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[实用新型]水处理设备-CN202023057167.1有效
发明人：袁杨春 -专利权人：袁杨春
申请日： 2020-12-17 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： C02F9/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种水处理设备，包括：依次连接的多个反应室，反应室由不锈钢材质制成，反应室用于收容待处理的水体，多个反应室用于构成初沉单元、调节单元、生化单元、除磷单元、沉淀单元、储泥单元、硝化液回流单元及污泥回流单元通过将多个反应室组合形成一个整体机构，从而可以在满足水处理流量以及不同处理工艺的基础上提高生产效率，降低成本；反应室由不锈钢材质制成，如此设置，在满足反应室结构强度的要求下，还能够减小反应室的侧壁厚度，从而可以有效降低反应室的制造成本。
水处理设备

[发明专利]等离子体刻蚀机-CN201811612749.6有效
发明人：邱勇;刘海洋;李娜;王铖熠;侯永刚;陈兆超;胡冬冬;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器有限公司
申请日： 2018-12-27 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开一种等离子体刻蚀机，包括包围基体处理位置空间的反应腔室体(1)、腔盖(4)和内衬(2)，腔盖可拆卸地封盖在反应腔室体上，内衬可拆卸地设置于反应腔室体内，反应腔室体的侧壁上设有用于机械手进出的贯通槽(11)，内衬的侧壁上开设有开口槽(21)，开口槽与贯通槽的位置相对应，反应腔室体的侧壁上还设有与内衬的侧壁成角度设置的操作槽(5)，操作槽位于内衬的侧下方，并均与开口槽和贯通槽连通，等离子体刻蚀机还包括挡板
等离子体刻蚀

[发明专利]双喷头MOCVD反应室-CN201510324888.9有效
发明人：冉军学;胡国新;李晋闽;王军喜;段瑞飞;曾一平 -专利权人：北京中科优唯科技有限公司
申请日： 2015-06-12 - 公布日： 2017-10-20 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明公开了一种金属有机气象化学沉积反应室，所述反应室包括腔体，所述腔体包括顶板、底板和侧壁，所述顶板底板和侧壁围成基本封闭的腔室；上进气喷淋头，设置于所述反应室腔室内的上部与气源连通；下进气喷淋头，设置于所述反应室腔室内的下部与气源连通；托盘组件，固定设置在所述反应腔体内的中部，所述托盘组件包括上基底托盘和下基底托盘，所述上基底托盘和下基底托盘相背对设置，所述上基底托盘与所述上进气喷淋头相对；所述下基底托盘与所述下进气喷淋头相对；加热器通过这种反应室能够有效提高空间利用率、气体利用率及热能的利用率。
喷头 mocvd 反应

[实用新型]一种不锈钢半盘管夹套搪玻璃反应釜-CN201921117177.4有效
发明人：翁银利 -专利权人：无锡上工搪化工设备有限公司
申请日： 2019-07-17 - 公布日： 2020-08-14 - 主分类号： B01J19/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种不锈钢半盘管夹套搪玻璃反应釜，包括搪玻璃反应釜本体，搪玻璃反应釜本体外部设有和搪玻璃反应釜本体轴向方向平行的若干半盘管，搪玻璃反应釜本体上部侧壁设有和半盘管连通的环形分配室，搪玻璃反应釜本体下部侧壁设有和半盘管连通的环形收集室，环形分配室上设有进口，环形收集室上设有出口；所述半盘管、环形分配室、环形收集室为不锈钢材质。
一种不锈钢半盘管夹套搪玻璃反应

[发明专利]一种ALD加热组件-CN202011411046.4在审
发明人：万军;廖海涛;王斌;王辉 -专利权人：无锡市邑晶半导体科技有限公司
申请日： 2020-12-03 - 公布日： 2021-02-12 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：该加热组件适用于对反应器的加热，该加热组件包括第一加热器、第二加热器以及第三加热器，第一加热器设置在封盖的顶部上，第一加热器的输出端作用在封盖上，第二加热器设置在反应腔室的外侧壁和真空腔室的内侧壁之间，第二加热器的输出端作用在反应腔室的侧壁上，第三加热器设置在反应腔室的底部和真空腔室的底部之间，第三加热器作用在反应腔室的底部上。本发明可实现反应腔室的顶部、侧部及底部三个区域独立辐射加热和控温，在大空间内形成均匀温度场，以使前驱体源的加热温度快速升温至需求温度，加热效率高，加热均匀，提高沉积膜的成型质量和一致性，适合批量性生产。
一种 ald 加热组件

[实用新型]一种ALD加热组件-CN202022900008.7有效
发明人：万军;廖海涛;王斌;王辉 -专利权人：无锡市邑晶半导体科技有限公司
申请日： 2020-12-03 - 公布日： 2021-11-12 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：该加热组件适用于对反应器的加热，该加热组件包括第一加热器、第二加热器以及第三加热器，第一加热器设置在封盖的顶部上，第一加热器的输出端作用在封盖上，第二加热器设置在反应腔室的外侧壁和真空腔室的内侧壁之间，第二加热器的输出端作用在反应腔室的侧壁上，第三加热器设置在反应腔室的底部和真空腔室的底部之间，第三加热器作用在反应腔室的底部上。本实用新型可实现反应腔室的顶部、侧部及底部三个区域独立辐射加热和控温，在大空间内形成均匀温度场，以使前驱体源的加热温度快速升温至需求温度，加热效率高，加热均匀，提高沉积膜的成型质量和一致性，适合批量性生产
一种 ald 加热组件

[发明专利]一种反应腔室及等离子体加工设备-CN201310750632.5有效
发明人：李兴存;韦刚;李东三;宋铭明 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2013-12-31 - 公布日： 2015-07-01 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及一种反应腔室及等离子体加工设备，其包括电源、介质窗、连接侧壁和平面线圈；介质窗水平设置于反应腔室的顶部，其由非导电材料制成；介质窗的数量为一个或多个，且其中包括至少一个不与反应腔室的顶壁处于同一水平面上的第一介质窗；第一介质窗通过连接侧壁与反应腔室的顶壁固定连接，且第一介质窗和连接侧壁相配合将反应腔室内部分割为多个区域；平面线圈设置于介质窗的上方，且与电源电连接，用于在与电源连接时，产生电磁场，将反应腔室内与其对应的区域内的工艺气体激发为等离子体上述反应腔室，可以控制等离子体在反应腔室内的分布和反应腔室内等离子体的密度；并提高感应耦合产生等离子体的效率更高。
一种反应等离子体加工设备

[发明专利]具有均匀磁场分布的自适应耦合等离子体源和具有该等离子体源的等离子体室-CN200680039192.0无效
发明人：金南宪 -专利权人：自适应等离子体技术公司
申请日： 2006-10-20 - 公布日： 2008-10-22 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：该自适应耦合等离子体源包括：在反应室的中心区域设置于反应室上方的平板形衬套；多个上部线圈，从所述衬套伸出以被设置于该反应室的上方，以便螺旋状地围绕所述衬套；以及在所述反应室侧壁部分的周围设置以围绕该反应室的多个侧部线圈
具有均匀磁场分布自适应耦合等离子体

[实用新型]真空气相沉积反应室-CN202121784265.7有效
发明人：孙瑞雪;江成龙 -专利权人：聚能纳米科技（苏州）有限公司
申请日： 2021-08-02 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空气相沉积反应室，包括：腔室；转盘，绕自身轴线可转动地设置在腔室内，转盘上设置有基片；反应气体喷头，设置在腔室的内顶壁上，用于朝向转盘喷射反应气体；导流机构，包括导流板，导流板沿第一方向可相对转盘的侧壁移动地设置在腔室内；控制机构，用于检测对基片处理过程中腔室内的反应环境，并根据反应环境控制导流板相对转盘的侧壁移动以调节导流板与转盘的侧壁之间的间隙大小。本实用新型通过控制导流板相对转盘的侧壁移动以调节导流板与转盘的侧壁之间的间隙大小，从而可以引导腔室内的气流，避免反应气体在转盘的边缘与腔室内壁之间形成局部涡流，进而可以提高对基片化学处理的均匀性。
空气沉积反应

[实用新型]一种可分离固液两相的反应釜-CN202121439974.1有效
发明人：李书宇;刘佳伟;朱秀全;张静;张培恒 -专利权人：河北建新化工股份有限公司
申请日： 2021-06-28 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： B01J19/18 文献下载
摘要：一种可分离固液两相的反应釜，包括由上至下一体设置的反应仓室、储料室和储液室，反应仓室的顶部设置有加料口，内部设置有搅拌器，底部设置为漏斗状，出料端的下方设置有第一出料口，其上设置有第一放料阀，储料室和储液室之间设置有过滤系统，储料室的下端侧壁上设置有第二出料口，第二出料口上设置有第二放料阀，第二放料阀与DCS控制器电连接，储液室的侧壁与真空泵连通，储料室的侧壁上部和反应仓室顶部均设置有放空管，放空管上设置有放空阀，储液室底部的出液口连接进料泵本实用新型可以将细小颗粒状固体产物及时与液体原料分离，从而抑制固体产物与液体原料的二次反应，提高产品质量和产量。
一种可分离两相反应

[实用新型]一种集加热与提纯一体的用于钝化剂生产的装置-CN201821571039.9有效
发明人：顾同新;王勇;赵泽华 -专利权人：宜兴汉光高新石化有限公司
申请日： 2018-09-26 - 公布日： 2018-12-21 - 主分类号： B01J19/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种集加热与提纯一体的用于钝化剂生产的装置，包括反应室，所述反应室底部设有入料口及将入料口包围在内的一圈挡板，底部外侧设有加热器，反应室底部近侧壁处设有出料口；所述反应室内顶部设有旋转叶轮本实用新型与传统技术相比，结构设计科学合理，通过旋转叶轮吸附蒸发的溶剂，后通过转盘的离心力将吸附的溶剂甩反应室侧壁底部的出料口，从而达到同时加热、提纯的功能。
反应室提纯加热本实用新型旋转叶轮出料口钝化剂入料口溶剂吸附结构设计科学加热器反应室侧壁室内顶部近侧壁圈挡板转盘蒸发包围生产

[发明专利]汽车的车室侧壁结构-CN201010149662.7有效
发明人：佐佐木宗和;山下和彦 -专利权人：河西工业株式会社
申请日： 2010-04-07 - 公布日： 2010-10-13 - 主分类号： B60R21/04 文献下载
摘要：本发明提供一种汽车的车室侧壁结构，其在车辆侧面碰撞时适当地进行缓冲体的轴方向压溃变形，可提高碰撞能量吸收效果。当由于车辆的侧面碰撞而导致门内面板1向车室侧变形时，会与缓冲体10的端壁12碰撞接触，由该端壁12的表面接受碰撞负荷而使该碰撞负荷沿着轴方向大致均匀地分散于周侧壁11。
汽车侧壁结构

[实用新型]地下室及其侧壁结构-CN201822174045.7有效
发明人：黄丹;熊雄;周雷靖;尹春明 -专利权人：中国能源建设集团广东省电力设计研究院有限公司
申请日： 2018-12-24 - 公布日： 2019-11-12 - 主分类号： E02D29/045 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种地下室及其侧壁结构，将楼板一端与主体结构隔开设置，使得地下室的侧壁结构独立于主体结构，从而使得地下室的侧壁结构在地下室施工过程中，能够先于主体结构作业，进而有效避免基坑因无法回填而长时间占用周边地或者道路，如此，使得地下室的施工顺序合理，有利于加快地下室施工进度。同时，第一支撑件设置在侧壁本体与底板之间，由此可知，侧壁本体除了受底板的侧向支撑外，还受到第一支撑件的稳定支撑，从而改善侧壁本体上的受力分布，使得侧壁本体上的受力合理，有利于减少地下水和土地对侧壁本体的弯矩
地下室侧壁侧壁结构主体结构底板支撑件本实用新型侧向支撑隔开设置施工过程施工进度施工顺序时间占用受力分布稳定支撑基坑楼板回填受力弯矩地下水土地

[实用新型]密炼机混炼室侧壁耐磨板-CN202021808909.7有效
发明人：韩登国;杨衡;崔寿青;刘仕烨 -专利权人：三角轮胎股份有限公司
申请日： 2020-08-26 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： B29B7/80 文献下载
摘要：本实用新型涉及密炼机混炼室侧壁耐磨板，属于橡胶机械领域。设有密炼机混炼室侧壁，密炼机混炼室侧壁下端左右两侧对称加工有左半环孔及右半环孔，左半环孔及右半环孔内分别嵌有一个半圆环，密炼机混炼室侧壁下端的中间加工有热电偶安装孔，热电偶安装孔内安装有热电偶，热电偶安装孔上方的密炼机混炼室侧壁上加工有一个矩形凹槽，凹槽内焊接有硬质合金的短耐磨板，短耐磨板的大小、形状与凹槽相同，短耐磨板的外表面与密炼机混炼室侧壁在一个水平面上。本实用新型结构简单合理，加工制作简单，在不影响密炼机整体容量的前提下，消除耐磨板易脱落导致的设备故障隐患，同时提高了混炼室侧壁的整体强度。
密炼机混炼侧壁耐磨

[实用新型]硐室侧壁灌浆操作装置-CN202223593722.1有效
发明人：李瑞全;田静;白俊本;刘永军;南美习;贾卫国 -专利权人：中冶地勘岩土工程有限责任公司
申请日： 2022-12-31 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： E21D11/10 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种硐室侧壁灌浆操作装置，属于硐室灌浆技术领域，包括移动车、第一滑轨、支撑组件和多个夹持组件，第一滑轨设于移动车上端，长度方向沿硐室的宽度方向；支撑组件，底部滑动连接第一滑轨，支撑组件能够沿硐室高度方向伸缩，且借助第一滑轨能调节与硐室侧壁之间距离；多个夹持组件，均连接于支撑组件且置于不同高度，均夹持有灌浆延伸管，灌浆延伸管远离支撑组件的一端用于朝向硐室侧壁并能进入侧壁，灌浆使用的注浆管的出浆端用于与灌浆延伸管另一端对接连通，灌浆延伸管对硐室侧壁的灌浆位置能调节，具有能够夹持注浆管并调节向硐室侧壁的注浆位置，减轻人工劳动强度，有效提升注浆操作效率的技术效果。
侧壁灌浆操作装置

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