专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]具有调制掺杂电子阻挡结构的深紫外LED及制备方法-CN202111463623.9在审
  • 张骏;陈云;张毅;岳金顺 - 苏州紫灿科技有限公司
  • 2021-12-02 - 2022-03-18 - H01L33/14
  • 本发明公开了一种具有调制掺杂电子阻挡结构的深紫外LED及其制备方法,该具有调制掺杂电子阻挡结构的深紫外LED包括依次层叠设置的蓝宝石衬底、AlN本征、n型AlGaN电子注入、量子阱有源、调制掺杂电子阻挡和p型AlGaN空穴注入,调制掺杂电子阻挡包括交替排布的若干第一阻挡和第二阻挡;第一阻挡和第二阻挡均含Mg掺杂,且第一阻挡的Mg掺杂浓度大于第二阻挡的Mg掺杂浓度;或者第一阻挡和第二阻挡均不含Mg掺杂,在第一阻挡与第二阻挡的界面处进行Mg掺杂。本发明通过对电子阻挡进行调制掺杂,提高了Mg掺杂效率,有效防止Mg向有源区扩散,提高了深紫外LED的发光效率。
  • 具有调制掺杂电子阻挡结构深紫led制备方法
  • [发明专利]电容阻挡结构及阻挡结构的制备方法-CN202010757293.3有效
  • 冯秦旭;梁金娥;邢中豪 - 华虹半导体(无锡)有限公司
  • 2020-07-31 - 2022-10-04 - H01L49/02
  • 本申请涉及半导体技术领域,具体涉及一种MIM电容阻挡结构及阻挡结构的制备方法。阻挡结构包括:依次层叠的第一应力阻挡和第二应力阻挡,且所述第一应力阻挡的应力值小于所述第二阻挡的应力值。阻挡结构的制备方法包括提供第一氮气流量制作第一应力阻挡;提供第二氮气流量,制作与所述第一应力阻挡依次层叠的第二应力阻挡。介质结构包括介电,所述介电包括相对的上表面和下表面,在所述介电的上表面和下表面上分别形成上述用于MIM电容的阻挡结构。本申请提供了的MIM电容阻挡结构、介质结构及阻挡结构的制备方法,可以解决相关技术中因应力较大导致阻挡发生剥落的问题。
  • 电容阻挡结构制备方法
  • [发明专利]用于互连结构的阻挡及其制备方法-CN202010417817.4在审
  • 杨弦龙;姜德新 - 广东汉岂工业技术研发有限公司
  • 2020-05-15 - 2021-11-19 - H01L23/532
  • 本发明公开了用于互连结构的阻挡,设置在互连结构的金属互连材料与电介质之间,阻挡包括第一阻挡和第二阻挡,第一阻挡环绕在金属互连材料外层,第二阻挡环绕在第一阻挡外侧。本发明提供的阻挡,包括两由原子沉淀形成的阻挡,通过两不同材料制成的阻挡,利用具有稳定金属性能和良好附着力的材料可以提升原有的阻挡与金属互连材料之间的附着力,由此,可以改善现有的单层阻挡性能较差以及由ALD和PVD形成的双阻挡带来的高阻抗问题;进而减少从互连电流到损坏集成电路的热量,改善IC电路的RC延迟,提高IC生产的成品率。
  • 用于互连结构阻挡及其制备方法
  • [发明专利]小线宽超高离子注入阻挡工艺方法-CN201510662264.8在审
  • 王剑;耿金鹏;戴蕴青 - 上海华力微电子有限公司
  • 2015-10-14 - 2015-12-30 - H01L21/02
  • 本发明提供了一种小线宽超高离子注入阻挡工艺方法,包括:在硅片上涂布一离子注入阻挡;在离子注入阻挡上然后涂布一蚀刻阻挡;在蚀刻阻挡上涂布一光刻胶;在光刻机设备上通过曝光工艺,在光刻胶上形成具有预定线宽的光刻胶图案;通过蚀刻工艺,利用光刻胶图案在蚀刻阻挡中刻出与光刻胶图案相应的蚀刻阻挡图案,随后去除光刻胶;通过蚀刻工艺,利用蚀刻阻挡图案在离子注入阻挡中刻出与蚀刻阻挡图案相应的离子注入阻挡图案,随后去除蚀刻阻挡;利用形成有离子注入阻挡图案的离子注入阻挡对硅片执行离子注入。
  • 小线宽超高离子注入阻挡工艺方法
  • [发明专利]一种有机电致发光器件和显示装置-CN202110740721.6有效
  • 蔡明瀚;段炼;李国孟;李飞霞;刘俊;李梦真;王宏宇 - 昆山国显光电有限公司;清华大学
  • 2021-06-30 - 2023-04-18 - H10K50/11
  • 本发明提供一种有机电致发光器件和显示装置,有机电致发光器件包括阳极功能、第一电子阻挡、第二电子阻挡、发光以及阴极功能,阳极功能的表面包括邻接的第一区域和第二区域,第一电子阻挡设置于第一区域,第二电子阻挡设置于第二区域和第一阻挡远离阳极功能的表面,发光设置于第二阻挡远离阳极功能的表面;第一电子阻挡包括并列设置的红光电子阻挡和绿光电子阻挡,第二电子阻挡为蓝光电子阻挡;红光电子阻挡中的红光电子阻挡材料的HOMO能级和绿光电子阻挡中的绿光电子阻挡材料的HOMO能级均浅于蓝光电子阻挡中的蓝光电子阻挡材料的HOMO能级。
  • 一种有机电致发光器件显示装置
  • [发明专利]半导体器件及其制造方法-CN201110294600.X有效
  • 周鸣 - 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
  • 2011-09-29 - 2013-04-10 - H01L21/768
  • 一种半导体器件及其制造方法,所述制造方法包括:提供衬底,在衬底上形成介质,在介质中形成金属互连线;在所述金属互连线上形成第一阻挡;对所述第一阻挡的表面进行硅化处理,形成第一富硅阻挡;在所述第一富硅阻挡上形成第二阻挡,对所述第二阻挡的表面进行硅化处理,形成第二富硅阻挡。相应地,本发明还提供一种半导体器件,包括:衬底,位于衬底上的介质,形成于介质中的金属互连线;依次位于金属互连线上的第一阻挡、第一富硅阻挡、第二阻挡、第二富硅阻挡。本发明可以减小PID问题。
  • 半导体器件及其制造方法
  • [发明专利]半导体器件的形成方法及半导体器件-CN202210946421.8在审
  • 杨弘;叶李欣;简良翰 - 长鑫存储技术有限公司
  • 2022-08-08 - 2022-10-25 - H01L21/768
  • 本公开涉及半导体器件的形成方法及半导体器件,该形成方法包括:提供衬底,在衬底上形成隔离介质,在隔离介质中形成凹槽;在凹槽的槽壁和槽底形成欧姆接触;在欧姆接触上形成金属扩散阻挡,金属扩散阻挡包括致密阻挡,致密阻挡包括交替沉积形成的第一阻挡和第二阻挡,第二阻挡含有用于弱化金属扩散阻挡的晶界的掺杂元素,掺杂元素在交替沉积过程中掺入第一阻挡的至少部分内;在凹槽内填充金属,金属形成在金属扩散阻挡上该形成方法能够使金属扩散阻挡的整体结构更加致密,进而改善了阻挡性能,金属扩散阻挡能够有效抑制金属向隔离介质中扩散迁移,从而提高了半导体器件的可靠性。
  • 半导体器件形成方法
  • [发明专利]一种圆形栅纵向MOSFET功率器件的制造方法-CN202210354799.9有效
  • 张长沙;李佳帅;何佳 - 泰科天润半导体科技(北京)有限公司
  • 2022-04-06 - 2022-06-17 - H01L21/28
  • 本发明提供了一种圆形栅纵向MOSFET功率器件的制造方法,在SiC衬底上外延漂移,之后形成阻挡,对阻挡蚀刻形成环形阱区通孔,离子注入形成阱区;重新形成阻挡,对阻挡蚀刻形成环形有源区通孔,离子注入形成源区;将阻挡清除后在漂移上生长氧化,形成阻挡,对阻挡以及氧化蚀刻形成环形源极金属区通孔,金属淀积形成源极金属;重新形成阻挡,并对阻挡以及氧化蚀刻形成肖特基金属区通孔,金属淀积形成肖特基金属;重新形成阻挡,并对阻挡蚀刻形成栅极区通孔,金属淀积形成栅极金属;清除阻挡,金属淀积形成漏极金属;提高器件的电流密度,功率密度做高,充分发挥SiC器件宽禁带材料的特性。
  • 一种圆形纵向mosfet功率器件制造方法

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