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[发明专利]一种废气处理装置及处理工艺-CN202111418684.3在审
发明人：朱文卿;朱文浩;焦利卡;焦亮 -专利权人：巩义市恒铭金属制品有限公司
申请日： 2021-11-26 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： B01D53/74 文献下载
摘要：本发明公开了一种废气处理装置及处理工艺，包括仓体，仓体内从上至下依次设有冷凝室、第一吸附室、反应室、第二吸附室和气体室，第一吸附室和反应室之间、反应室和第二吸附室之间、第二吸附室和气体室之间均设有第一吸风机；第一吸附室侧壁设有进气管道，气体室侧壁上设有出气管道，冷凝室一侧设有第二吸风机，第二吸风机通过管道与出气管道连通；第一吸附室和第二吸附室均设有过滤吸附装置，反应室设有反应装置和控制阀门；仓体一侧设有收集仓，废气收集仓与冷凝室连通，收集仓外侧设有控制器，第一吸风机、第二吸风机均与控制器电连接。
一种废气处理装置工艺

[实用新型]一种改进型脱焊设备-CN201120175892.0有效
发明人：关豪元;黄旭江;刘庄;闫梨;曹卉;谭翠丽 -专利权人：深圳市格林美高新技术股份有限公司;江西格林美资源循环有限公司
申请日： 2011-05-30 - 公布日： 2012-04-25 - 主分类号： B23K3/00 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种改进型脱焊设备，包括：侵蚀装置，所述侵蚀装置包括容置结构的壳体，所述壳体的容置空间内设有反应室，所述反应室内固定设置有两个挡板，两挡板将反应室分为三个槽，其中包括：两挡板之间形成的、上端开口且具有容置空间的中间反应槽，三个槽的顶端相互连通；输送装置，所述输送装置贯通于所述侵蚀装置的壳体的侧壁，且贯通于所述壳体内的反应室的侧壁，其中，贯通于所述反应室的侧壁的输送装置中，至少有一部分输送装置置于所述反应室的中间反应槽的容置空间内
一种改进型设备

[发明专利]用于外延生长装置的腔室部件-CN202010788793.3在审
发明人：大木慎一;森義信 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-03-25 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：公开了用于外延生长装置的腔室部件。反应腔室由顶板来界定和形成。反应气体在侧壁中所设置的反应气体供应路径中整流，使得在所述反应腔室中的所述反应气体的流动方向上的水平分量对应于从所述反应气体供应路径的开口的中心延伸的方向上的水平分量。对所述外延生长装置的上侧壁、基座和整流板的改进已使得提高了基板上形成的外延层的均匀性和形成速度，从而使得产量更高并且缺陷更少。
用于外延生长装置部件

[发明专利]用于外延生长装置的腔室部件-CN201610179467.6有效
发明人：大木慎一;森義信 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-03-25 - 公布日： 2020-09-04 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：公开了用于外延生长装置的腔室部件。反应腔室由顶板来界定和形成。反应气体在侧壁中所设置的反应气体供应路径中整流，使得在所述反应腔室中的所述反应气体的流动方向上的水平分量对应于从所述反应气体供应路径的开口的中心延伸的方向上的水平分量。对所述外延生长装置的上侧壁、基座和整流板的改进已使得提高了基板上形成的外延层的均匀性和形成速度，从而使得产量更高并且缺陷更少。
用于外延生长装置部件

[发明专利]用于外延生长装置的腔室部件-CN201610180026.8有效
发明人：大木慎一;森義信 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-03-25 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：公开了用于外延生长装置的腔室部件。反应腔室由顶板来界定和形成。反应气体在侧壁中所设置的反应气体供应路径中整流，使得在所述反应腔室中的所述反应气体的流动方向上的水平分量对应于从所述反应气体供应路径的开口的中心延伸的方向上的水平分量。对所述外延生长装置的上侧壁、基座和整流板的改进已使得提高了基板上形成的外延层的均匀性和形成速度，从而使得产量更高并且缺陷更少。
用于外延生长装置部件

[实用新型]用于支撑基板于外延生长装置内的基座-CN201620240735.6有效
发明人：大木慎一;森義信 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-03-25 - 公布日： 2016-11-30 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：公开了用于外延生长装置的腔室部件。反应腔室由顶板来界定和形成。反应气体在侧壁中所设置的反应气体供应路径中整流，使得在所述反应腔室中的所述反应气体的流动方向上的水平分量对应于从所述反应气体供应路径的开口的中心延伸的方向上的水平分量。对所述外延生长装置的上侧壁、基座和整流板的改进已使得提高了基板上形成的外延层的均匀性和形成速度，从而使得产量更高并且缺陷更少。
用于支撑外延生长装置基座

[实用新型]整流板-CN201620241726.9有效
发明人： -专利权人：
申请日： 2016-03-25 - 公布日： 2017-01-04 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：公开了用于外延生长装置的腔室部件。反应腔室由顶板来界定和形成。反应气体在侧壁中所设置的反应气体供应路径中整流，使得在所述反应腔室中的所述反应气体的流动方向上的水平分量对应于从所述反应气体供应路径的开口的中心延伸的方向上的水平分量。对所述外延生长装置的上侧壁、基座和整流板的改进已使得提高了基板上形成的外延层的均匀性和形成速度，从而使得产量更高并且缺陷更少。
整流

[发明专利]一种化学材料气相沉积装置-CN202010889346.7有效
发明人：赵俊英 -专利权人：陇东学院
申请日： 2020-08-28 - 公布日： 2023-02-24 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明公开了一种化学材料气相沉积装置，包括底座、加热棒、排气管、气泵、进步电机和分流管，所述底座的上表面固定安装有加热反应室、气泵和沉积室，且加热反应室的内壁底部固定连接有加热棒，并且加热反应室的侧壁上固定连接有输气管，所述排气管的端部分别与加热反应室、气泵和沉积室固定连接，且加热反应室与沉积室之间固定连接有连接管，并且连接管贯穿沉积室的侧壁设置。该化学材料气相沉积装置，气体反应和分子沉积两个过程分开，减少了分子沉积步骤中气体的混杂程度，有利于分子的快速沉积，且本装置能够使产物分子均匀的在工件表面沉积，并且能够有效利用产物分子，减少产物分子的浪费
一种化学材料沉积装置

[发明专利]半导体热处理设备的清扫方法-CN202010177200.X有效
发明人：孙妍 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2020-03-13 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开一种半导体热处理设备的清扫方法，包括：将承载有晶圆挡片的晶舟移入半导体热处理设备的反应腔室内；将半导体热处理设备的装卸载腔室调节至常压的大气环境；向反应腔室通入吹扫气体以进行清扫；清扫完毕后，将反应腔室的温度调节至预设温度，并将反应腔室的压力调节至常压；将晶舟移入装卸载腔室中，向装卸载腔室通入空气以进行清扫。将晶舟托载晶圆挡片进入反应腔室进行清扫，减少清扫时的腔室体积，增加反应腔室侧壁的气流流速，提高其侧壁颗粒物的去除效果，将承载有晶圆挡片的晶舟移至装卸载腔室内，利用晶圆挡片从反应腔室的热量和含氧的大气环境，使装卸载腔室内的有机物颗粒燃烧去除，有效清除反应腔室和装卸载腔室内的颗粒。
半导体热处理设备清扫方法

[发明专利]一种热反应赤泥料裂变仓系统及裂变处理工艺-CN202211014552.9在审
发明人：吕桂琼;陈更荣;朱兆鸿;左位;廖超;凌逍;周军 -专利权人：四川天泽兴环境科技有限公司
申请日： 2022-08-23 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： B09B3/40 文献下载
摘要：本发明属于赤泥处理以及赤泥处理设备技术领域，尤其是一种热反应赤泥料裂变仓系统及裂变处理工艺。热反应赤泥料裂变仓系统包括：裂变仓、压料机构；所述裂变仓包括反应仓室、进料口、出料口以及进液口；所述反应仓室为封闭结构；所述进料口设置在所述反应仓室侧壁的中部，赤泥料由进料口进入反应仓室中；所述出料口设置于所述反应仓室的底部，所述出料口用于排出混合后的赤泥浆料；其中，所述进液口设置在所述反应仓室侧壁上，所述进液口用于向反应仓室中加入水溶液；所述压料机构包括压料板、转轴以及驱动组件。压料机构通过转动将进入水溶液的赤泥料压入水溶液中，使高温的赤泥料与水溶液充分的接触，以进行裂变反应。
一种反应赤泥料裂变系统处理工艺

[实用新型]一种腐殖酸的中和及稳定化装置-CN201920599508.6有效
发明人：曾晓林;张海鹏;周旭 -专利权人：泉州市百川生物科技有限公司
申请日： 2019-04-28 - 公布日： 2020-02-21 - 主分类号： B01J19/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种腐殖酸的中和及稳定化装置，包括反应室；所述反应室内垂直地设有一旋转杆，所述旋转杆上水平地设有复数个搅拌轴，所述搅拌轴上设有复数个搅拌叶片，所述反应室顶部设有一驱动电机，所述驱动电机驱动传动旋转杆做定向的旋转动作；所述反应室的侧壁分为内侧壁和外侧壁，所述内侧壁和所述外侧壁之间形成一环形的导风通道，所述外侧壁上连接一风机，所述反应室内设有复数个水平的空心管，所述空心管上设有复数个导热叶片。本实用新型涉及腐殖酸中和领域，通过搅拌叶片对腐殖酸搅拌，通过内侧壁、空心管和导热叶片对腐殖酸进行加热，提高了腐殖酸中和的效率，其解决了腐殖酸中和效率低的技术问题。
一种腐殖中和稳定化装

[发明专利]一种膜层生长设备及方法-CN202210630743.1有效
发明人：宋宇;姜崴;柳雪 -专利权人：拓荆科技(北京)有限公司
申请日： 2022-06-06 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本申请提供一种膜层生长设备及方法，包括：反应腔室，反应腔室内具有基台，基台用于对放置于基台上的待处理衬底进行加热，反应腔室的侧壁上设置有保温部件和第一导热部件，保温部件为保温材料，第一导热部件为导热材料，保温部件位于第一导热部件远离反应腔室的底部一侧，保温部件位于反应腔室的侧壁的上部，对应于形成膜层的上部区域，第一导热部件位于反应腔室的侧壁的下部，对应于不形成膜层的下部区域，即污染物颗粒从上部区域运动到下部区域
一种生长设备方法

[实用新型]过氧化氢二异丙苯生产用提浓闪蒸塔-CN202121077101.0有效
发明人：曹玉明;颜廷飞;史建超;田玉昌;魏洪涛 -专利权人：淄博胜赢化工有限公司
申请日： 2021-05-19 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： B01D3/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了提浓技术领域的过氧化氢二异丙苯生产用提浓闪蒸塔，包括底板，底板上端中部安装有反应室，反应室前端上部安装有进液管，进液管内侧与反应室连通，进液管中部安装有水泵，反应室右侧壁下部连接有出液管，出液管内侧与反应室连通，出液管前端安装有导管，反应室外侧壁上部设置有螺纹，反应室上方安装有箱盖，箱盖上端左侧安装有降压器，底板右侧连接有电源线；本实用新型中，通过转动电机转动，带动丝杆转动，丝杆带动丝杆滑座向上运动，将箱盖拧开，对反应室内部进行清洗，避免内部产生污染，减少对反应作业产生影响，通过打开箱门，可以在箱体内进行物件的放置，带来便捷，节约了工具的拿取的时间。
过氧化氢异丙苯生产用提浓闪蒸

[实用新型]铝塑复合膜分离工艺中的多管连续式浸泡反应器-CN201220471490.X有效
发明人：程汉良;黄汇川 -专利权人：厦门川汉环保科技有限公司
申请日： 2012-09-14 - 公布日： 2013-03-13 - 主分类号： B01J19/18 文献下载
摘要：铝塑复合膜分离工艺中的多管连续式浸泡反应器，涉及一种铝塑复合膜分离设备。提供一种可实现铝塑复合膜分离工艺中连续进出料，高产，在保证浸泡效能不变的同时，节省人工、水电和药剂的铝塑复合膜分离工艺中的多管连续式浸泡反应器。设有反应室、调速中心搅拌器、3根带旋转螺杆出料管、2根带旋转螺杆进料管、废气喷淋装置和药剂进料管；所述调速中心搅拌器设在反应室内，所述2根带旋转螺杆进料管的出料口与反应室连通，2根带旋转螺杆进料管与反应室侧壁的夹角为25°～35°；所述3根带旋转螺杆出料管的进料口与反应室连通，3根带旋转螺杆出料管与反应室侧壁的夹角为40°～65°；所述废气喷淋装置安装于反应室顶部，废气喷淋装置伸入反应室的长度为反应室高度的5%～15%
复合分离工艺中的连续浸泡反应器

[发明专利]真空电池化成系统及其使用方法-CN202110397470.6有效
发明人：梁莹利;刘伟;康广健;安宁;严彩侠 -专利权人：淄博鑫旭电源科技有限公司
申请日： 2021-04-14 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H01M10/12 文献下载
摘要：该真空电池化成系统包括反应室，反应室内设置有导轨及沿导轨移动的电池托盘，电池位于电池托盘上，反应室的两端各设置有一个可旋转开启的封盖；反应室上方连通有真空泵、测氢仪及测压仪，真空泵连通气液分离器；反应室的侧壁连通有补气管，补气管上设置有补气阀门；反应室的侧壁设置有操作盖，提供一种贫液式电池高效、安全的真空电池化成系统及其使用方法。
真空电池化成系统及其使用方法