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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种超高纯钛中低碳含量分析方法-CN202310966121.0在审
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;周佳焕;钟伟华 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2023-08-02 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： G01N21/3563 文献下载
摘要：本发明提供一种超高纯钛中低碳含量分析方法，所述分析方法包括：对所述超高纯钛进行酸洗，在氧气氛围下加热熔融所述超高纯钛并收集产生的气体，去除所述气体中的水份，得到待测气体；对所述待测气体中的硫含量进行测试，去除所述待测气体中的含硫物质，对所述待测气体中碳含量进行测试。所述方法可以精确测试出超高纯钛中的碳含量(5ppm)，解决了高纯钛材料中超低碳含量的稳定分析问题。
一种高纯钛中低碳含量分析方法

[发明专利]一种高纯钛蒸发料的表面清洁方法-CN202310951402.9在审
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;慕二龙 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2023-07-31 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本发明提供一种高纯钛蒸发料的表面清洁方法，所述清洁方法包括对所述钛蒸发料依次进行第一超声清洗、第二超声清洗、酸洗、水洗以及研磨水洗，所述酸洗中使用的酸洗液为硝酸和氢氟酸的混合溶液，所述硝酸和氢氟酸的质量比为(17～20):(2～3)。所述清洁方法可以有效去除高纯钛蒸发料表面的油污以及表面氧化物，有效提高高纯钛蒸发料表面的清洁度，有效提高了高纯钛蒸发料的性能。
一种高纯蒸发表面清洁方法

[发明专利]一种大尺寸靶材的壁厚检测方法-CN202310941508.0在审
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;陈文庆 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2023-07-28 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G01B21/08 文献下载
摘要：本发明提供一种大尺寸靶材的壁厚检测方法，所述检测方法包括以下步骤：在被测靶材外侧的至少四个方向上分别独立地取至少四个测试点，使用三坐标测量装置对各测试点进行测试，得到靶材外侧测试结果；在被测靶材内侧的至少四个方向上分别独立地取至少四个测试点，使用三坐标测量装置对各测试点进行测试，得到靶材内侧测试结果；将所述靶材外侧测试结果以及靶材内侧测试结果输入作图软件中，并通过作图软件测量出所述靶材的壁厚。所述检测方法可以快速高效的对大尺寸靶材的壁厚进行测试，通过测试结果与标准件的比较，可以对大尺寸靶材的冲压工艺调整产生指导作用。
一种尺寸检测方法

[发明专利]一种拼接型高纯铝管靶的焊接方法-CN202310941522.0在审
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;周鹏飞 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2023-07-28 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种拼接型高纯铝管靶的焊接方法，所述焊接方法包括以下步骤：分别使用焊料对不锈钢内管以及高纯铝外管进行浸润处理；将密封圈套入所述不锈钢内管的密封槽处，将所述高纯铝外管套入所述不锈钢内管，所述高纯铝外管压置于所述密封圈；将焊料倒入所述不锈钢内管与高纯铝外管形成的缝隙处，冷却后完成焊接。所述焊接方法可以保障焊接层厚度，提高钎焊合格率，且能够有效保障管靶间的焊接缝隙以及焊接后产品同心度。
一种拼接高纯铝管靶焊接方法

[发明专利]一种LCD用一体式高纯铝靶材制造方法-CN202310941486.8在审
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;余婷 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2023-07-28 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种LCD用一体式高纯铝靶材制造方法，所述制造方法包括依次进行的第一锻打处理、第一热处理、第二锻打处理、热轧处理以及第二热处理。所述制造方法制备得到的铝靶坯平均晶粒90μm以下且分布均匀，可用于LCD制造用溅射靶材，具有优良的溅射性能。
一种 lcd 体式高纯铝靶材制造方法

[发明专利]一种钽钛合金靶材的制备方法-CN202111315033.1有效
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;杨慧珍 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-11-08 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： B22F1/142 文献下载
摘要：本发明涉及一种钽钛合金靶材的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：(1)将钽粉和钛粉分别进行第一热处理和第二热处理后混合，得到钽钛混合粉末；(2)将步骤(1)得到的所述钽钛混合粉末依次进行包套脱气和冷等静压处理，得到钽钛压坯；(3)将步骤(2)得到的所述钽钛压坯依次进行第三热处理和热等静压处理，得到钽钛合金靶材。本发明提供钽钛合金靶材的制备方法可以有效解决靶材内部存在孔洞、成分不均等问题，提升靶材的致密度到99％以上，提升靶材的纯度至99.95％以上。
一种钛合金制备方法

[发明专利]一种钨镍合金溅射靶材及其热压制备方法-CN202111355504.1有效
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;黄东长 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-11-16 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供了一种钨镍合金溅射靶材及其热压制备方法，所述制备方法将Ni粉质量占比为44.1～49.5％的钨镍合金粉，经混粉‑HP烧结即可得到钨镍合金溅射靶材，不仅可以得到致密度高、微观组织均匀、成分均匀、机加工性能优异的钨镍合金溅射靶材，致密度≥95％，更优时≥99％，满足当前高性能电致变色玻璃的应用需求，还具有工艺简单、成本较低、便于推广等优点。
一种镍合金溅射及其热压制备方法

[发明专利]一种低氧钽靶材及其制备方法-CN202210516810.7有效
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;黄洁文 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-05-12 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种低氧钽靶材及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：(1)将钽源置于氢化装置并抽真空，通入氢气加热，待氢化装置内压力不再下降时停止加热，得到氢化钽源；(2)将步骤(1)所述氢化钽源依次进行破碎和热处理后，得到脱氢钽粉；(3)将步骤(2)所述脱氢钽粉依次进行冷等静压、真空烧结、脱气处理和热等静压，得到低氧钽靶材。本发明将脱氢钽粉采用冷等静压、真空烧结和热等静压相结合的方式，大大降低钽靶材的氧含量，钽靶材的氧含量低于100ppm，同时保证了钽靶材的纯度和致密度，致密度高达99.9％，纯度高达99.9999％，具有较好的工业应用前景。
一种低氧钽靶材及其制备方法

[发明专利]一种铝靶材的制造方法-CN202110227710.8有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;李小萍 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-03-01 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种铝靶材的制造方法，所述制造方法包括依次进行的切割铝锭、第一锻伸、第一热处理、第二锻伸、第二热处理、压延与第三热处理；所述第二锻伸分为至少2步进行。本发明提供的铝靶材的制造方法使得铝靶材能够充分满足现行薄膜工艺的电阻率要求，提高了靶材的利用率，提升了溅射速率和镀膜质量，同时简化了制造流程，降低了生产成本。
一种铝靶材制造方法

[发明专利]一种MoTiNiNb靶材及其制造方法和用途-CN202111433492.X有效
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;李建;吴东青 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-11-29 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C23C14/14 文献下载
摘要：本发明提供了一种MoTiNiNb靶材及其制造方法和用途。所述MoTiNiNb靶材含有10‑15原子百分比的Ti，10‑20原子百分比的Ni，5‑10原子百分比的Nb，余量为Mo以及无法避免的杂质；所述制造方法包括以下步骤：混合Mo粉、Nb粉和NiTi粉，处理后得到所述MoTiNiNb靶材；所述制造方法通过调整Mo合金的成分配比，以及使用冷等静压、包套焊接及脱气和热等静压步骤，得到耐腐蚀、膜应力强且与Cu膜粘附性良好的MoTiNiNb靶材，适合用于显示行业。
一种 motininb 及其制造方法用途

[发明专利]一种NiV合金金相试样的制备方法-CN202010555893.1有效
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;龚润泽 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-06-17 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种NiV合金金相试样的制备方法。本发明的NiV合金金相试样的制备方法，包括如下步骤：1)切样：将NiV合金材料切块状小样；2)研磨：将步骤1)得到的小样进行粗磨和细磨；3)电解抛光：将经步骤2)研磨的试样进行电解抛光处理；4)腐蚀：将经步骤3)电解抛光处理后的试样进行腐蚀处理，得到所述NiV合金金相试样。本发明的NiV合金金相试样的制备方法，制得的NiV合金金相试样，用于金相分析时，能够清晰且正确的观察到材料的金相显微组织，有助于提高金相分析的准确性。
一种 niv 合金金相试样制备方法

[发明专利]一种钨硅靶材的制备方法-CN202111227245.4有效
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;李岢 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-10-21 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种钨硅靶材的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：(1)将钨粉和硅粉进行第一热处理，得到钨硅合金；(2)将步骤(1)得到的所述钨硅合金进行破碎，得到钨硅合金粉末；(3)将步骤(2)得到的所述钨硅合金粉末进行第二热处理，得到钨硅靶材。本发明提供的钨硅靶材制备方法可以满足大批量生产钨硅靶材的需求，所得靶材内部结构均匀且没有缺陷，致密度≥99％，氧含量500ppm。
一种钨硅靶材制备方法

[发明专利]一种高纯铝旋转靶的冷等静压绑定的方法-CN202111415516.9有效
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;宋阳阳;吴东青 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-11-25 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种高纯铝旋转靶的冷等静压绑定的方法，所述方法包括以下步骤：(1)不锈钢管表面加工出螺纹，高纯铝管与不锈钢管进行装配，其中不锈钢管在高纯铝管内部，不锈钢管和高纯铝管之间预留缝隙；(2)所述装配后的高纯铝管与不锈钢管经不锈钢圆环焊接对两端进行密封；(3)所述密封后的高纯铝管与不锈钢管进行脱气；(4)所述脱气后的高纯铝管与不锈钢管置于塑料胶套中，塑料胶套密封并进行冷等静压处理，得到处理后的高纯铝管与不锈钢；所述方法通过螺纹加工以及冷等静压工艺得到了无明显焊缝且结合力佳的高纯铝旋转靶。
一种高纯旋转静压绑定方法

[发明专利]一种铬硅合金溅射靶材及其制备方法-CN202111048524.4有效
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;杨慧珍 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-09-08 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： B22F3/14 文献下载
摘要：本发明提供了一种铬硅合金溅射靶材及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：(1)筛分纯度≥99.98％的铬硅合金原料，得到铬硅合金粉末；(2)将步骤(1)所得铬硅合金粉末进行真空热压烧结处理，得到铬硅合金靶坯；(3)将步骤(2)所得铬硅合金靶坯进行机加工，得到铬硅合金溅射靶材；其中，步骤(2)所述真空热压烧结处理包括顺次进行的第一保温处理、第二保温处理与保温保压处理，且所述保温保压处理的加压过程分为至少2个加压阶段。本发明提供的制备方法保证了靶材的高密度，改善了微观结构均匀性和溅射性能，同时简化了工艺流程，提升了生产效率，降低了生产成本，拓宽了适用范围。
一种合金溅射及其制备方法

[发明专利]一种高纯铜靶材及其制备方法-CN202111092277.8有效
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;章丽娜;罗明浩 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-09-17 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种高纯铜靶材及其制备方法，所述制备方法包括：将铜靶坯依次进行锻伸、第一热处理、压延和第二热处理；所述第一热处理的温度为695‑705℃；所述第二热处理的温度为895‑905℃。本发明提供的铜靶材制备方法能够满足半导体等行业对铜靶材的要求，得到的铜靶材无内部缺陷且内部晶粒足够细化，改善了溅射薄膜的厚度分布均匀性，提高了镀膜质量；同时简化了制备方法，降低了生产成本，提高了生产效率和靶材利用率，有利于规模化生产。
一种高纯铜靶材及其制备方法

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