[发明专利]二极管阳极结构、纵向二极管以及横向二极管有效

专利信息
申请号: 201610944884.5 申请日: 2016-10-26
公开(公告)号: CN106298977B 公开(公告)日: 2019-11-15
发明(设计)人: 邓光敏;裴轶 申请(专利权)人: 苏州捷芯威半导体有限公司
主分类号: H01L29/872 分类号: H01L29/872;H01L29/47
代理公司: 11332 北京品源专利代理有限公司 代理人: 孟金喆;胡彬<国际申请>=<国际公布>=
地址: 215123江苏省苏州市工业园*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明实施例公开了一种二极管阳极结构、纵向二极管以及横向二极管,涉及半导体技术领域,其中,所述二极管阳极结构包括:半导体层;至少两个第一肖特基金属层,位于所述半导体层上,与所述半导体层形成肖特基接触,得到第一肖特基势垒高度;至少一个第二肖特基金属层,位于所述半导体层上,且位于所述第一肖特基金属层之间,与所述半导体层形成肖特基接触,得到第二肖特基势垒高度。采用上述技术方案,在阳极区域与半导体形成两种势垒高度,在二极管反向关断时,第一肖特基势垒高度可以降低反向漏电,在二极管正向开启时,第二肖特基势垒高度可以降低正向开启电压,采用上述二极管阳极结构,可以保证提高二极管使用效率。
搜索关键词: 二极管 阳极 结构 纵向 以及 横向
【主权项】:
1.一种二极管阳极结构,其特征在于,包括:/n半导体层;/n至少两个第一肖特基金属层,位于所述半导体层上,与所述半导体层形成肖特基接触,得到第一肖特基势垒高度;/n至少一个第二肖特基金属层,位于所述半导体层上,且位于所述第一肖特基金属层之间,与所述半导体层形成肖特基接触,得到第二肖特基势垒高度;/n所述第一肖特基势垒高度大于所述第二肖特基势垒高度;/n所述半导体层上形成有与所述第一肖特基金属层对应的凹槽结构,所述第一肖特基金属层的底部位于所述凹槽结构中。/n
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