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- [发明专利]衬底结构及其制作方法-CN201810054092.X有效
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饶潞;黄金雷;梁超;都秉龙;刘如胜
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云谷(固安)科技有限公司
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2018-01-19
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2021-01-22
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H01L27/12
- 衬底结构的制作方法包括以下步骤:提供支撑基底;在支撑基底上形成曝光后的感光材料层,曝光后的感光材料层具有第一结合力区和第二结合力区,其中,第一结合力区与支撑基底的结合力小于第二结合力区与支撑基底的结合力;以及在曝光后的感光材料层上形成柔性基底,将第一结合力区上的感光材料与柔性基底去除,得到图案化的感光材料层以及图案化的柔性基底层,以得到衬底结构。上述衬底结构的制作方法中,可以通过曝光得到任意图案的第一结合力区和第二结合力区,由于第一结合力区与支撑基底的结合力较小,从而容易将第一结合力区上的感光材料与柔性基底从支撑基底上去除,从而实现衬底结构的图案多样化
- 衬底结构及其制作方法
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