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- [发明专利]测试结构及测试方法-CN201410392190.6有效
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钟强华;孙明圣;赖李龙
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中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
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2014-08-11
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2018-05-04
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H01L21/66
- 本申请公开了一种测试结构及测试方法。其中,该测试结构包括半导体基体;深阱,设置于半导体基体中;第一阱,设置于深阱中;第一掺杂区和导电类型与第一掺杂区的导电类型相反的第二掺杂区,设置于深阱和第一阱之间,且第一掺杂区的导电类型与第一阱的导电类型相同;第三掺杂区和导电类型与第三掺杂区的导电类型相反的第四掺杂区,设置于第一阱中,且第三掺杂区的导电类型与第一掺杂区的导电类型相反;焊盘,分别与第一掺杂区、第二掺杂区、第三掺杂区和第四掺杂区形成电连接。通过该测试结构能够直接监测到阱漏电,并迅速找到阱漏电流的方向,从而省去了对芯片进行热点分析及芯片去层的处理过程,进而减少了监测阱漏电流所需的时间。
- 测试结构方法
- [实用新型]一种双向防静电ESD器件-CN201920816668.1有效
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胡光亮;黄志诚
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上海雷卯电子科技有限公司
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2019-06-02
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2020-02-18
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H01L27/02
- 本实用新型公开了一种双向防静电ESD器件,包括一个P型衬底,在其上方设置BN,BN上方设置两个P阱,所述两个P阱由一个N阱隔开,两个P阱外侧亦设置有N阱,两个P阱内都设有P型重掺杂和N型重掺杂,一个P阱内的P型重掺杂和N型重掺杂连接一号端口,另一个P阱内的P型重掺杂和N型重掺杂连接二号端口,其特征在于,两个P阱和N阱之间也设置有P型重掺杂。上述结构使得保持SCR双向都可以通过PNPN结构泄放ESD的电流,且SCR开启电压较原结构降低;此外,上述设计使得本实用新型可以通过调整掺杂区域的大小和长度等参数来调整调整SCR的开启电压和保持电压。
- 一种双向静电esd器件
- [发明专利]波导结构和光学元件-CN200710136065.9有效
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藤原弘康;山西正道;樋口彰;中嶋和利
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浜松光子学株式会社
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2007-07-13
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2008-01-16
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G02B6/10
- 本发明提供易于制造且使表面等离子体振子波的传播距离更长的波导结构和光学元件。波导结构具有在半导体基板(10)上层叠的量子阱结构(20)。量子阱结构内的量子阱层(22)具有,与相对于半导体基板(10)的量子阱结构的排列方向大致垂直相交的假想平面相交的交叉区域(22a),量子阱结构的介电常数的实部相对于规定波长的THz波为负。此时,交叉区域(22a)内发生电子振荡时,通常存在上述排列方向上的分量,且量子阱结构的介电常数的实部相对于规定波长的THz波为负,因此可以利用交叉区域(22a)传播表面等离子体振子波。在量子阱结构中提高载流子的浓度的同时提高载流子迁移率,因此更长距离地传播表面等离子体振子波。
- 波导结构光学元件
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