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[发明专利]离子真空镀钛组合物的方法-CN201110275905.6无效
发明人：王敬达 -专利权人：王敬达
申请日： 2011-09-19 - 公布日： 2012-02-15 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：一种离子真空镀钛组合物的方法，靶材为钛材，靶材的两端均施加独立工作的弧源电源，每个弧源电源分别进行电压高低或弧源电流大小的控制，即弧源电源电压高低或弧源电流大小的的变化分别施加于靶材的两端，根据两端施加的弧源电源电压的高低或弧源电源电流大小的控制，离子引弧能够均匀或任意方式移动，控制靶材每处引弧的离子量。采用钛棒镀钛金板、玫瑰金板和黑钛板。本发明提出一种高质量各种离子真空镀钛组合物的方法与装置，并采用非机械磁体控制方式，离子引弧能够均匀或任意方式移动，控制靶材每处引弧的离子量，离子镀层细腻。
离子真空组合方法

[发明专利]钛铝银氮纳米复合涂层及其制备方法-CN201210550396.8有效
发明人：洪春福;刘智勇;杨润田;钱坤明 -专利权人：中国兵器科学研究院宁波分院
申请日： 2012-12-17 - 公布日： 2014-05-07 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：一种钛铝银氮纳米复合涂层及其制备方法，其特征在于组成主要包含粒径在8~33nm的钛铝氮纳米晶粒和分布在钛铝氮纳米晶晶界之间的银；其中，钛铝银氮纳米复合涂层含银3~8at.%，含氮45~50at.%，余量为钛铝；步骤依次为：将金属或合金基底装入镀膜设备的腔体内后抽真空，加热并稳定，通入Ar；设置样品台旋转，并开启基底偏压，接着开启铬靶起辉电源并溅射；通入N₂，按时间线性提高N₂流量控制Ar/N₂流量比；步骤4，开启钛铝靶起辉电源并迅速将钛铝靶电流密度提高；同时，将银靶电流密度也提高到；依次地，关闭钛铝靶，关闭银靶，关闭基底加热电源
钛铝银氮纳米复合涂层及其制备方法

[发明专利]应用于纺织品彩色渐变磁控溅射卷绕镀覆的方法-CN201410714517.7有效
发明人：姜绶祥;江红;余荣沾 -专利权人：广东欣丰科技有限公司
申请日： 2014-11-28 - 公布日： 2015-03-04 - 主分类号： D06M11/83 文献下载
摘要：一种应用于纺织品彩色渐变磁控溅射卷绕镀覆的方法，在纺织品上采用溅射镀覆金属膜的时尚装饰印染技术；它包括如下的步骤：准备靶材，采用JPL-650磁控溅射卷绕镀膜机进行镀覆，镀覆温度设置范围180～280℃，设置铜靶、钛靶、不锈钢靶和银靶进行多靶位或者单靶位的溅射镀覆；其中铜靶、钛靶和不锈钢靶的磁控镀覆电流为：0.1～9A,银靶的磁控镀覆电流为：0.1～2A；镀膜车速为0.1～15米/分钟，溅射间隔时间是0.1～10分钟，纺织品镀覆幅宽0.1～0.7米，采用同步离子源电流：0.03～0.5A。
应用于纺织品彩色渐变磁控溅射卷绕镀覆方法

[发明专利]一种钛、铅共掺杂二硫化钨复合薄膜的制备方法-CN201910320095.8在审
发明人：胡建强;郭力;徐克明;徐新;杨士钊;郑全喜 -专利权人：中国人民解放军空军勤务学院
申请日： 2019-04-19 - 公布日： 2019-07-16 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种钛、铅共掺杂二硫化钨复合薄膜的制备方法，包括如下步骤：S1、对不锈钢片进行前物理化学清洗，磨光、抛光处理，刻蚀样品表面，除去样品表面的氧化物和其他污染物；S2、将二硫化钨靶、钛靶、铅靶和前处理后的不锈钢片装入闭合场非平衡磁控溅射沉积室，将沉积室的抽气压，通入高纯氩气为工作气体，将脉冲偏压施加至基材上；S3、调节钛靶电流，先在基底表面沉积一层过渡层，以提高薄膜与基底之间的结合力；S4、通过同时调节钛靶和铅靶电流，溅射一定时间后，制备得到
二硫化钨复合薄膜制备不锈钢片沉积室共掺杂钛靶弹性模量闭合场非平衡磁控溅射物理化学二硫化钨靶抗氧化性能摩擦学性能潮湿环境高纯氩气工作气体基底表面刻蚀样品力学性能脉冲偏压抛光处理样品表面钛靶电流过渡层结合力前处理磨光氧化物基材基底溅射耐磨沉积气压薄膜装入清洗污染物施加

[发明专利]钛硅靶材锭坯的制造方法-CN201811572049.9在审
发明人：潘珏斐;张思;吕维洁;黄光法;来晓君;王洪;龙为勤 -专利权人：浙江嘉钛金属科技有限公司
申请日： 2018-12-21 - 公布日： 2019-07-19 - 主分类号： C22C1/02 文献下载
摘要：一种基于真空自耗熔炼的钛硅靶材锭坯的制造方法，以颗粒海绵钛和细颗粒高纯硅为原料，经混料后以分层方式布料并通过压制得到若干电极，然后将若干电极采用炉外氩弧焊接制备一次锭，再对一次锭进行炉内焊接以制备二次锭，最后通过对一次锭或二次锭施加电流进行靶材熔炼，熔炼后采取炉内冷却方式得到不同直径的钛硅靶材锭坯；本发明制备获得具有锭坯组织、成分均匀，宏观及微观缺陷小的钛硅靶材锭坯。
靶材次锭锭坯钛硅制备电极熔炼真空自耗熔炼分层方式炉内冷却施加电流微观缺陷氩弧焊接高纯硅海绵钛细颗粒混料炉内布料焊接制造压制宏观

[发明专利]一种通过大强度电流生产铝钛合金靶材的方法-CN200910044672.1无效
发明人：余鹏 -专利权人：余鹏
申请日： 2009-10-30 - 公布日： 2010-09-08 - 主分类号： B22F3/16 文献下载
摘要：一种通过大强度电流生产铝钛合金靶材的方法，系采用如下步骤制得产品：1、采用钛粉和铝粉，钛粉重量比为5～75％，其余为铝粉；2、均匀混合4～16小时后倒入模具；3、将模具置于加热机正、负极基板之间施加5000～25000A电流和5V电压。本发明采用可获得大电流的装置，利用大电流使铝粉和钛粉发热，施以压力，使铝和钛自身反应产出铝钛合金靶材。产品的致密度＞99％，晶粒尺寸≤100μm、成本低，完全能满足大规模产业化生产的要求。
一种通过强度电流生产钛合金方法

[发明专利]一种钛靶材的处理方法及处理后钛靶材和用途-CN202110190968.5在审
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;李宁 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-02-18 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明提供一种钛靶材的处理方法及处理后钛靶材和用途，所述处理方法包括采用第一刀具对钛靶材进行第一车削，得到粗处理钛靶材；采用材质为金刚石的第二刀具对所述初处理钛靶材进行第二车削，得到精处理钛靶材；对所述精处理钛靶材进行抛光处理，得到处理后钛靶材，所述处理方法能够降低钛靶材表面的应力层厚度与粗糙度，处理后钛靶材应用于溅射成膜中，提高钛靶材在溅射中的使用质量与使用寿命，减少溅射过程中的初期功耗。
一种钛靶材处理方法后钛靶材用途

[发明专利]用电弧离子镀沉积氮化钛铌硬质薄膜的方法-CN00108514.X无效
发明人：林国强 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2000-04-28 - 公布日： 2003-12-03 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：用电弧离子镀沉积氮化钛铌硬质薄膜的方法属于金属材料表面改性技术领域。该方法通过控制电弧离子镀纯钛、纯铌阴极靶在镀膜过程中的弧电流来控制薄膜的成分，在工模具钢基体上沉积合成硬度高于常用的氮化钛的氮化钛铌硬质薄膜，操作简便、控制容易。
用电离子镀沉积氮化硬质薄膜方法

[发明专利]一种新型CIGS电极用钛合金复合靶材镀膜及其制备方法-CN201811488519.3在审
发明人：王家和;黄信二 -专利权人：研创应用材料（赣州）股份有限公司
申请日： 2018-12-06 - 公布日： 2019-03-29 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种新型CIGS电极用钛合金复合靶材镀膜及其制备方法，制备该镀膜的钛合金复合靶材包括钛钠复合靶材和钛钾复合靶材中的至少一种，所述钛钠复合靶材和钛钾复合靶材分别为钛粉末与钛钠氧化物粉末、钛粉末与钛钾氧化物粉末通过热压成型工艺制成在制得钛钠复合靶材和钛钾复合靶材基础上，分别以钛钠复合靶材和钛钾复合靶材为材料，或者同时以钛钠复合靶材和钛钾复合靶材为材料通过真空溅镀的方式制得复合靶材镀膜，本发明的钛合金靶材制程温度相对较低，且材料化性及物性较稳定，原料相对便宜，既降低了靶材生产成本，又提高了靶材的产率，应用于CIGS薄膜太阳能电池组件中可以显著提高CIGS薄膜太阳能电池的光电转换效率。
复合靶材钛钾钛合金镀膜靶材制备钛粉末电极光电转换效率氧化物粉末物性材料通过钠氧化物热压成型真空溅镀材料化产率制程生产成本应用

[发明专利]一种平面异型钛靶组件的制备方法-CN202110758415.5在审
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;陈石;廖培君 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-07-05 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明提供一种平面异型钛靶组件的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：对钛靶坯端面进行车削加工螺纹处理，将所述钛靶坯加工至所需形状，得到钛靶材；在背板表面加工凹槽，所述凹槽与所述钛靶材形状相匹配；将所述钛靶材与所述背板进行装配，并依次进行包套焊接以及热等静压焊接；对焊接后的所述钛靶材与所述背板进行校平处理，得到所述平面异型钛靶组件。所述制备方法制备得到的钛靶材组件尺寸精度高，靶材平面度好，焊接结合率和结合强度高，焊接结构适用于不同厚度设计的靶材。
一种平面异型组件制备方法

[发明专利]一种钛靶材晶粒细化的方法及钛靶材-CN202110758654.0在审
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;周敏 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-07-05 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种钛靶材晶粒细化的方法及钛靶材，所述方法包括以下步骤：(1)在400‑500℃下对钛靶材进行预热；(2)将步骤(1)所得钛靶材进行三向锻造；(3)冷却步骤(2)所得钛靶材，得到晶粒尺寸为10‑20μm的钛靶材。本发明提供的方法专用于钛靶材的晶粒细化，改善了钛靶材溅射性能和溅射环境，提升了镀膜质量的同时简化了工艺流程，降低了加工成本。
一种钛靶材晶粒细化方法

[发明专利]钨钛靶材的制造方法和钨钛靶材组合的制造方法-CN201210374822.7有效
发明人：姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;宋佳 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2012-09-27 - 公布日： 2014-04-02 - 主分类号： B22F3/16 文献下载
摘要：本发明公开了钨钛靶材的制造方法和钨钛靶材组合的制造方法。其中，所述钨钛靶材的制造方法包括：在模具中装入钨粉和钛粉的混合粉末；对所述混合粉末进行冷压成型处理，形成钨钛靶材坯料；将所述钨钛靶材坯料进行真空热压烧结处理，形成钨钛靶材。本发明所公开的钨钛靶材的制造方法通过冷压成型处理和真空热压烧结及相关工艺参数的设定，制得的靶材致密度大于或者等于99%的钨钛靶材，并且所获得的钨钛靶材微观结构均匀，具有优异的溅射使用性能。
钨钛靶材制造方法组合

[发明专利]钼钛靶材的制造方法-CN201510195487.8在审
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;段高林 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2015-04-22 - 公布日： 2016-11-23 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：一种钼钛靶材的制造方法，包括：提供钼粉和钛粉；将所述钼粉和所述钛粉进行混合，形成混合粉末；采用保温温度为1200℃～1300℃的真空热压工艺将所述混合粉末制成钼钛靶材坯料；将所述钼钛靶材坯料制成钼钛靶材本发明通过采用真空热压工艺，将经过混合的钼粉和钛粉制成钼钛靶材，而且1200℃～1300℃的保温温度有利于钼原子和钛原子的扩散，因此能够有效的降低所制成钼钛靶材内部的空隙率，提高靶材的致密度和强度。所以本发明的制造方法能够获得致密度大于或等于99％的高致密度钼钛靶材，并且所获得的钼钛靶材微观结构均匀，能够满足磁控溅射对靶材纯度和密度的要求。
钼钛靶材制造方法

[发明专利]复合钙钛矿靶材及其制备方法、钙钛矿太阳电池的制备方法-CN202310685265.9在审
发明人：易典;王荣福 -专利权人：深圳市汉嵙新材料技术有限公司
申请日： 2023-06-09 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本公开提供了一种复合钙钛矿靶材及其制备方法、钙钛矿太阳电池的制备方法。该复合钙钛矿靶材包括：第一子靶材和第二子靶材，第一子靶材和第二子靶材均含有钙钛矿材料，且第一子靶材和第二子靶材中的钙钛矿材料不同；复合钙钛矿靶材呈柱状，柱状的复合钙钛矿靶材的侧表面包括第一侧表面以及位于第一侧表面之外的第二侧表面，至少部分第一子靶材露出于第一侧表面，至少部分第二子靶材露出于第二侧表面。相较于传统的溶液法，该复合钙钛矿靶材是一种溅射用的靶材，能够实现通过溅射法制备钙钛矿薄膜，该复合钙钛矿靶材能够用于制备含有多种钙钛矿材料的钙钛矿薄膜，并且在具有较高的制备效率同时，还能够保证钙钛矿薄膜的均匀性
复合钙钛矿靶材及其制备方法钙钛矿太阳电池

[发明专利]钨钛靶材的车削方法-CN201510315997.4在审
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;马松 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2015-06-10 - 公布日： 2017-01-04 - 主分类号： B23B1/00 文献下载
摘要：一种钨钛靶材的车削方法，包括：提供钨钛靶材和背板；将所述钨钛靶材和背板焊接在一起，形成钨钛靶材组件；采用第一刀具对所述钨钛靶材组件中的所述钨钛靶材进行第一车削，所述第一刀具切削刃的夹角为80°；在所述第一车削后，对所述钨钛靶材组件的所述背板进行加工；在对所述钨钛靶材组件的所述背板进行加工后，采用第二刀具对所述钨钛靶材的坯料进行第二车削，所述第二刀具切削刃的夹角为35°～55°。所述车削方法以提高所形成的钨钛靶材的质量，并且减缓刀具的磨损。
钨钛靶材车削方法

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