专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]干法刻蚀损伤的修复方法及栅极的制备方法-CN202310578402.9在审
  • 张立星;郁发新;莫炯炯;吕贝贝 - 浙江大学
  • 2023-05-22 - 2023-08-18 - H01L21/335
  • 本发明提供一种干法刻蚀损伤的修复方法及栅极的制备方法,本发明将具有栅极干法刻蚀损伤的氮化镓外延衬底先通过湿法腐蚀降低干法刻蚀物理轰击造成的表面粗糙度和表面粗糙引起的表面缺陷,再通过表面离子处理来修复干法刻蚀对氮化镓外延层造成的晶格缺陷,本发明能大幅度减小因干法刻蚀造成的缺陷密度和表面粗糙度的影响,并通过原子力显微镜图和测量肖特基电容得到了验证,解决了现有技术中栅极形貌差和刻蚀工艺窗口小的问题,本发明操作简单,成本低廉,便于本发明的推广
  • 刻蚀损伤修复方法栅极制备
  • [发明专利]集合式干法制绒装置及生产线-CN201710204649.9有效
  • 上官泉元;谭兴波;杨虎;李妙 - 江西比太科技有限公司
  • 2017-03-30 - 2019-07-19 - H01L31/18
  • 本发明提供了一种集合式干法制绒装置,包括前清洗机构、后清洗机构、自动化上下料机构和RIE干法制绒机;前清洗机构与自动化上下料机构的进料端连接;后清洗机构与自动化上下料机构的出料端连接;RIE干法制绒机与自动化上下料机构连接本发明将前清洗,干法制绒,后清洗整合到一台设备上,中间用自动化硅片上下料和传输,实现自动化,降低生产成本。在此基础上,本发明还提供了一种采用该集合式干法制绒装置的生产线。
  • 集合法制装置生产线
  • [发明专利]常压混砂准干法压裂方法、所用压裂液、制备方法及应用-CN201811596231.8有效
  • 郑焰;白小丹;罗于建 - 北京爱普聚合科技有限公司
  • 2018-12-25 - 2022-03-22 - C09K8/68
  • 一种常压混砂准干法压裂方法、所用压裂液、制备方法及应用,该常压混砂准干法压裂方法,是指利用水基压裂液增稠剂体系材料增稠后的水基压裂液,同时携带二氧化碳干法压裂液增稠剂体系材料,再进行常压混砂,然后按设计比例与二氧化碳干法压裂液中的液体二氧化碳结合,液体CO2增稠后两相协同作用,形成具有足够粘度和结构的混合液相,成为常压混砂准干法压裂液,进行减阻携砂一体化压裂施工。本发明的常压混砂准干法压裂方法和常压混砂准干法压裂液,无需专用密闭混砂设备,常压混砂,配制方便;减阻携砂一体化应用,同时配制减阻液和携砂液;低伤害甚至无伤害,有利于储层保护;增产效果优异,性价比高。
  • 常压混砂准干法压裂方法所用压裂液制备应用

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