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- [发明专利]减压干燥处理装置-CN200710002925.X有效
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高濑真治;楫间淳生
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东京应化工业株式会社
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2007-01-26
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2007-08-08
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H01L21/00
- 本发明的目的在于提供一种即使对大型化的基板也能够高效率地进行处理的减压干燥处理装置。上述课题通过以下方法解决：在汽缸单元(10)的杆(11)的下端，顶板(14)隔着加强板(13)被安装。该顶板(14)的大小被做成能够充分覆盖基板(W)的大小。其厚度比加强板(13)还薄从而实现轻量化。此外，加强板(13)包括：4张在俯视下和上述顶板(14)的边呈45°角度的组合板(13a)、和连接这些组合板(13a)的连结部件(13b)。这样，将各组合板(13a)连结形成呈矩形框状的加强板(13)，且加强板(13)与顶板(14)在俯视下错开45°相位地安装，所以可以防止顶板(14)因扭转而变形。
- 减压干燥处理装置
- [发明专利]溶剂回收系统-CN200610145977.8有效
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升芳明;高濑真治;楫间淳生
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东京应化工业株式会社
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2006-11-28
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2007-06-06
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C03C17/00
- 本发明提供一种可从涂敷的涂敷液中高效地回收溶剂并进行再利用的系统。沿运送线从上游侧依次配置有基板送入部(1)、涂敷装置(2)及减压干燥装置(3)，从减压干燥装置(3)中引出有排气用配管(31)，在该配管(31)上设置真空泵(32)，在该真空泵(32)的下游侧配置液化收集装置(4)，从上述液化收集装置(4)中引出有溶剂回收用配管(5)，在该配管(5)上设置送液泵(6)，在该送液泵(6)的下游侧配置脱水装置(7)及过滤器(8)，在液化收集装置(4)内液化的溶剂，通过送液泵(6)被送到缓冲罐(9)。积存于该缓冲罐(9)内的溶剂被用于预备滚筒(22)的清洗。
- 溶剂回收系统
- [发明专利]涂敷装置和涂敷方法-CN200610127004.1有效
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高濑真治;楫间淳生
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东京应化工业株式会社
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2006-09-19
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2007-03-28
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C03C17/00
- 本发明提供一种可容易地确定狭缝喷嘴的平行基准及高度基准、并可准确地进行涂敷时基板表面与狭缝喷嘴下端之间距离的微调的涂敷装置。该涂敷装置，在基板放置部(3)的涂敷开始位置侧的侧面的宽度方向的两端，分别安装有用于确定狭缝喷嘴(5)的水平基准及高度基准的基准夹具(6、6)。该基准夹具(6)具有可升降的测长触头(8)，该测长触头(8)利用弹簧等向上方施力，将其下止点设为测长触头(8)的上表面与基板放置部(3)的上表面齐平的位置，并以该位置作为高度方向的基准点。
- 装置方法
- [发明专利]定位装置-CN200510137331.0有效
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谷本恒夫;楫间淳生;高濑真治;山口和伸
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东京応化工业株式会社;龙云株式会社
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2005-11-29
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2006-08-02
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H01L21/68
- 提供一种即使基板大型化也不损伤基板的、能够正确定位的定位装置。在使滑动部件(6)后退的状态下，通过使压力缸单元(2)工作，使支持部件(3)上升，在浮起部件(8)的接受部分(11)的上面接受基板(W)，然后，通过使压力缸单元(2)工作以使支持部件(3)下降，基板(W)和对准部件(5)的滑动部件(6)处于同一水平，通过切换阀，浮起部件(8)的配管(12)与压缩空气源连接，从浮起部件(8)的接受部分(11)上面的槽(16、17)喷出空气，基板(W)从接受部分(11)的上面浮起，使对准部件(5)的滑动部件(6)前进，推杆(7)与基板(W)的边缘接触以进行定位。
- 定位装置
- [发明专利]缝隙嘴-CN200610006134.X有效
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高濑真治;山口和伸;中西达;楫间淳生
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东京応化工业株式会社
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2006-01-19
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2006-07-26
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B05B1/04
- 本发明提供一种缝隙嘴，该缝隙嘴可使在基板上形成的涂膜厚度均一。在嘴半体(1)的与嘴半体(2)相面对的面上形成有涂敷液的第1蓄留部(4)以及第2蓄留部(5)。第1蓄留部(4)按如下方式形成山形，即：宽度方向的中央部最高而两端变低，变得最高的中央部是与涂敷液供给孔(6)相连通的。此外，在变得最高的中央部上连通有排气孔(7)。在上述第1蓄留部(4)的下侧连续形成有第2蓄留部(5)，它的深度是以嘴半体(1)的厚度方向为基准而浅于上述第1蓄留部(4)。将该第2蓄留部(5)的下边设计成嘴半体(1)的宽度方向的中央部最低，随着向两端不断延伸而越来越高的V字状倾斜面(8)。
- 缝隙
- [发明专利]基板承载台-CN200510124975.6有效
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楫间淳生;高濑真治;山口和伸;山本夕记
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东京応化工业株式会社;龙云株式会社
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2005-10-04
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2006-06-21
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H01L21/687
- 提供一种支持将多个基板截取为多个的大型基板时、使销与裁断预定线重叠的基板承载台。在支持板(2)上安装多个固定销(3)。在该固定销(3)的俯视位置，配置在与承载在该基板承载台上的大型基板W的有效区域外的外周缘L1相重叠的位置上，另外还配置在大型基板截取为2个时的裁断预定线L2相重叠的位置上。另一方面，在上述支持板(2)中形成的通孔(4)中插入可动销(5)，各个可动销(5)配置在与大型基板进行进一步截取的裁断预定线L3、L4相重叠的位置上。然后将横方向的可动销(5)共同地安装在支持板(2)下方的连结板(6)上，通过驱动压力缸组件(8)使横方向的可动销(5)同时升降。
- 承载
- [发明专利]涂敷装置及涂敷方法-CN200510088568.4有效
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石桥知淳;楫间淳生;吉泽健司
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东京応化工业株式会社
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2005-08-04
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2006-02-22
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C03C17/00
- 本发明提供一种即使连续地进行多次的喷射(涂敷)、也能够使每次喷射的涂敷液的排出量为一定的涂敷装置及涂敷方法。在第一次的喷射结束后，关闭开闭阀(14、21)，将开闭阀(11)打开，并且使注射泵(9)返回到原来的位置，经由脱气模块(8)再次向涂敷液储存空间(S)内送入涂敷液。此时的涂敷液储存空间(S)内因用于防止来自外部的气体的卷入的剩余压力而成为正压。之后，关闭开闭阀(11)，同时将分支配管(15)的开闭阀(17)打开。这样一来，与上述同样地，涂敷液储存空间(S)内的剩余压力被除去而降低到接近于大气压的压力。这样，通过在每次喷射前除去涂敷液储存空间(S)内的剩余压力，能够将每次喷射的排出前状态始终保持在一定的状态。
- 装置方法
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