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- [实用新型]一种晶圆分选机用清洁装置-CN202223291176.6有效
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李更生;杨科
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聚灿光电科技(宿迁)有限公司
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2022-12-08
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2023-06-16
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B08B1/00
- 一种晶圆分选机用清洁装置,属于晶圆加工技术领域,包括分选机构本体,所述分选机构本体上设有蓝膜,在现有技术的基础上本装置增加了伸缩机构、连接机构、安装于伸缩机构一端与伸缩机构配套使用的清洁机构,其中,连接机构安装于分选机构本体的一侧,伸缩机构采用可拆卸连接方式与连接机构相连,伸缩机构上设有伸缩杆,清洁机构采用可拆卸连接方式安装于伸缩杆的一端,所述伸缩杆能够带动清洁机构沿着伸缩杆长度的方向做往复运动,本装置操作简单使用维护方便,相对于传统的刺穿蓝膜的清理方式,本方案清理的更彻底,无残留产生,亦无需耗费额外的蓝膜,节约了生产成本适宜大规模推广使用。
- 一种分选清洁装置
- [实用新型]一种新型源瓶-CN202223291980.4有效
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徐志军;刘勇;蒲健;谢陶;李本功
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聚灿光电科技(宿迁)有限公司
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2022-12-08
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2023-05-23
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F16L41/03
- 本实用新型公开了一种新型源瓶,包括第一源瓶、第二源瓶及多个支撑台,所述第一源瓶顶端分别固接第一长管及第一短管,所述第二源瓶顶面固接第二长管及第二短管,所述第一长管、第一短管、第二长管及第二短管上连通管路部件,所述管路部件包括进气组件、出气组件、第一辅助组件、第二辅助组件及连接组件,所述进气组件连通第一长管,所述出气组件连通第二短管,所述连接组件两端分别连通第一短管及第二长管,所述第一辅助组件两端分别连通进气组件及出气组件。本实用新型可以通过启闭多个阀门的方式改变气体在源瓶内的流量和方向,在不同阶段保证mo源与气体的接触面积,保证源效率,并且无需调整进气位置即可实现,操作更加简便,也更加效率。
- 一种新型
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