专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]用于表面颗粒去除的方法-CN201010288080.7无效
  • 王志高;简志宏 - 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
  • 2010-09-17 - 2012-04-04 - H01L21/02
  • 本发明提供了一种表面颗粒去除的方法。所述方法将在暗盒中的圆通过表面颗粒去除模块的处理,该处理过程在所述等待传送盒内其它处理时进行。一片传入所述表面颗粒去除模块的下部承载装置,在表面的上方设置上部电荷分布装置,由所述表面颗粒去除模块中的电荷发生和控制装置在所述表面颗粒去除模块中的上部电荷分布装置释放电荷,利用静电的吸附功能将表面颗粒吸附到上部电荷分布装置,将所述传出表面颗粒去除模块,传到传送盒内。释放所述表面颗粒去除模块中吸附的表面颗粒。本发明全部增加的生产时间仅是一个传送盒中最后一片圆通过表面颗粒去除模块的时间,对表面颗粒的吸附率高,有利于提高良品率,降低成本。
  • 用于表面颗粒去除方法
  • [发明专利]表面的清洗装置和清洗方法-CN201510422418.6在审
  • 杨贵璞;王坚;王晖 - 盛美半导体设备(上海)有限公司
  • 2015-07-17 - 2017-01-18 - H01L21/67
  • 本发明揭示了一种表面的清洗装置,包括清洗刷、喷头和电极。清洗刷设置在表面附近,清洗刷上具有数个刷头,清洗刷转动,刷头与表面接触。喷头向表面喷射碱性清洗液。电极设置在表面附近,电极的极性与表面的颗粒所带电荷的极性相反。本发明还揭示了一种表面的清洗方法,包括在表面附近设置电极,电极的极性与表面的颗粒所带电荷的极性相反。向表面喷射碱性清洗液。旋转清洗刷,清洗刷设置在表面附近,清洗刷上具有数个刷头,刷头与表面接触。
  • 表面清洗装置方法
  • [发明专利]键合方法-CN201410446753.5有效
  • 侯元琨 - 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
  • 2014-09-03 - 2018-03-06 - H01L21/603
  • 本发明提供一种键合方法,包括提供第一和第二,所述第一具有第一表面,所述第二具有第二表面,所述第一表面与第二表面具有若干对应的键合区;固定第一和第二,使第一表面和第二表面面对面平行且间隔预定距离;加热第一和第二至第一温度,并使第一和第二保持第一温度;将第一和第二降温至第二温度;在所述第二温度下移动第一和第二直至第一表面和第二表面贴合,第一表面和第二表面上对应的键合区对准;在所述第二温度下,键合连接第一表面和第二表面上的对应键合区。先过载加热以排除表面挥发气体,再降低温度进行键合连接,避免连接表面键合区相互剥离,产品失效。
  • 晶圆键合方法
  • [发明专利]清洗方法-CN202010248277.1在审
  • 林楠;赵晓亮 - 上海华虹宏力半导体制造有限公司
  • 2020-04-01 - 2020-08-07 - H01L21/02
  • 本申请公开了一种的清洗方法,包括:将固定在喷淋设备的清洗台上;预处理,在预处理阶段旋转且在表面喷洒去离子水进行清洗;在表面喷洒基于氟化物的化学药剂;后处理,在后处理阶段旋转且在表面喷洒去离子水进行清洗本申请通过设置预处理旋转且在表面喷洒去离子水进行清洗,通过旋转能够使去离子水在表面充分展开,较为均匀地分布在表面,从而在喷洒化学药剂后,能够通过分布均匀的去离子水使化学药剂较为均匀地分布在表面,同时,通过设置后处理旋转且在表面喷洒去离子水进行清洗,从而能够进一步使化学药剂更为均匀地分布在表面,使刻蚀较为均匀。
  • 清洗方法
  • [发明专利]抓取结构、开槽设备及开槽方法-CN202011542154.5有效
  • 施心星 - 苏州镭明激光科技有限公司
  • 2020-12-23 - 2022-11-04 - H01L21/687
  • 本申请公开了一种抓取结构、开槽设备及开槽方法,开槽设备的抓料装置带动抓取的两组抓取结构分步移动,以实现先带动在涂胶装置内涂胶,再带动放置于载料装置上,由载料装置带动表面涂胶的移动至与激光开槽装置对接,激光开槽装置向表面涂胶的发射激光实现在与无接触的情况下对表面开槽,有效确保在表面开槽的加工效果,提高产品良率。其中,抓取结构分两步完成的抓取工作可灵活地夹持多种尺寸的,提高抓取结构的适用性。将抓取结构安装于开槽设备对表面开槽的过程中,还可确保转移过程中的稳定性。
  • 抓取结构开槽设备方法
  • [发明专利]清洗方法及清洗装置-CN202110294823.X在审
  • 宋受壮;蔡长益;林禄渊 - 长鑫存储技术有限公司
  • 2021-03-19 - 2021-07-06 - H01L21/67
  • 本发明涉及一种清洗方法及清洗装置。所述清洗方法包括如下步骤:提供待清洗的,所述表面具有污染物;向所述表面喷射表面活性剂,同时采用抛光垫对所述表面进行擦洗,所述表面活性剂能够与所述表面的所述污染物作用,以降低所述污染物与所述之间的粘附力,从而除去所述表面上的所述污染物。本发明可以去除大部分甚至全部前段制程工艺在所述表面上残留的污染物,且由于污染物与之间的粘附力减小,使得污染物回粘至所述表面的概率降低,从而改善了清洗效果,减少了污染物在所述表面的残留
  • 清洗方法装置

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