使水冷盖板与底座分开或盖在底座上。一种电子束蒸发镀膜设备，包括上述的蒸发钳锅。本实用新型提供一种蒸发钳锅及电子束蒸发卷绕镀膜设备，蒸发钳锅在镀膜结束后盖上水冷盖板，可快速阻断钳锅温度对镀膜基材的影响，简化常规镀膜设备的边跑膜边降温的操作，提高生产效率。
一种蒸发坩埚电子束卷绕镀膜设备

[实用新型]一种双蒸发源与等离子体镀膜源结合的新型真空镀膜设备-CN202221380267.4有效
发明人：朱刚劲;朱刚毅 -专利权人： 广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2022-06-02 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本实用新型公开一种双蒸发源与等离子体镀膜源结合的新型真空镀膜设备，包括真空室、设于真空室内的放卷系统和收卷系统，在放卷系统和收卷系统之间设有双镀膜辊，真空室内设有隔气板，隔气板将真空室内部分成等离子体镀膜源腔室和蒸发镀膜室，双镀膜辊设于等离子体镀膜源腔室中，薄膜基材从放卷系统输出，进入等离子体镀膜源腔室及蒸发镀膜室、绕过双镀膜辊后复卷在收卷系统上。本实用新型的一种双蒸发源与等离子体镀膜源结合的等离子体镀膜源结合的新型真空镀膜设备，复合蒸发镀膜和等离子体镀膜源成膜于一体，实现等离子体镀膜源成膜与热蒸发相互交替的镀膜方式，提升膜层均匀性和结合力，来回往复镀膜，加快镀膜厚度的沉积、提升镀膜速度和生产效率。
一种蒸发等离子体镀膜结合新型真空镀膜设备

[发明专利]双蒸发源与等离子体镀膜源结合的新型真空镀膜设备-CN202210625252.8在审
发明人：朱刚劲;朱刚毅 -专利权人： 广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2022-06-02 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本发明公开一种双蒸发源与等离子体镀膜源结合的新型真空镀膜设备，包括真空室、设于真空室内的放卷系统和收卷系统，在放卷系统和收卷系统之间设有双镀膜辊，真空室内设有隔气板，隔气板将真空室内部分成等离子体镀膜源腔室和蒸发镀膜室，双镀膜辊设于等离子体镀膜源腔室中，薄膜基材从放卷系统输出，进入等离子体镀膜源腔室及蒸发镀膜室、绕过双镀膜辊后复卷在收卷系统上。本发明的一种双蒸发源与等离子体镀膜源结合的等离子体镀膜源结合的新型真空镀膜设备，复合蒸发镀膜和等离子体镀膜源成膜于一体，实现等离子体镀膜源成膜与热蒸发相互交替的镀膜方式，提升膜层均匀性和结合力，来回往复镀膜，加快镀膜厚度的沉积、提升镀膜速度和生产效率。
蒸发等离子体镀膜结合新型真空镀膜设备

[实用新型]一种带撕膜覆膜装置的真空卷绕镀膜设备-CN202220456607.0有效
发明人：朱刚劲;朱刚毅 -专利权人： 广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2022-02-28 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带撕膜覆膜装置的真空卷绕镀膜设备，包括真空容器和放卷系统、镀膜辊、撕膜卷及收卷系统，基材经过镀膜辊后复卷到收卷系统，镀膜辊的外圆周侧部设磁控靶，保护膜从放卷系统上输出后与基材分离，在镀膜辊的输出端设有覆膜卷，保护膜覆在基材表面复卷至收卷系统。本实用新型可对带保护膜的薄膜基材进行撕膜镀膜，实现单面镀膜和双面镀膜的功能，且保持在真空无尘环境下进行。
一种带撕膜覆膜装置真空卷绕镀膜设备

[实用新型]一种电子束蒸发双面镀膜的卷对卷设备-CN202220418232.9有效
发明人：朱刚毅;朱刚劲 -专利权人： 广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2022-02-28 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电子束蒸发双面镀膜的卷对卷设备，包括真空容器，真空容器内部形成有放卷室、蒸发镀膜室一、蒸发镀膜室二和收卷室，放卷室输出薄膜基材经过蒸发镀膜室一和蒸发镀膜室二后进入收卷室中复卷，蒸发镀膜室一设有镀膜辊一和电子束蒸发镀膜器一，蒸发镀膜室二设有镀膜辊二和电子束蒸发镀膜器二，薄膜基材绕过镀膜辊一和镀膜辊二使其正反两面分别与电子束蒸发镀膜器一和电子束蒸发镀膜器二对应。本实用新型提供一种电子束蒸发双面镀膜的卷对卷设备，采用电子束加热膜材，加热功率大，热能量集中且能量大，能蒸发各种难熔金属及非金属材料，采用双镀膜辊双电子束加热蒸发镀膜实现薄膜基材的连续双面镀膜。
一种电子束蒸发双面镀膜设备

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