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[发明专利]一种从干法回收料中提纯二氯二氢硅的方法-CN201210276462.7有效
发明人：姜利霞;严大洲;毋克力;肖荣晖;汤传斌;杨永亮 -专利权人：中国恩菲工程技术有限公司;洛阳中硅高科技有限公司
申请日： 2012-08-03 - 公布日： 2012-11-28 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明公开了一种从干法回收料中提纯二氯二氢硅的方法，包括以下步骤：a）将多晶硅生产工艺中的还原尾气经过干法回收得到干法回收料，将干法回收料送入第一干法精馏塔中进行精馏，从第一干法精馏塔的塔顶采出第一低沸物，并从第一干法精馏塔的塔底排出中间氯硅烷；b）将第一低沸物通入分离塔进行分离，以从分离塔的塔顶采集含硼杂质且从塔底采集二氯二氢硅；c)将中间氯硅烷送入第二干法精馏塔中进行精馏，从第二干法精馏塔的塔顶采集第二低沸物，从第二干法精馏塔的塔底排出四氯化硅。
一种回收提纯二氯二氢硅方法

[发明专利]制造用于热成型的干法成网的垫的方法-CN201980022678.0有效
发明人： D.迈耶斯;J.平诺宁;M.托恩布洛姆 -专利权人：斯道拉恩索公司
申请日： 2019-04-03 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： B27N1/00 文献下载
摘要：本发明涉及制造适合用于热成型的干法成网的垫的方法。本发明涉及干法成型工艺，其中，在干法成型方法中，在成型之前，纤维素纤维或木质纤维素纤维已经被交联剂浸渍但没有与交联剂交联。本发明还涉及根据所述方法制造的干法成网的垫，并且，涉及由这样的干法成网的垫制造的热成型的制品。
制造用于成型干法成网方法

[发明专利]一种陶瓷干压成型的制粉设备及生产方法-CN201610752581.3在审
发明人：徐平;游洪 -专利权人：佛山市陶泽新能源科技有限公司
申请日： 2016-08-29 - 公布日： 2017-01-18 - 主分类号： C04B35/626 文献下载
摘要：本发明公开了一种陶瓷干压成型的二次混粒制粉设备，包括湿法磨机、喷雾干燥塔、雾化干燥料仓；干法磨机、干法造粒机、干法造粒料仓，其特征在于在所述的雾化干燥料仓及干法造粒料仓与混料机相连接。该设备的生产方法的步骤1)陶瓷原料湿法碾磨；2)雾化干燥造粒；3)陶瓷原料干法碾磨；4)干法造粒；5)雾化干燥粉体与干法造粒粉体按比例混合；6)坯体干压成型。解决了陶瓷砖产品干燥、烧成收缩大、易变形缺陷，提高了产品质量；同时，干法制粉节能效果好，有利于原料集约化生产，具有显著的经济效益。
一种陶瓷成型制粉设备生产方法

[发明专利]一种船舶用干法脱硫剂和其制备方法及船舶干法脱硫工艺-CN201911187987.1在审
发明人：董红彭 -专利权人：董红彭
申请日： 2019-11-28 - 公布日： 2020-01-21 - 主分类号： B01D53/81 文献下载
摘要：一种船舶用干法脱硫剂和其制备方法及船舶干法脱硫工艺，属于船舶干法脱硫技术领域；本发明通过将一定比例的组分A和组分B进行混合，混合均匀后，加入组分A和组分B总量20‑60％的水进行混合，混合均匀后，进行挤条成型，将成型物在60‑120℃活化2‑12小时，然后在120‑200℃干燥2‑12小时得到船舶用干法脱硫剂；将船舶烟气从移动床干法脱硫反应器底部送入，船舶烟气在移动床干法脱硫反应器内由干法脱硫剂进行脱硫，脱硫后的船舶烟气再从移动床干法脱硫反应器上部进入烟囱或换热系统再次取热
船舶干法脱硫剂船舶烟气干法脱硫移动床反应器脱硫干法脱硫工艺干法脱硫技术反应器上部移动床工艺除尘功能换热系统挤条成型脱硫效率外界因素烟气系统重油燃烧成型物活化取热制备烟囱送入

[发明专利]一种基于半干法脱硫塔的废水烟气余热干燥系统及方法-CN202011248462.7在审
发明人：吴火强;强雪妮;毛进;连坤宙;胡阳阳;王璟;李文涛;张雯;刘亚鹏;高亚楠 -专利权人：西安西热水务环保有限公司
申请日： 2020-11-10 - 公布日： 2021-03-12 - 主分类号： C02F1/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于半干法脱硫塔的废水烟气余热干燥系统及方法，包括半干法脱硫塔、压缩空气母管及过滤后脱硫废水母管，其中，半干法脱硫塔包括半干法脱硫塔塔体以及设置于半干法脱硫塔塔体内的若干双流体雾化喷嘴，压缩空气母管与各双流体雾化喷嘴的压缩空气入口相连通，过滤后脱硫废水母管与各双流体雾化喷嘴的脱硫废水入口相连通，各双流体雾化喷嘴沿周向均匀分布，半干法脱硫塔塔体的底部设置有烟气入口，半干法脱硫塔塔体的顶部设置有烟气出口，该系统及方法基于半干法脱硫塔的烟道特点，能够充分利用空预器后烟气余热实现脱硫废水的完全蒸干，不会发生贴壁现象，具有投资改造费用低、运行费用低的特点。
一种基于半干法脱硫废水烟气余热干燥系统方法

[发明专利]一种脱硫废水余热干燥系统自动喷雾调控装置及方法-CN202011250181.5在审
发明人：吴火强;连坤宙;毛进;王璟;李文涛;胡特立;刘亚鹏;强雪妮;张雯;郭娉 -专利权人：西安西热水务环保有限公司
申请日： 2020-11-10 - 公布日： 2021-03-12 - 主分类号： B01D53/80 文献下载
摘要：本发明公开了一种脱硫废水余热干燥系统自动喷雾调控装置及方法，包括控制系统、半干法脱硫塔、设置于半干法脱硫塔内部的双流体雾化喷嘴、用于测量半干法脱硫塔进口烟气流量的进口烟气流量测量仪、用于测量半干法脱硫塔进口烟气温度的进口烟气温度测量仪、用于测量半干法脱硫塔进口烟气温度的进口烟气成分分析仪、用于测量半干法脱硫塔出口烟气温度的出口烟气温度测量仪、用于测量半干法脱硫塔进口脱硫废水流量的进水流量测量仪及用于调节半干法脱硫塔进口脱硫废水流量的废水进口控制阀
一种脱硫废水余热干燥系统自动喷雾调控装置方法

[发明专利]晶体管的形成方法-CN201310647735.9有效
发明人：韩秋华 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2013-12-04 - 公布日： 2018-09-07 - 主分类号： H01L21/8238 文献下载
摘要：本发明提供一种晶体管的形成方法，提供衬底并形成NMOS栅极结构、PMOS栅极结构，先通过对衬底干法刻蚀形成U形凹槽，再对所述U形凹槽进行湿法刻蚀，形成Σ形凹槽，接着在Σ形凹槽进行外延生长锗硅层以形成源区或漏区在干法刻蚀形成U形凹槽时，将干法刻蚀分成两步，先对所述衬底进行第一干法刻蚀，再对所述衬底进行第二干法刻蚀，第二干法刻蚀采用还原性气体作为刻蚀气体，能够将第一干法刻蚀产生的刻蚀附加产物去除，并且第二干法刻蚀产生的刻蚀附加产物非常少
干法刻蚀衬底形凹槽形貌湿法刻蚀晶体管刻蚀漏区源区还原性气体表面平整产物去除刻蚀气体外延生长锗硅层洁净

[发明专利]干法乙炔联产电石渣水泥工艺及装置-CN201210234315.3有效
发明人：郭庆人;张新力;吴彬;熊新阳;李朝阳 -专利权人：新疆天业(集团)有限公司
申请日： 2012-07-09 - 公布日： 2012-10-24 - 主分类号： C07C11/24 文献下载
摘要：本发明提供一种干法乙炔联产电石渣水泥工艺及装置，包括电石破碎系统、干法乙炔反应系统、水泥生产系统；由电石炉出来的液态电石通过重力作用送往密闭装置，密闭装置设置气流喷嘴，通入加压的二氧化碳击碎液态电石，经破碎的电石通过除铁、破碎、除铁工序，再次送往干法乙炔反应器，经过计量的小粒径电石落入干法乙炔反应器内，在干法乙炔反应器隔板二段位置处设置开口，加入风积沙或炉渣，在搅拌装置作用下风积沙或炉渣与电石渣一起由干法反应器出口排出干法乙炔反应系统，后送往水泥生产系统，解决现有技术中电石破碎成本高、干法乙炔工段电石反应不完全、电石资源被浪费、乙炔收率低、反应器容易堵塞、工艺复杂等问题。
乙炔联产电石水泥工艺装置

[实用新型]一种干法厌氧发酵耦合发电系统-CN201821331165.7有效
发明人：刘蔚;张廷军;傅国志;马宗虎 -专利权人：中国华电科工集团有限公司;华电中光新能源技术有限公司
申请日： 2018-08-17 - 公布日： 2019-09-13 - 主分类号： C12M1/107 文献下载
摘要：本实用新型属于厌氧发酵技术领域，公开了一种干法厌氧发酵耦合发电系统。该系统通过在壳体内设置若干用于放置待发酵物的干法厌氧发酵单元，并且在靠近干法厌氧发酵单元顶部在其上设置若干喷淋单元，通过喷淋单元向待发酵物喷淋液体，采用少量的水从而实现待发酵物的干法厌氧发酵；同时，通过设置液体发酵单元，该液体发酵单元分别与干法厌氧发酵单元中下部连通及喷淋单元连通，从而使干法厌氧发酵单元内的渗滤液进入液体发酵单元再发酵，并从液体发酵单元经喷淋单元喷淋至干法厌氧发酵单元内。上述干法厌氧发酵耦合发电系统能有效降低沼液沼渣产生量，提高厌氧发酵效果。同时，将沼气供给发电单元发电，将电供给加热装置，提高了能源利用率。
干法厌氧发酵喷淋液体发酵耦合发电系统发酵物厌氧发酵连通本实用新型能源利用率发电单元加热装置沼液沼渣渗滤液再发酵沼气体内发电

[发明专利]基于石墨烯的干法电池极片、电池及其制造方法-CN202010673472.9在审
发明人：张耀法;王磊;王娟;张国兴;赖中平 -专利权人：南京鼎腾石墨烯研究院有限公司
申请日： 2020-07-14 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： H01M4/62 文献下载
摘要：本申请提供一种基于石墨烯的干法电池极片、电池及其制造方法。在无溶剂条件下将石墨烯粉体、电极活性材料、导电剂以及多氟树脂粘结剂均匀混合成为混合物，所述混合物再通过捏合及辊压制成柔韧的干法电极极片膜,所述干法电极极片膜不需要集流体支撑可直接制成干法电池极片(或电池电芯)；本申请进一步包含结合了所述干法电极极片膜和集流体的干法电池极片。本申请基于石墨烯的干法电池极片、电池及其制造方法没有用到任何溶剂，对环境友好并且避免对工作人员产生潜在危害。
基于石墨电池及其制造方法

[实用新型]一种高炉煤气干法静电除尘装置-CN201320428812.7有效
发明人：贾彩清;马作仿;陈乐 -专利权人：中冶赛迪工程技术股份有限公司
申请日： 2013-07-18 - 公布日： 2013-12-25 - 主分类号： C21B5/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高炉煤气干法静电除尘装置，包括干法粗除尘装置及布置在该装置之后的干法精除尘装置，关键在于：所述干法精除尘装置包括两个以上并联布置的静电除尘单元，每个静电除尘单元包括两个以上串联布置的干法静电除尘器所述静电除尘单元中的第一个干法静电除尘器和最后一个干法静电除尘器上均并联有旁通管。本实用新型中每个静电除尘单元包括两个以上串联布置的干法静电除尘器，每个单元至少有一个静电除尘器的收尘富裕能力，即便其中某干法静电除尘器故障，其余除尘器任然可以满足该单元内高炉煤气精除尘要求，保证出口净煤气的净化质量
一种高炉煤气静电除尘装置

[发明专利]一种干法熄焦系统-CN201310577013.0无效
发明人：孙胜强;黄兵 -专利权人：孙胜强;黄兵
申请日： 2013-11-14 - 公布日： 2014-02-26 - 主分类号： C10B39/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种干法熄焦系统，它包括干熄焦仓、轨道及其上面行驶的湿焦车，熄焦仓位于轨道旁，所述熄焦仓下置，熄焦仓的上部靠轨道一侧的侧壁上开有装焦口，轨道与熄焦仓之间设有通向开口的溜装焦槽；溜装焦槽靠轨道的一端高与现有技术相比，本发明可免去焦罐车、焦罐检修站、提升机、横移牵引装置和辅助的迁车台，简化工艺，大大了降低设备成本。
一种干法熄焦系统

[发明专利]清洗机台以及清洗方法-CN202010982723.1在审
发明人：郗宁 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2020-09-17 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种清洗机台以及清洗方法，其中，清洗机台包括：湿法清洗模块，用于对晶圆执行湿法清洗工艺；干法清洗模块，用于对晶圆执行干法清洗工艺；输送模块，用于将晶圆输入至湿法清洗模块或干法清洗模块中，或用于将湿法清洗模块或干法清洗模块中的晶圆输出；传送模块，用于将晶圆从湿法清洗模块传送至干法清洗模块，或用于将晶圆从干法清洗模块传送至湿法清洗模块；处理模块，用于抽取传送模块中的气体；本发明实施例提高填充刻蚀缺陷形成的半导体结构的稳定性
清洗机台以及方法

[发明专利]干法电极片及其制备方法、钠离子电池-CN202310595606.3在审
发明人：陈以蒙;江柯成;钟应声;蒋绮雯;王翔翔;董丰恺;司煜 -专利权人：江苏正力新能电池技术有限公司
申请日： 2023-05-25 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： H01M4/13 文献下载
摘要：本发明公开了干法电极片及其制备方法、钠离子电池，干法电极片包括集流体以及设置于集流体至少一表面的正极活性材料层，正极活性材料层包括正极材料、羧基改性的导电剂和导电粘结剂，正极材料、羧基改性的导电剂和导电粘结剂的质量比为本发明公开的干法电极片，电解液浸润性良好，干法电极片与电解液的接触角为35°～42°，干法电极片的膜片电阻为5～7Ω，从而使包含该干法电极片的钠离子电池具有良好的倍率性能。
电极及其制备方法钠离子电池

[发明专利]金属硅化物阻挡结构形成方法-CN201019063033.X有效
发明人：石小兵;奚裴 -专利权人：上海宏力半导体制造有限公司
申请日： 2010-02-05 - 公布日： 2010-09-15 - 主分类号： H01L21/311 文献下载
摘要：本发明揭露了一种金属硅化物阻挡结构形成方法，该方法包括：提供半导体衬底；在所述半导体衬底上依次形成阻挡层以及图形化光阻层；执行第一干法蚀刻工艺；执行第二干法蚀刻工艺，所述第二干法蚀刻工艺的功率小于所述第一干法蚀刻工艺的功率本发明增加了第二干法蚀刻的步骤，该第二干法蚀刻步骤的蚀刻速率相对较低，可使蚀刻结果均匀一致，提高了半导体器件的性能。
金属硅阻挡结构形成方法