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[发明专利]使用外延生长的膜形成方法及外延生长装置-CN201811583562.8在审
发明人：冈部晃;森义信 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-03-13 - 公布日： 2019-07-30 - 主分类号： C30B25/08 文献下载
摘要：本文介绍在构建由作为顶面的顶板、作为底面的基板安装部分，及作为侧面的侧壁界定及形成的反应腔室时，支撑件在顶板的圆周边缘自圆周边缘的上侧及外侧支撑顶板，并且反应气体在设置于侧壁中的反应气体供应路径中经整流，使得反应腔室中处于反应气体流动方向上的水平部件对应于一水平部件，该后一水平部件在自与反应腔室相对的反应气体供应路径的开口中心延伸至反应腔室中心的方向上。
反应腔室水平部件反应气体供应反应气体圆周边缘反应腔室中心外延生长装置侧壁界定基板安装开口中心外侧支撑外延生长膜形成支撑件侧壁构建侧面延伸流动

[发明专利]使用外延生长的膜形成方法及外延生长装置-CN202110164339.5在审
发明人：冈部晃;森义信 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-03-13 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： C30B25/08 文献下载
摘要：本文介绍在构建由作为顶面的顶板、作为底面的基板安装部分，及作为侧面的侧壁界定及形成的反应腔室时，支撑件在顶板的圆周边缘自圆周边缘的上侧及外侧支撑顶板，并且反应气体在设置于侧壁中的反应气体供应路径中经整流，使得反应腔室中处于反应气体流动方向上的水平部件对应于一水平部件，该后一水平部件在自与反应腔室相对的反应气体供应路径的开口中心延伸至反应腔室中心的方向上。
使用外延生长形成方法装置

[发明专利]使用外延生长的膜形成方法及外延生长装置-CN201710618946.8有效
发明人：冈部晃;森义信 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-03-13 - 公布日： 2020-02-14 - 主分类号： C30B25/08 文献下载
摘要：本文介绍在构建由作为顶面的顶板、作为底面的基板安装部分，及作为侧面的侧壁界定及形成的反应腔室时，支撑件在顶板的圆周边缘自圆周边缘的上侧及外侧支撑顶板，并且反应气体在设置于侧壁中的反应气体供应路径中经整流，使得反应腔室中处于反应气体流动方向上的水平部件对应于一水平部件，该后一水平部件在自与反应腔室相对的反应气体供应路径的开口中心延伸至反应腔室中心的方向上。
使用外延生长形成方法装置

[发明专利]使用外延生长的膜形成方法及外延生长装置-CN201480013791.X有效
发明人：冈部晃;森义信 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-03-13 - 公布日： 2019-01-18 - 主分类号： H01L21/20 文献下载
摘要：本文介绍在构建由作为顶面的顶板、作为底面的基板安装部分，及作为侧面的侧壁界定及形成的反应腔室时，支撑件在顶板的圆周边缘自圆周边缘的上侧及外侧支撑顶板，并且反应气体在设置于侧壁中的反应气体供应路径中经整流，使得反应腔室中处于反应气体流动方向上的水平部件对应于一水平部件，该后一水平部件在自与反应腔室相对的反应气体供应路径的开口中心延伸至反应腔室中心的方向上。
使用外延生长形成方法装置

[发明专利]反应腔室-CN201410655635.5有效
发明人：聂淼 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2014-11-18 - 公布日： 2019-01-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种反应腔室，其包括腔室侧壁和设置在腔室侧壁顶部的气体分配板，腔室侧壁的上表面与气体分配板的下表面相互间隔，且在二者之间设置有密封圈，该密封圈采用线接触的方式分别与腔室侧壁的上表面和气体分配板的下表面相接触本发明提供的反应腔室，其可以减小气体分配板和腔室侧壁之间的热传递，从而可以提高气体分配板和腔室侧壁的温控精度。
反应

[实用新型]一种高效污泥减量化处理装置-CN201821913984.2有效
发明人：黄赳;李晓璇;陈辉 -专利权人：江苏瑞河环境工程研究院有限公司
申请日： 2018-11-20 - 公布日： 2019-09-17 - 主分类号： C02F11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高效污泥减量化处理装置，其特征在于，所述污泥减量处理装置包括循环反应装置、气液混合装置、反应室污泥入口、反应室污泥出口、污泥引出口、污泥再入口；所述污泥入口位于所述循环反应装置侧壁下部，所述污泥出口位于所述循环反应装置侧壁上部，所述污泥再入口位于所述循环反应装置侧壁中部，所述污泥引出口位于所述循环反应装置底部。
循环反应装置污泥污泥减量化处理装置污泥出口污泥入口反应室引出口气液混合装置污泥减量处理本实用新型侧壁上部侧壁下部侧壁中部

[实用新型]一种工业废水回收处理装置-CN201921687245.0有效
发明人：吴德成 -专利权人：昆山惠业环保设备有限公司
申请日： 2019-10-10 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： C02F9/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种工业废水回收处理装置，包括：依次连通的过滤室、沉淀室和反应室，过滤室一侧与进水管连通，过滤室通过第一导通管与沉淀室连通，过滤室内设置有过滤网，过滤室内设置有凸起槽，沉淀室内底部设置有沉淀槽，沉淀室通过第二导通管与反应室侧壁连通，反应室顶部中央位置设置有搅拌电机，反应室顶部设置有通孔，搅拌电机的输出端部分伸入反应室内部，搅拌电机的输出端与搅拌轴连接，搅拌轴设置有多个搅拌叶片，反应室顶部与进料管连通，反应室侧壁底部与排水管连通。
一种工业废水回收处理装置

[发明专利]一种甲醇和水蒸气制氢的系统-CN202211607080.8在审
发明人：殷玲;高梦涵;许澎 -专利权人：福建久策气体股份有限公司
申请日： 2022-12-14 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： C01B3/32 文献下载
摘要：本申请涉及氢气制备的技术领域，公开了一种甲醇和水蒸气制氢的系统，包括供料区间，所述供料区间包括用于储存甲醇的容器以及和容器相连接的加热装置，所述加热装置用于气化甲醇；第一区间，所述第一区间包括和所述加热装置连通的反应室、设置于反应室侧壁且用于向反应室提供水蒸气的第一加料位、以及设置于反应室相侧壁且用于向反应室提供催化剂的第二加料位；第二区间，包括依次连通的过滤室、吸附室、膜分离室和冷却分离室；所述过滤室和所述反应室相连通，使得反应室合成的气体能够进入过滤室，且合成的气体自过滤室依次经过吸附室、膜分离室和冷却分离室。
一种甲醇水蒸气系统

[实用新型]一种气相沉积反应腔室门阀装置-CN201120512758.5有效
发明人：张超 -专利权人：汉能科技有限公司
申请日： 2011-12-09 - 公布日： 2012-08-15 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种气相沉积反应腔室门阀装置，具体地讲是涉及一种能够有效防止密封面和密封圈遭受破坏的气相沉积反应腔室门阀装置。其包括表面为平面的腔室侧壁、能够覆盖腔室侧壁上反应物进出口的门阀本体，门阀本体上设有用于带动门阀本体移动的气缸驱动的连杆，门阀本体上与腔室侧壁接触的一面外周边缘部分为密封圈的安装部分。本实用新型结构与清洁维护简单，有效的克服了在腔室侧壁上开槽造成的清洗维护不便且容易损伤密封圈和密封面的问题，保证了反应的稳定性，节约了维护成本。
一种沉积反应门阀装置

[实用新型]一种二氧化硫尾气处理装置-CN201821407246.0有效
发明人：杨志广;程春艳;江鑫梅;石晓明;孟玉宁;李荣 -专利权人：周口师范学院
申请日： 2018-08-30 - 公布日： 2019-04-02 - 主分类号： B01D53/81 文献下载
摘要：一种二氧化硫尾气处理装置，本实用新型涉及尾气处理设备技术领域，其中底座上开设有燕尾槽，底座上通过燕尾槽与滑块相配合，滑动设置有反应腔，燕尾槽的端头设置有螺纹槽，螺纹槽内旋设有堵头；反应腔的侧壁上插设固定有缓冲室，排气管插设固定在缓冲室内，缓冲室内固定设置有导热挡板，导热挡板的内部嵌设有导风管，导风管穿过缓冲室的侧壁及反应腔的侧壁后露设在反应腔的外部；反应腔内填设有吸收剂，缓冲室的侧壁上穿设有出气孔，反应腔的侧壁上穿设固定有出气管；其在反应腔内加装了缓冲室，高速尾气直接排入缓冲室内，导热挡板对气流进行降速，同时对高温气流进行冷却，便于下一步反应，吸收二氧化硫。
反应腔侧壁缓冲室导热挡板燕尾槽缓冲二氧化硫尾气处理装置导风管螺纹槽室内插设底座尾气处理设备本实用新型高温气流固定设置滑动设置一步反应出气管出气孔排气管吸收剂二氧化硫穿设堵头端头滑块加装降速内旋冷却尾气穿过外部吸收配合

[实用新型]一种实验用硫化反应釜-CN201820064073.0有效
发明人：李海军;孙鸣高 -专利权人：洛阳华旭利尔电炉有限公司
申请日： 2018-01-16 - 公布日： 2018-09-21 - 主分类号： B01J19/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种实验用硫化反应釜，包括炉体和设置在炉体内部的反应釜本体，反应釜本体为上端敞口的中空结构，在反应釜上端口处设置有可拆卸的视窗，在反应釜本体内部设置有水平状的透气布，透气布将反应釜本体的内腔分隔成上腔体和下腔体，在上腔体内部设置有竖直状的隔板A，隔板A将上腔体分隔成进料室和反应室，隔板A下端与透气布之间留有通道，进料室和反应室通过通道相连通，在进料室上端的侧壁上设置有进料管；在下腔体内部设置有竖直状隔板B，隔板B将下腔体分隔成左进气室和右进气室，左进气室和右进气室下端分别对应设置有左进气管和右进气管，在反应釜本体的侧壁上设置有与反应室相连通的出料管。
隔板反应釜本体进气室反应室进料室透气布硫化反应进气管上腔体实验用竖直状下腔体侧壁下端分隔本实用新型可拆卸的炉体内部内部设置内腔分隔腔体内部上端敞口中空结构出料管反应釜进料管上端口水平状体内部上端炉体上腔视窗

[实用新型]一种具有环保作用的气体生产除杂设备-CN201922222957.1有效
发明人：冯书铬;黄仕钊 -专利权人：海南锋利气体有限公司
申请日： 2019-12-12 - 公布日： 2020-04-17 - 主分类号： C01B3/50 文献下载
摘要：本实用新型公布了一种具有环保作用的气体生产除杂设备，其包括，底座、反应室、支撑架、入料口、进气管、出气管，所述的支撑架安装于底座上，所述的反应室固定安装于支撑架上，反应室为立方体壳体，反应室的顶部设置有入料口，入料口上匹配有旋塞，反应室的一侧壁接通有进气管、另一侧壁接通有出气管，所述的反应室的底部设置有加热器，反应室底部的中心处开设有漏料孔，底座上安装有输送带，输送带处于底座与反应室之间，并且输送带的漏料孔靠近反应室底部的漏料孔，所述的底座上且处于输送带的一侧设置有用于对反应室底部的漏料孔进行封堵的封堵组件，封堵组件能够打开/关闭漏料孔。
一种具有环保作用气体生产设备

[发明专利]反应腔室以及等离子体加工设备-CN201410092873.X有效
发明人：彭宇霖;邢涛 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2014-03-13 - 公布日： 2018-01-09 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种反应腔室以及等离子体加工设备，其包括设置在反应腔室内部的承载装置，以及环绕在反应腔室的内侧壁上部的上内衬，在上内衬的底端设置有环绕在反应腔室的内侧壁与承载装置之间的环形挡板，在环形挡板上表面上均匀分布有多个贯穿其厚度的条状通孔本发明提供的反应腔室，其不仅可以满足在反应腔室的腔室压力较低的前提下，同时具有较大的气体流量的要求，而且还可以提高等离子体的分布对称性和均匀性。
反应以及等离子体加工设备

[实用新型]反应腔室及半导体加工设备-CN201721033212.5有效
发明人：赵晋荣;常楷 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2017-08-17 - 公布日： 2018-04-03 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本实用新型提供一种反应腔室及半导体加工设备，在反应腔室的内部设置有基座，且在反应腔室的侧壁内侧设置有内衬，内衬的上端通过反应腔室的侧壁接地。反应腔室还包括边缘环和遮挡环，其中，边缘环环绕在基座的周围，边缘环的下端通过基座接地，且在边缘环的内周壁与基座的外周壁之间设置有介质环；遮挡环设置在内衬的下端与边缘环的外周壁之间。本实用新型提供的反应腔室，其可以避免系统产生谐振，从而可以增强工艺稳定性。
反应半导体加工设备

[实用新型]一种软质炭黑生产的反应炉-CN201621449210.X有效
发明人：张永昌 -专利权人：天津永达科技有限公司
申请日： 2016-12-27 - 公布日： 2017-07-07 - 主分类号： C09C1/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种软质炭黑生产的反应炉，包括反应炉本体和保温外壳，所述反应炉本体安装在保温外壳的内部，反应炉本体的外侧壁与保温外壳的内侧壁相距3cm‑5cm，保温外壳上设有出水管和进水管，出水管和进水管均与反应炉本体与保温外壳之间的空腔连通，所述反应炉本体包括燃烧室、第一反应室、第二反应室、第三反应室和原料油喷射装置。该软质炭黑生产的反应炉，其设计巧妙，其上在反应炉本体的外部又加装了保温壳，保温壳与反应炉本体的外侧壁之间的空腔可以装上水，在炭黑生产过程中，反应炉本体的外壳的热被水吸收，这些被加热的水可以为工厂提供热水
一种炭黑生产反应炉