|
钻瓜专利网为您找到相关结果 894016个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]搬运装置-CN201310036216.9无效
-
古市昌稔;日野一纪
-
株式会社安川电机
-
2013-01-30
-
2013-08-14
-
H01L21/677
- 本发明涉及搬运装置,该搬运装置包括:搬运室,所述搬运室设置有与外界连通的多个连接口部;多关节机器人,所述多关节机器人被放置在所述搬运室内;以及线性移动机构,所述线性移动机构至少使得所述多关节机器人的臂部沿所述搬运室的短侧方向线性地移动所述多关节机器人的所述臂部的底端经由臂支轴设置在基座上以能够水平旋转,并且所述臂部的前端设置有手,所述手能够水平旋转并且保持待经由所述连接口部被运入和运出的基板。
- 搬运装置
|