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- [发明专利]流化床反应器-CN00127040.0无效
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T·许潘伦;R·库伊瓦莱伦;H·奥利拉
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福斯特韦勒能源股份公司
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1991-10-14
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2003-07-02
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B01J8/24
- 流化床反应器包括:反应室;连接到反应室上将颗粒从反应室排出气体中分离出来的离心式分离器;和使从分离器的分离出的颗粒回流到反应室的回流管;离心式分离器包括:具有侧壁、上段和下段的垂直涡流室,涡流室下段的水平横截面是向下减小;至少一设置在涡流室上段用于欲净化气体的输入口;至少一用于净化过的气体的输出口;至少一设置在涡流室下段用于分离出的颗粒的输出口;其中:涡流室的侧壁主要由平面壁元件构成;侧壁在涡流室上段是垂直;至少一侧壁在涡流室下段是向相对侧壁弯折;与所述弯向侧壁毗邻的两侧壁在涡流室下段是垂直。
- 流化床反应器
- [实用新型]一种化学气相沉积设备-CN200720067980.2无效
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张文锋;马峰;徐亮
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中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
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2007-03-20
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2008-04-23
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C23C16/00
- 本实用新型提供一种化学气相沉积设备,其包括形成真空的反应室,设置在该反应室底部的底座,设置在反应室上方且用于向反应室内提供反应气体的若干入口,设置在反应室内的用于承载晶圆的基座,设置在反应室两侧的用于排出废气的出口;其中,反应室的侧壁和反应室的底部之间没有间隙,从而保证该反应室的废气只从出口流出。本实用新型还包括一个隔板,该隔板设置在底座上,并且紧靠反应室的侧壁上,将反应室侧壁和底座之间的间隙完全遮蔽。与现有技术相比,本实用新型可以保证反应室的废气仅从出口流出,以便精确控制反应室内的气流速率,保护反应气氛,根据气流速率可以很好的控制沉积速率,从而提高反应室的气体沉积均匀度和相对厚度。
- 一种化学沉积设备
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