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[发明专利]缺陷检测装置、缺陷检测系统及缺陷检测方法-CN201910317402.7有效
发明人：梅红伟;涂彦昕;胡伟;刘健犇;刘立帅;王黎明 -专利权人：清华大学深圳研究生院;中国电力科学研究院有限公司
申请日： 2019-04-19 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： G01N25/72 文献下载
摘要：一种缺陷检测装置，用于检测复合绝缘子金具压接处的缺陷，所述缺陷检测装置包括一固定装置、一电磁激励源、一红外热像采集仪、一电磁屏蔽罩及一放置台，所述固定装置具有一空腔，所述电磁激励源及红外热像采集仪固定在所述空腔内本发明还提供一种复合绝缘子金具压接处的缺陷检测系统及缺陷检测方法。
缺陷检测装置系统方法

[发明专利]缺陷检测装置、缺陷检测方法-CN201380029536.X有效
发明人：永田泰昭;佐藤雄伍 -专利权人：新日铁住金株式会社
申请日： 2013-06-06 - 公布日： 2017-06-23 - 主分类号： G01N29/04 文献下载
摘要：缺陷检测装置(100)包括相位阵列探头(120)，其设置于电阻焊接钢管(200)的外表面(200G)的外侧，排列有多个超声波振子(121)；发送部(144)，其从由排列于相位阵列探头(120)的多个超声波振子中的一部分的多个超声波振子构成的探伤用超声波振子组与电阻焊接钢管(200)的外表面(200G)呈斜角向电阻焊接钢管(200)的外表面(200G)输出探伤用超声波束(131)；接收部(145)，其借助探伤用超声波振子组接收反射后的探伤用超声波束(131)；以及缺陷判断部(147)，其基于接收部(145)所接收的探伤用超声波束(131)判断焊接部(210)是否存在缺陷。
缺陷检测装置方法程序以及存储介质

[发明专利]缺陷检测装置、缺陷修复装置、缺陷检测方法-CN201110072153.3无效
发明人：山本修平;中西秀信;植木章太 -专利权人：夏普株式会社
申请日： 2011-03-16 - 公布日： 2011-12-14 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明公开一种缺陷检测装置、缺陷修复装置、缺陷检测方法。本发明提供即使在缺陷包含多种颜色的图像元素的情况下、也能根据所包含的颜色的比例以适当基准进行判断的缺陷检测装置。该缺陷检测装置包括：拍摄显示面板并获取作为图像数据的拍摄部；从图像数据提取缺陷部位候选的缺陷部位检测部；确定关于缺陷部位候选的对象物的图像元素的颜色的颜色确定部；及对对比度值乘以根据颜色不同而不同的修正系数以计算出缺陷度、并在缺陷度大于判定值的情况下判定为缺陷的好坏判定部，好坏判定部在一个缺陷部位候选包含多种颜色的图像元素的情况下，对每一颜色的对比度值乘以根据颜色不同而不同的修正系数之后进行总计以计算出缺陷度。
缺陷检测装置修复方法

[发明专利]缺陷检测装置、缺陷修正装置及缺陷检测方法-CN201310377121.3在审
发明人：大庭博明 -专利权人： NTN株式会社
申请日： 2013-08-26 - 公布日： 2014-03-12 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：发明的缺陷检测装置包括：摄像头，该摄像头拍摄基板并输出电信号；以及图像处理装置，该图像处理装置中输入有由摄像头输出的电信号。图像处理装置使用从电信号中得到的多个信号各自的图像对比度中较大的对比度，来检测基板的缺陷部。由于使用多个信号各自的图像对比度中较大的对比度来检测缺陷部，因此即使对于在被区分为各信号之前的图像中与正常部之间的对比度较小的缺陷部，也能够检测出缺陷部，而不会使灵敏度显著降低。
缺陷检测装置修正方法

[发明专利]缺陷判断设备、缺陷检测系统及缺陷检测方法-CN202310183774.1在审
发明人：金昱;张洁;沈崴;陆唯佳;葛欢;吴少刚;刘鹏;孙林;顾周顺 -专利权人：联合汽车电子有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明提供了一种缺陷判断设备、缺陷检测系统及缺陷检测方法，通过复检设备接收AOI设备输出的第一主数据和第一图像，并向AI算力中心提供具有标准格式的第二主数据和第二图像，由此，面对不同型号的AOI设备，所述
缺陷判断设备检测系统方法

[发明专利]缺陷检测方法及缺陷检测装置-CN201410156468.X在审
发明人：高志豪;邓亦书 -专利权人：由田新技股份有限公司
申请日： 2014-04-18 - 公布日： 2015-09-16 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：一种缺陷检测方法及其装置，用以取得一待测物的影像以对其进行缺陷检测，该方法提供一灯源，使交替发出一第一种光及一第二种光，并在该灯源发出该第一种光时，以一控制器控制一取像单元，使在该第一种光的亮度维持在一第一预设亮度的至少一半以上的一第一时间区间
缺陷检测方法装置

[发明专利]缺陷检测系统及缺陷检测方法-CN201811454359.0在审
发明人：许平康;方桂芹;黄仁德 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2018-11-30 - 公布日： 2019-04-09 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：一种缺陷检测系统及缺陷检测方法，系统包括：定位模块，所述定位模块适于获取晶圆表面缺陷的坐标信息；位置分析模块，所述位置分析模块适于对所述坐标信息进行分析，并确定出晶圆中的特征缺陷区域；抽样分配模块，所述抽样分配模块适于根据第一抽样数指令确定出各特征缺陷区域表面缺陷中的抽样特征缺陷；图像获取模块，所述图像获取模块适于获取各抽样特征缺陷的图像信息。所述缺陷检测系统的性能得到提高。
缺陷检测系统图像获取模块抽样特征定位模块分配模块缺陷检测特征缺陷位置分析坐标信息抽样晶圆表面区域表面图像信息指令确定晶圆分析

[发明专利]缺陷检测装置和缺陷检测方法-CN201710108958.6在审
发明人：濑户基司;村上浩明 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2012-08-29 - 公布日： 2017-08-18 - 主分类号： G01R31/04 文献下载
摘要：提供缺陷检测装置和缺陷检测方法。一实施方式的缺陷检测装置具备测定部，测定向被检查装置输入信号之后到接收由被检查装置的缺陷部位反射的反射信号为止的第1时间；存储部，存储表示与多个部件或多个部分分别相应的传导特性的多个模型数据；控制部，对于被检查装置内的检查对象的范围时间代入与第2部分对应的模型数据来运算第2部分中的第1预测传导距离，该第2时间是从第1时间减去与向第1部分输入信号之后反射而接收所花费的时间相当的时间而得到的时间；以及显示部，其基于运算结果在图像数据显示缺陷部位的位置
缺陷检测装置方法

[发明专利]缺陷检测系统及其缺陷检测方法-CN201910608060.4在审
发明人：黄高;刘昌江;田茂;宋闯 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2019-07-05 - 公布日： 2019-09-17 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明提供一种缺陷检测系统及其缺陷检测方法，所述缺陷检测系统包括：缺陷检测模块，包括：显微成像装置，用于对待检测物的多个待检测区域进行显微成像，所述多个待检测区域在所述待检测物的表面排列形成第一图案；及缺陷标记模块，包括：待标记物，所述待标记物包括多个待标记区域，所述多个待标记区域在所述待标记物表面形成第二图案，所述第二图案与所述第一图案相同，所述多个待标记区域与所述多个待检测区域一一对应；及遮盖物，与所述待标记物的表面相对设置所述缺陷检测系统及其缺陷检测方法提高了缺陷定位的准确率。
标记物缺陷检测系统标记区域待检测区域缺陷检测图案遮盖物开孔缺陷检测模块显微成像装置表面排列表面相对表面形成待检测物缺陷标记缺陷定位显微成像检测物准确率暴露

[发明专利]缺陷检测方法及缺陷检测系统-CN201910662387.X在审
发明人：金绍彤;许平康;方桂芹 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2019-07-22 - 公布日： 2019-10-18 - 主分类号： G01N23/2251 文献下载
摘要：一种缺陷检测方法及缺陷检测系统，包括：提供晶圆，所述晶圆包括检测面，所述检测面具有待检测缺陷；获取所述待检测缺陷的缺陷信息；根据所述缺陷信息获取拍摄放大倍数；根据所述拍摄放大倍数对所述待检测缺陷进行拍摄处理，获取检测图像，所述检测图像包括待检测缺陷图像。本发明技术方案提供的缺陷检测方法中，先获取所述待检测缺陷的面积信息，根据所述面积信息获取拍摄放大倍数，针对不同大小的所述待检测缺陷，能够进行对应的放大倍数调节，从而获取最佳的拍摄视野。通过该方法能够一次拍摄出清晰且全面的缺陷图像，避免了后续的重新拍摄，从而提高对缺陷检测的效率。
拍摄检测缺陷检测缺陷检测系统检测图像面积信息缺陷图像缺陷信息放大晶圆放大倍数调节检测面面具清晰视野

[发明专利]缺陷检测方法及缺陷检测系统-CN201811349970.7在审
发明人：王通;许继仁;林庆儒 -专利权人：芯恩（青岛）集成电路有限公司
申请日： 2018-11-14 - 公布日： 2020-05-22 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明提供一种缺陷检测方法及缺陷检测系统，缺陷检测方法包括步骤：1)使用短波光及长波光分别对待检测晶圆各区域进行交替脉冲式扫描；2)接收待检测晶圆对短波光进行反射的短波反射光信号及对长波光进行反射的长波反射光信号；3)去除位于预设强度范围之外的短波反射光信号及长波反射光信号，并去除待检测晶圆同一区域反射的、且位于预设强度范围之内的短波反射光信号及长波反射光信号二者中的强度较小者；4)依据保留的短波反射光信号及保留的长波反射光信号形成缺陷图形以进行缺陷检测本发明可以确保各个区域的亮度最优化，可以提高缺陷的捕获能力，避免缺陷的漏检。
缺陷检测方法系统

[发明专利]缺陷检测装置及缺陷检测方法-CN201911283887.9在审
发明人：久利龙平 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2019-12-13 - 公布日： 2020-06-23 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本申请提供缺陷检测装置及缺陷检测方法，能够检测比像素更小的缺陷的位置以及缺陷的大小。缺陷检测装置具备对测定对象照射照明光的照明部、对由所述测定对象反射后的所述照明光进行拍摄的拍摄部、以及基于由所述拍摄部拍摄所述照明光而得到的拍摄图像对所述测定对象的表面的缺陷进行检测的检测部，所述拍摄图像包括分光波长分别不同的多个分光图像，所述检测部基于多个所述分光图像对所述照明光被扩散反射的扩散反射区域进行检测，并基于检测到所述扩散反射区域的所述分光图像的分光波长来判定缺陷尺寸。
缺陷检测装置方法

[发明专利]缺陷检测方法及缺陷检测系统-CN201910838099.5在审
发明人：孟阳;王伟斌 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
申请日： 2019-09-05 - 公布日： 2021-03-05 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：一种缺陷检测方法及缺陷检测系统，包括：提供晶圆，所述晶圆包括检测面；对所述检测面进行扫描，获取所述检测面的扫描图像，所述扫描图像包括若干第一单元图形；提供设计图像，所述设计图像包括与所述第一单元图形对应的若干第二单元图形；根据所述设计图像对所述扫描图像进行筛选，去除所述第一单元图形中的干扰缺陷单元图形。在本发明的技术方案中，通过将第一单元图形中的干扰缺陷单元图形进行部分筛选去除，有效减少了后续检测分析的第一单元图形的数量，缩短了检测时间，从而提高了检测效率。
缺陷检测方法系统

[发明专利]缺陷检测装置和缺陷检测系统-CN202110672218.1在审
发明人：王千陇;郝勖加;周凌波;徐海新;庄莉 -专利权人：摩比天线技术（深圳）有限公司;摩比科技（深圳）有限公司;摩比通讯技术（吉安）有限公司;摩比科技（西安）有限公司;深圳市晟煜智慧网络科技有限公司;西安摩比天线技术工程有限公司
申请日： 2021-06-17 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明涉及移动通信天线技术领域，公开了一种缺陷检测装置和缺陷检测系统，用于检测天线是否存在缺陷，缺陷检测装置包括：机台；检测机构，包括设于机台上的移动组件、用于安装天线的定位件以及用于采集测试图像的相机，移动组件用于驱动定位件和相机中的至少一者移动；电气控制机构，设于机台上且电连接于移动组件；控制装置与检测机构和电气控制机构电连接，控制装置用于导入天线的特征图像，特征图像包括天线的目标缺陷信息；控制装置还可用于获取相机采集的测试图像，并将测试图像与特征图像进行对比，以检测天线是否有缺陷。上述缺陷检测装置及系统提升了天线测试速度及天线检测过程的一致性，进而提升了天线检测结果的准确度和检测效率。
缺陷检测装置系统

[发明专利]缺陷检测装置及缺陷检测方法-CN202110739531.2在审
发明人：林彬;于大维;张凯 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明提供一种缺陷检测装置和缺陷检测方法。所述缺陷检测装置中，照明光学系统形成照射到基片上的激光光束且该激光光束被反射，当激光光束照射到残留物时，在残留物的上表面和下表面分别进行反射而形成相干光；成像系统对从基片反射的光进行成像，形成检测图像，其中，相干光成像后对应于检测图像中的干涉条纹，通过干涉条纹获得残留物的信息。利用上述装置可以降低残留物的检测难度，提高缺陷的检出率。所述缺陷检测方法中，形成照射到基片上的激光光束且激光光束被反射，对从基片反射的光进行成像形成检测图像，其中，通过检测图像中的干涉条纹获得残留物的信息。
缺陷检测装置方法

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