专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种半导体器件及其制备方法-CN202110717059.2在审
  • 杨天应 - 深圳市时代速信科技有限公司
  • 2021-06-28 - 2021-09-24 - H01L29/06
  • 本申请提供一种半导体器件及其制备方法,涉及半导体技术领域,方法包括:在衬底上形成半导体叠层;在半导体叠层上形成金属、漏极金属和栅极金属;在栅极金属上形成介质层;在介质层上形成场板,场板位于金属和漏极金属之间;可以选择相对介电常数小于5的材料制作保护层,如此,结合保护层在覆盖器件上表面时也会在场板和漏极金属之间存在,能够通过选择相对介电常数小于5的保护层来降低场板和漏极金属之间的相对介电常数,从而减小场板和漏极金属之间的
  • 一种半导体器件及其制备方法
  • [发明专利]TFT基板的制作方法及TFT显示装置的制作方法-CN201710749034.4在审
  • 李松杉 - 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
  • 2017-08-28 - 2018-01-23 - H01L21/77
  • 本发明提供一种TFT基板的制作方法及一种TFT显示装置的制作方法,包括步骤提供一衬底基板;在所述衬底基板上形成漏极金属层;在所述漏极金属层上沉积一层光刻胶薄膜,在所述光刻胶薄膜上蚀刻所需的图案;采用BCl3气体除掉所述漏极金属层表面由于接触空气而产生的金属氧化物;采用Cl2气体和BCl3气体对所述漏极金属层进行蚀刻。本发明提供了一种TFT基板的制作方法及TFT显示装置的制作方法,通过先单独使用较大流量BCl3气体将漏极金属层表面的金属氧化物移除,再使用Cl2气体和BCl3气体对漏极金属层进行蚀刻,能够保证漏极金属层每个蚀刻区域的蚀刻速度相同,从而大幅度提高漏极金属层蚀刻后极和漏极的均一性,进而改善TFT器件的性能。
  • tft制作方法显示装置
  • [发明专利]半导体器件及其制备方法-CN202111297050.7在审
  • 杨天应 - 深圳市时代速信科技有限公司
  • 2021-11-04 - 2021-11-30 - H01L29/06
  • 该制备方法包括:在衬底上形成半导体叠层;在半导体叠层上形成极欧姆金属和漏极欧姆金属;在半导体叠层上形成覆盖极欧姆金属和漏极欧姆金属的种子金属层;在种子金属层上形成光刻胶层,在光刻胶层上形成第一窗口;在第一窗口内沉积Au层;烘烤光刻胶层使光刻胶层收缩,以在Au层和光刻胶层之间形成缝隙;在缝隙和Au层上形成金属阻挡层;去除光刻胶层和露出的种子金属层;在极欧姆金属和漏极欧姆金属上分别形成极互连金属和漏极互连金属且在金属阻挡层上形成场板;场板与金属阻挡层之间形成有介质层。
  • 半导体器件及其制备方法
  • [发明专利]双扩散金属氧化物半导体器件-CN201010601804.9有效
  • 曹建;赵广艳;高东岳 - 无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司
  • 2010-12-22 - 2012-07-11 - H01L29/78
  • 本发明实施例公开了一种双扩散金属氧化物半导体器件,包括:区、栅区和漏区;所述区和栅区表面上分别对应设置有源极金属层和栅极金属层;所述金属层的图形与所述栅极金属层的图形不同。本实施例所提供的技术方案中,所述双扩散金属氧化物半导体器件中,金属层的图形与栅极金属层的图形不同,因此,后续器件封装制程中的封装设备能够根据图形的不同,实现区分并识别金属层和栅极金属层,该方案无需增大源极金属层和栅极金属层之间的距离此外,生产该DMOS器件无需增加专用于区分金属层和栅极金属层的工艺步骤,能够简化生产流程,提高生产效率。
  • 扩散金属氧化物半导体器件
  • [发明专利]一种半导体器件及其制备方法-CN202111168049.4在审
  • 杨天应 - 深圳市时代速信科技有限公司
  • 2021-10-08 - 2021-12-24 - H01L23/544
  • 一种半导体器件及其制备方法,涉及半导体技术领域,该半导体器件包括衬底和半导体层,半导体层上划分有两个相间隔的有源区,以及位于有源区外围的无区,在有源区设置有第一极、漏极和栅极,在无区设置有源极焊盘、漏极焊盘和栅极焊盘,漏极焊盘与漏极连接,栅极焊盘与栅极连接;在两个有源区上连接设置有第二极,第二极包括第一金属部、第二金属部和第三金属部,第一金属部和第三金属部分别连接于两个有源区,第二金属部位于两个有源区之间的无区;极焊盘分别与第一极和第二极连接,极焊盘与第二极共用第二金属部,得到预制器件结构。该半导体器件能够改善因极测试焊盘设置在芯片边缘而导致的探针分布复杂的问题。
  • 一种半导体器件及其制备方法
  • [发明专利]一种沟槽MOS及其把沟槽MOS的体区接出的设计方法-CN201310208368.2在审
  • 黄泽军;李伟;李伟聪 - 深圳市锐骏半导体有限公司
  • 2013-05-30 - 2013-08-21 - H01L29/78
  • 本发明涉及一种沟槽MOS及其把沟槽MOS的体区接出的设计方法,包括接出金属板以及接出金属板下面的体区的设计,所述体区上设置沟槽、区、区接触孔、体区接触孔、栅极接触孔,区、体区接出面、栅极接触孔依次排布,区接触孔设置在区上,体区接触孔设置在体区接出面上;所述接出金属板划分为栅极金属板、金属板、体区电极金属板。设计步骤:缩小区的面积,形成新的区面,留出体接出面;确定体接出面积;在体接出面上增加体接触孔;在体接触孔上连接体接出金属板。本发明的提出,实现了对体单独施加电压,能实现电调效果。
  • 一种沟槽mos及其体区接出设计方法
  • [发明专利]半导体器件和半导体器件的制备方法-CN202210117144.X有效
  • 许建华;乐伶聪;杨天应 - 深圳市时代速信科技有限公司
  • 2022-02-08 - 2022-04-12 - H01L23/48
  • 本发明的实施例提供了一种半导体器件和半导体器件的制备方法,涉及半导体技术领域,该半导体器件包括衬底、半导体外延层、极、漏极、栅极和场板,场板的一端设置有第一欧姆金属,在半导体外延层上还形成有第一电阻区,由非金属构成,并具有导电性,第一欧姆金属极通过第一电阻区电学连接。相较于现有技术,本发明通过设置第一欧姆金属,第一欧姆金属极通过第一电阻区电学连接,从而实现了场板和极之间的电学连接,无需额外设置连接金属桥结构,避免了连接金属桥部分产生栅极‑极寄生电容,同时使得介质层覆盖能够更加完整
  • 半导体器件制备方法

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