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[发明专利]靶材组件及其制造方法-CN201510631227.0有效
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;李健成 -专利权人：合肥江丰电子材料有限公司
申请日： 2015-09-29 - 公布日： 2021-04-27 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种靶材组件及其制造方法，包括：提供靶坯和背板；对所述靶坯的待焊接面进行表面处理，去除表面的氧化膜；在所述靶坯和背板的待焊接面上分别涂覆焊料层；将涂覆有焊料层的靶坯和背板的待焊接面相对设置并贴合，进行焊接，形成靶材组件。本发明在待焊接面上涂覆焊料层之前，先对靶坯待焊接面进行表面处理以去除表面氧化膜，在增加靶坯活性的同时提高所述焊料层材料与所述靶坯的浸润融合能力，从而提高靶坯和背板的焊接结合率，进而提高靶材组件的良率。
组件及其制造方法

[发明专利]靶材溅射面加工的刀具以及加工方法-CN201710580563.6有效
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;罗明浩;钱百峰 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2017-07-17 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： B23B27/00 文献下载
摘要：一种靶材溅射面加工的刀具以及加工方法，所述刀具包括：刀杆，具有相对设置的第一面和第二面；位于所述第一面上的刀头，固定于所述刀杆沿延伸方向的一端，所述刀头包括：固定座，与所述刀杆固定相连；刀片，与所述固定座相连，且所述刀片的刃口凸出于所述固定座表面。所述刀具在对待加工面进行加工时，仅能够在所述待加工面上形成一条连续的纹路，并且所形成纹路并不会出现交叉，所以连续且不交叉纹路的形成，能够有效提高所形成靶材溅射纹理的均匀性，有利于提高所形成靶材溅射面纹理的质量，改善靶材溅射面的粗糙度，使所形成产品达到质量要求。
溅射加工刀具以及方法

[发明专利]夹具系统以及固定靶材组件的方法-CN201710305285.3有效
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;罗明浩;吕培聪 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2017-05-03 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：一种夹具系统以及固定靶材组件的方法，其中方法包括：提供靶材组件；提供夹具系统，夹具系统包括：基底，基底包括核心区域和核心区域周围的边缘区域；固定于边缘区域的自动压板夹；自动压板夹包括：压杆，压杆具有相对的第一压杆端和第二压杆端；固定于边缘区域的活塞装置，活塞装置与第二压杆端可活动连接，活塞装置用于通过控制第一压杆端以活塞装置和第二压杆端的连接处为中心进行转动而调节第一压杆端至基底的距离，以使第一压杆端能朝向核心区域和远离核心区域运动；将靶材组件置于核心区域上；之后采用活塞装置控制第一压杆端朝向核心区域运动并施压于靶材组件。所述方法能够提高工艺质量和工艺效率。
夹具系统以及固定组件方法

[发明专利]背板制造方法及背板-CN201710676363.0有效
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;罗明浩;陈雪 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2017-08-09 - 公布日： 2021-02-23 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：一种背板制造方法及背板，所述背板制造方法包括：提供第一基板与第二基板，所述第一基板的顶部具有凹槽，所述第二基板的底部具有凸起部，且所述凸起部与所述凹槽相匹配；在所述凹槽底部放置焊料；装配所述第一基板与第二基板，使得所述凸起部嵌入所述凹槽内；熔化所述焊料，对所述第一基板与所述第二基板进行焊接，形成背板。由于所述凹槽的阻挡，所述焊料经加热熔化后，会仍然处于所述凹槽内，而不容易流失，从而提高所述背板的焊接质量。
背板制造方法

[发明专利]靶材的包装方法和包装工具-CN201710426819.8有效
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;罗明浩;阮力超 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2017-06-08 - 公布日： 2021-02-19 - 主分类号： B65D81/20 文献下载
摘要：本发明提供一种靶材的包装方法和包装工具，其中，所述靶材包括溅射面和位于所述靶材溅射面内的沟槽，所述包装方法包括：保护体，所述保护体包括接触面，所述保护体包括中心区域，所述中心区域保护体的接触面用于与所述靶材溅射面贴合；位于所述中心区域保护体的接触面上的卡件，所述卡件用于放置于所述沟槽中。所述靶材的溅射面与所述保护体的接触面贴合，所述保护体能够减小靶材在沿垂直于所述溅射面方向上的变形。使所述卡件置于所述沟槽中，所述卡件能够对所述沟槽两侧的靶材进行支撑，从而抑制所述靶材沿平行于所述溅射面的方向发生变形。因此，所述靶材包装方法能够减小靶材的变形。
包装方法工具

[发明专利]夹具及在靶材组件中安装螺纹丝套的方法-CN201710305314.6有效
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;罗明浩;韩军辉 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2017-05-03 - 公布日： 2021-01-29 - 主分类号： B25B11/02 文献下载
摘要：一种夹具及在靶材组件中安装螺纹丝套的方法，其中方法包括：提供靶材组件和若干螺纹丝套，靶材组件具有溅射面、以及与溅射面相对的组件底面，靶材组件中具有若干孔槽，所述组件底面暴露出孔槽；形成夹具，夹具包括第一夹板、压板夹和第二夹板，第二夹板中具有贯穿第二夹板的若干定位通孔，定位通孔用于分别和所述孔槽对准；将靶材组件置于第一夹板和第二夹板之间，溅射面与第一夹板接触，组件底面与第二夹板接触，且定位通孔在沿定位通孔延伸方向上的中心轴与孔槽的中心轴重合；之后，采用压板夹将第一夹板、靶材组件和第二夹板相互固定；之后，将螺纹丝套通过定位通孔分别安装在孔槽中。所述方法提高了安装螺纹丝套的工艺质量和工艺效率。
夹具组件安装螺纹方法

[发明专利]准直器检具及其使用方法-CN201710669842.X有效
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;罗明浩;黄文杰 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2017-08-08 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： H01L21/203 文献下载
摘要：本发明提供一种准直器检具及其使用方法，准直器检具包括：底座，底座具有第一端面、与第一端面相对的第二端面、以及连接第一端面和第二端面的外壁；至少一个限位块，凸出设置于底座的第一端面上，沿垂直于外壁的方向上，限位块内具有贯穿限位块的第一固定孔；至少一个第一固定件，用于贯穿第一固定孔；至少一个第二固定件，凸出设置于底座的第一端面上。本发明所述准直器检具能够模拟所述准直器在客户端(例如为溅射机台端)的安装方法，通过采用将所述准直器装配于所述准直器检具上的方式，所述准直器检具能够检测所述准直器的安装孔和安装槽的相对位置是否正确、检测所述准直器的外径公差和形变，且检测效率和检测精度较高。
准直器检具及其使用方法

[发明专利]金属粒的形成方法及制备金属粒的装置-CN201610176302.3有效
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;仝连海 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2016-03-24 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： B22F9/08 文献下载
摘要：本发明提供一种金属粒的形成方法及制备金属粒的装置，其中金属粒的形成方法包括：提供金属原材料和保温容器，所述保温容器的底部具有开孔；将所述金属原材料熔化，形成金属熔化液；将所述金属熔化液浇注于所述保温容器中，使所述金属熔化液从所述开孔中滴出，形成分立的金属液滴；将所述金属液滴凝固，形成金属粒。所述金属粒的形成方法能够保证金属粒的纯度，且提高工艺效率。
金属形成方法制备装置

[发明专利]震动装置和分配盘系统-CN201611045364.7有效
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;钟伟攀 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2016-11-24 - 公布日： 2020-09-15 - 主分类号： B22F9/08 文献下载
摘要：本发明提供一种震动装置和分配盘系统，震动装置用于对分配盘进行敲击，包括：沿水平方向设置的齿轮；用于与齿轮相接触的横向传感臂，沿延伸方向具有两端，横向传感臂的一端在水平方向上朝向齿轮，横向传感臂和齿轮接触点位置处齿轮的线速度方向背离分配盘；与横向传感臂垂直且固定设置的纵向传感臂，纵向传感臂和横向传感臂位于分配盘同侧，延伸方向与齿轮法线方向平行且沿延伸方向上具有两端，靠近分配盘一侧的一端设有震动头且震动头朝向分配盘；用于固定纵向传感臂另一端的第一固定装置；弹簧，一端固定于纵向传感臂另一端上，弹簧收缩方向与齿轮线速度方向相反。通过所述震动装置，使震动头对分配盘进行规律性的敲击。
震动装置分配系统

[发明专利]靶材的制造方法-CN201610854357.5有效
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;仝连海 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2016-09-27 - 公布日： 2020-07-31 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种靶材的制造方法，包括：提供高纯铝原料和高纯铜原料；对所述高纯铝原料进行第一表面清理工艺；对所述高纯铜原料进行第二表面清理工艺；对完成所述第一表面清理工艺的高纯铝原料以及完成所述第二表面清理工艺的高纯铜原料进行加热熔化工艺；形成高纯铝铜合金。本发明在对高纯铝原料和高纯铜原料进行加热熔化之前，先对高纯铝原料进行第一表面清理工艺、对高纯铜原料进行第二表面清理工艺，因此可以减少杂质的引入，从而可以减少所形成高纯铝铜合金中的杂质含量，使所述高纯铝铜合金可以满足半导体用靶材的材料质量要求，进而使所形成靶材满足使用要求。
制造方法

[发明专利]环件结构及其制作方法-CN201410708837.1有效
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;滕俊 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2014-11-28 - 公布日： 2020-07-17 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种环件结构及其制作方法，环件结构包括：环形体部，环形体部的外圆周面与两个圆环形端面之间，以及内圆周面与两个圆环形端面之间均呈圆角连接，圆角的圆角半径小于外圆周面宽度的一半。环件结构的制作方法包括：形成环形体部；进行倒角处理，以使外圆周面与两个圆环形端面之间，以及内圆周面与两个圆环形端面之间呈圆角连接，圆角的圆角半径小于外圆周面宽度的一半。本发明的有益效果在于，环形体部表面积相对较大，吸附溅射产生颗粒物的能力更强，减少了出现剥落现象的几率；环形体部表面积更大也减少了溅射沉积过程中发生放电击穿现象的几率，进而减小了环件结构在使用时，对溅射沉积过程的影响。
结构及其制作方法

[发明专利]靶坯及靶材组件的制造方法-CN201610679308.2有效
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;陈勇军 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2016-08-16 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种靶坯及靶材组件的制造方法，所述靶坯的制造方法包括：提供AlSc合金锭；对AlSc合金锭进行塑性变形加工，形成初始靶坯；以阶梯升温的方式，对初始靶坯进行热处理，形成靶坯。本发明以阶梯升温的方式，对初始靶坯进行热处理。由于在升温过程中，难以保证初始靶坯的受热均一性良好，因此通过分多个阶段来进行热处理，在每一次升温后进行保温，使已达到预设温度的部分区域初始靶坯进行保温，使未达到预设温度的部分区域初始靶坯继续进行升温直至达到预设温度，因此完成每一阶段的热处理后，均可以使初始靶坯受热均匀，即可以提高初始靶坯的受热均一性，从而使热处理后靶坯的晶向200含量增加，且所述靶坯的晶向均匀、晶粒细小。
组件制造方法

[发明专利]一种防弯曲的背板-CN201611111225.X有效
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;韩范虹 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2016-12-02 - 公布日： 2020-06-05 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种防弯曲的背板，包括：底板，所述底板包括相对的焊接面和背面，所述底板包括：焊接区和包围所述焊接区的受力区；位于所述底板部分受力区焊接面上的附加部；位于所述底板背面的盖板。其中，所述底板受力区焊接面上具有附加部，所述附加部能够承受一定的外力，增加底板的截面惯性矩，从而能够减小底板在受力时产生的弯曲变形量。因此，所述背板的使用寿命较长。
一种弯曲背板

[发明专利]背板及其制造方法-CN201710236959.9有效
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;吴豪杰 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2017-04-12 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： B23K20/12 文献下载
摘要：本发明提供一种背板及其制造方法，所述制造方法包括：提供底板，所述底板具有第一凹槽；提供水道板，所述水道板具有第二凹槽；将所述底板与水道板通过搅拌摩擦焊接连接在一起，形成背板。本发明制造方法形成的背板质量得到提高。
背板及其制造方法

[发明专利]靶坯及其加工方法-CN201710219935.2有效
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;徐礼升 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2017-04-06 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明提供一种靶坯及其加工方法，加工方法包括：提供靶坯，所述靶坯包括待加工面；对所述待加工面进行机械加工，在所述靶坯内形成凹槽和凸台，机械加工后的所述凹槽表面和凸台表面作为溅射面。通过所述凹槽和凸台，可以根据靶坯在溅射过程中的实际材料消耗量，使所述靶坯在不同区域具有不同厚度，即溅射材料较多的区域所对应靶坯的厚度较大，从而可以有效延长靶材组件的使用寿命、减少更换靶材组件的频率，有利于工艺效率的提高，工艺成本的降低。
及其加工方法

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