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[发明专利]远程等离子体单元及包括其的衬底处理设备-CN202310002560.X在审
发明人： Z.苗 -专利权人： ASM IP私人控股有限公司
申请日： 2023-01-03 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：示例性衬底处理设备包括反应室；远程等离子体单元；配置成将远程等离子体单元流体联接到反应室的清洁气体管线；以及设置在反应室的侧壁中的室衬里；其中清洁气体管线通过清洁气体开口连接到反应室的侧壁；其中该室衬里设置有多个孔
远程等离子体单元包括衬底处理设备

[实用新型]一种用于丙烯酸乳液加工的反应釜-CN201921627180.0有效
发明人：刘勇;李翔 -专利权人：江苏李文甲化工有限公司
申请日： 2019-09-27 - 公布日： 2020-07-31 - 主分类号： B01J19/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于丙烯酸乳液加工的反应釜，包括本体，本体上部设置有混合室，混合室下方设置有反应室，混合室顶部设置有进料口，进料口上安装有进料漏斗，混合室内设置有搅拌装置，混合室和反应室之间设置有挡板，挡板包括耐腐蚀层板和隔热层板，混合室底部设置有第一出料口，第一出料口贯穿挡板设置，第一出料口的另一端设置于反应室顶部，反应室顶部设置有探温器，反应室一侧设置有增压阀，另一侧设置有泄压阀，反应室前侧壁上部设置有压力表和温度表，反应室前侧壁中间设置有观察屏，反应室前侧壁下部设置有第二出料口，反应室外侧设置有加热层，加热层内设置有若干加热丝，加热层后侧设置有进出水口，加热层两侧对称设置有支撑架。
一种用于丙烯酸乳液加工反应

[发明专利]一种VOC废气处理系统-CN202111016393.1在审
发明人：陈改琴;胡昌金 -专利权人：陈改琴
申请日： 2021-08-31 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： B01D53/86 文献下载
摘要：本发明涉及废气处理技术领域，具体为一种VOC废气处理系统，包括反应室，反应室的左侧靠近前端的位置固定连接有废气管，反应室的左侧靠近后端的位置固定连接有氧气管，反应室的底部固定连接有支撑腿，反应室的内侧壁中心处左右两侧均固定连接有承重板，承重板的上端靠近反应室内侧壁的一端转动连接有催化剂载板，反应室的内侧壁靠近上端的位置固定连接有滤网，反应室的右侧靠近上端的位置固定连接有出气管，氧气管的前端开的设有第一漏气孔，废气管的右侧转动连接有转管，可以通过废气进入反应室内部的时候，带动摩擦块反复的摩擦起热，将反应室内部的温度升高，提高反应的速度，这样使废气处理的效率更加的理想。
一种 voc 废气处理系统

[发明专利]与ALD反应器有关的装置-CN200680043030.4无效
发明人： P·索伊尼宁;S·斯耐克 -专利权人： BENEQ有限公司
申请日： 2006-11-16 - 公布日： 2008-11-19 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于ALD反应器的装载设备，该ALD反应器包括真空室(2)和设置在该真空室(2)内部的反应室(4)，该真空室具有第一端壁(6)和包括后凸缘的第二端壁(20)以及连接第一和第二端壁的侧壁/壳体根据本发明，该装载设备设置在真空室(2)的侧壁/壳体(22)中，在这种情况下，一个或多个衬底(10)能通过该真空室(2)的侧壁(22)被引入反应室(4)和从其移出。
ald 反应器有关装置

[发明专利]一种地下水修复装置-CN202310675364.9在审
发明人：陈华;刘帅;何耀忠;朱海燕;陈星宇;洪昭锐;黎良浩;萧毅荣 -专利权人：广东省环境保护工程研究设计院有限公司;广东省环保研究总院有限公司
申请日： 2023-06-07 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： C02F9/00 文献下载
摘要：本申请涉及一种地下水修复装置，包括箱体，箱体设于地底土层并具有侧壁，侧壁围设形成内腔；反应机构包括第一反应室，第一反应室位于内腔，第一反应室具有反应介质，第一反应室与外界环境连通；监测机构包括第一监测室，第一监测室位于内腔并与第一反应室连通。与传统技术相比，利用上述地下水修复装置对地下水进行净化修复，能够根据第一监测室的监测结果及时对第一反应室内的反应介质进行更换，使其对地下水的净化修复效果更好，通过设置第一反应室与外界环境连通，使工作人员在更换反应介质时更加方便快捷
一种地下水修复装置

[发明专利]一种水平切向进口、中心垂直出口的MOCVD反应室-CN200810122991.5无效
发明人：左然;王国斌;徐谦 -专利权人：江苏大学
申请日： 2008-06-20 - 公布日： 2008-12-03 - 主分类号： C23C16/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种水平切向进口、中心垂直出口的MOCVD反应室。其特征为：反应室为圆柱形腔体，反应室内有水平旋转托盘，气体进口沿周向均匀布置在反应室侧壁上，尾气出口位于反应室的中心轴线上。反应气体沿切向喷入反应室，在反应室侧壁的约束下，气体在基片上方的平行平面内逐渐旋转和加速。通过调节喷管的角度和气体进口速度、压强等操作参数，在反应室内得到人为可控的螺旋流动，从而控制反应物浓度从边缘到中心均匀分布，实现薄膜的均匀生长。
一种水平进口中心垂直出口 mocvd 反应

[发明专利]煤加氢反应装置及反应方法-CN201610857355.1在审
发明人：赵国忠;郭强;李克海;王鲁杰;杨松峰;李峰;吴德民;陈庚;王姗姗;杨德兴 -专利权人：中石化宁波工程有限公司;中石化宁波技术研究院有限公司;中石化炼化工程(集团)股份有限公司
申请日： 2016-09-28 - 公布日： 2017-01-25 - 主分类号： C10G1/06 文献下载
摘要：本发明涉及到一种煤加氢反应装置及反应方法，其特征在于包括气化室，所述气化室的侧壁上设有用于向所述气化室内加料的气化喷嘴；所述气化室的顶部通过管道连接旋风反应器，所述管道的侧壁上设有蒸汽喷嘴；所述旋风反应器的侧壁上设有用于向所述旋风反应器内加料的粉煤喷嘴，所述旋风反应器的顶部设有油气出口，所述旋风反应器的底部设有煤焦出口；所述气化室的底部出口连接下降管，所述下降管连通冷却室，所述冷却室的底部设有煤渣出口；所述下降管连接激冷装置，所述激冷装置连接设置在壳体侧壁上的激冷水入口本发明不需要外设煤制氢装置，反应速率快，转化率高，油收率高。
加氢反应装置方法

[发明专利]一种平板式PECVD设备-CN202210783561.8有效
发明人：曾武杨;陈特超;陈臻阳;唐电 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2022-07-05 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： C23C16/509 文献下载
摘要：本发明公开了一种平板式PECVD设备，包括反应腔室、阴极面板、顶升机构和衬底，所述衬底位于所述顶升机构上，所述顶升机构和所述衬底均位于所述反应腔室内，所述阴极面板内置于所述反应腔室内并作为反应腔室的腔盖与反应腔室组成真成环境，所述阴极面板与衬底之间形成平行放电基板，所述阴极面板的侧壁与反应腔室之间设置有绝缘组件，用于避免阴极面板的侧壁与反应腔室的侧壁放电打火。
一种平板 pecvd 设备

[实用新型]一种低能耗污水处理人工湿地装置-CN201721580609.6有效
发明人：王书莲;张火峰;王翔;徐锐超;蒋亚茹;郑振洋;王莉;王宝霞;宋丽 -专利权人：河南桑达能源环保有限公司
申请日： 2017-11-23 - 公布日： 2018-08-03 - 主分类号： C02F9/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种低能耗污水处理人工湿地装置，包括池体，池体左侧壁的中部设有进水口，池体右侧壁的中部设有出水口；池体内通过隔板分隔成沉淀室、左反应室、右反应室及储水室，沉淀室从顶部溢水至左反应室，左反应室从底部潜流入右反应室，右反应室再溢水至储水室；左反应室及右反应室内均从下至上依次铺设有第一填料层、第二填料层、基质覆盖层，且左反应室及右反应室内均设有第一挡板及第二挡板，以使左反应室内及由反应室内的水流均呈S形流动。
左反应室人工湿地装置右反应室池体室内本实用新型沉淀室储水室低能耗填料层溢水污水处理隔板污水净化效率基质覆盖层操作维护第二挡板第一挡板出水口进水口右侧壁左侧壁分隔铺设体内堵塞流动制造

[发明专利]一种反应腔室-CN201410128298.4在审
发明人：马塔山 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2014-04-01 - 公布日： 2015-10-14 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种反应腔室，在所述反应腔室的侧壁上设置有反应腔室观察窗。所述反应腔室观察窗包括观察窗盖板、观察窗玻璃和观察窗底座，观察窗底座固定在反应腔室的侧壁开口上，观察窗盖板与观察窗底座固定连接，观察窗玻璃位于观察窗盖板与观察窗底座之间。所述反应腔室观察窗还包括旋转轴和玻璃保护隔板，旋转轴设置在观察窗底座上，用于旋转玻璃保护隔板。玻璃保护隔板位于侧壁开口与观察窗玻璃之间并且固定在旋转轴上。本发明提供的反应腔室在观察完反应腔室内环境后，玻璃保护隔板能够将侧壁开口与观察窗玻璃隔离，保护观察窗玻璃不与扩散颗粒接触，从而避免对观察窗玻璃的颗粒沉积，延长观察窗玻璃的拆装和清洗周期。
一种反应

[实用新型]一种脱硝系统-CN202021158749.6有效
发明人：彭栋友;张英;彭小强 -专利权人：德阳劲达节能科技有限责任公司
申请日： 2020-06-19 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： B01D53/78 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种脱硝系统，包括外壳，在外壳的内部设有依次通过连接管连通的第一加热室、第一反应室和第二反应室，第一加热室的侧壁处设有进气管，第二反应室的侧壁处设有出气管，外壳的顶部分别设有第一加药箱和第二加药箱，第一加药箱与第一反应室通过第一喷淋头连通，第二加药箱与第二反应室通过第二喷淋头连通；本实用新型所提供的脱硝系统，通过设置两个反应室，使得脱硝反应更加充分，另外，在反应室之前设置加热室，使得待处理的烟气的温度保持在最佳反应温度的范围内，在提高了反应效率的同时减少了副产物的生成。
一种系统

[实用新型]感性耦合反应器-CN202021504258.2有效
发明人：吴堃 -专利权人：上海邦芯半导体设备有限公司
申请日： 2020-07-27 - 公布日： 2021-02-05 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种感性耦合反应器，包括：反应腔主体；位于所述反应腔主体上方的感性耦合射频单元；所述感性耦合射频单元包括：屏蔽罩；位于所述屏蔽罩内部的反应室介质管，所述反应室介质管的外侧壁倾斜且反应室介质管的顶部横截面小于底部横截面，所述反应室介质管内侧壁还设置有隔离件，所述隔离件将反应室介质管的内部区域分为第一反应区域和位于第一反应区域两侧的第二反应区域；位于所述屏蔽罩内部且分布于所述反应室介质管侧部的射频天线。所述感性耦合反应器能加强对等离子分布的控制能力。
感性耦合反应器

[实用新型]一种聚结气浮高效除油设备-CN201721058861.0有效
发明人：赵玉成;李智 -专利权人：大连玉源环境工程有限公司
申请日： 2017-08-23 - 公布日： 2018-05-22 - 主分类号： C02F1/40 文献下载
摘要：一种聚结气浮高效除油设备，包括依次排列且相互连通的反应室、气浮室及分离室，反应室的进液口侧设有聚结室；聚结室内设有聚结填料层，聚结室的底部设有进水口，聚结室与反应室通过反应室的进液口相连通，聚结室上端的侧壁上设有撇油槽；反应室内设有上下平行设置的折流板，折流板于一端固定于反应室的侧壁上且上下相邻的折流板交错排列，反应室与气浮室之间通过反应室底部的出液口相连通；分离室的底部设有出水口。本实用新型结构简单，有利于缓解管道堵塞的问题，降低了污泥处理的成本；除油效果明显，有效提高了本实用新型的整体反应效率。
一种聚结高效设备

[实用新型]多功能反应器-CN201621014845.7有效
发明人：刘剀;张殿光;王春彦 -专利权人：大连凯晨海洋工程有限公司
申请日： 2016-08-31 - 公布日： 2017-03-08 - 主分类号： C02F9/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多功能反应器，包括臭氧接触室和扩散室，所述的臭氧接触室和扩散室为反应器腔体竖直分隔而成的两个腔室；臭氧接触室上部侧壁设置有进水管，下部侧壁设置有臭氧管，中部腔室内设置有阶梯环填料层；扩散室上部侧壁设置有过滤水进水管，中部腔室内设置有除气填料层，下部侧壁设置有出水管；左侧的臭氧接触室和右侧的扩散室底部通过多孔管连通。本实用新型所述的多功能反应器，能够实现臭氧投加及接触反应、除气以及生物过滤多个功能，并且通过除气的过程，将水中的二氧化碳一并去除，从而避免水体“酸化”。
多功能反应器

[发明专利]一种用于电泳涂料的反应装置-CN201911282260.1在审
发明人：郭文锋;郑飞宁;黄文龙;钟智龙 -专利权人：四会市宏创工业机械设备有限公司
申请日： 2019-12-13 - 公布日： 2020-04-14 - 主分类号： B01J19/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于电泳涂料的反应装置，属于涂料反应装置技术领域，包括反应釜，所述反应釜包括真空夹层室和反应室，所述反应室内部安装有搅拌轴，所述搅拌轴外侧壁焊接有搅拌框，所述搅拌框外侧壁安装有毛刷且通过毛刷与反应室内侧壁连接，所述反应室顶部安装有高压喷头，所述高压喷头通过水管B和水泵B与水箱连接，电泳涂料在反应釜中反应产生大量的高温时，水管A内的冷水沿着水管A缠绕在反应室外侧壁的管路，为反应釜迅速降温的同时，吸收大量高温变成温水储存在水箱内备用，高压喷头可将水高压喷洒在反应釜内侧壁，配合毛刷将粘附在反应釜内侧壁的脏污刷下来，无需人工手动清洗。
一种用于电泳涂料反应装置