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[发明专利]干燥装置、干燥方法、清洗干燥系统及清洗干燥方法-CN202011024121.1有效
发明人：刘峻 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2020-09-25 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： F26B5/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种干燥装置、干燥方法、清洗干燥系统及清洗干燥方法。该干燥装置用于对通过刻蚀形成有深孔的晶圆进行干燥，包括：腔室，设置于对晶圆进行刻蚀的刻蚀腔体内；旋转吸盘，以吸附面朝下的方式倒置于腔室内，设置成能绕转轴旋转；电源，连接至旋转吸盘，向旋转吸盘供电；及底座该干燥装置直接在晶圆的刻蚀腔体内利用倒置的旋转吸盘使晶圆的深孔中的水分受到重力和离心力的双重作用而脱离，提高了对晶圆干燥的效率和可靠性。
干燥装置方法清洗系统

[发明专利]干燥机自动干燥装置及干燥方法-CN201610324208.8在审
发明人：林荣郎 -专利权人：三久股份有限公司
申请日： 2016-05-16 - 公布日： 2017-11-24 - 主分类号： F26B17/12 文献下载
摘要：一种干燥机自动干燥装置及干燥方法，自动干燥装置设有一个机体、至少两个干燥段及一个侦测模块，侦测模块设有两个水分计、两个温度传感器、一个回转单元及一个处理单元，对各干燥段设定温度值及水分值，将待干燥谷物输送至各干燥段中干燥，侦测各干燥段的温度值及水分值，将侦测到的温度值及水分值传送至处理单元，当侦测到的水分值与设定的水分值不同时，调整干燥段的温度，并计算待干燥谷物整体的降水速度，由处理单元传送讯号至回转单元调整运转速度，藉以提供能多段侦测、减少重复干燥及节省成本的干燥机自动干燥装置。
干燥机自动干燥装置方法

[发明专利]减压干燥装置、减压干燥系统、减压干燥方法-CN201710466710.7有效
发明人：芳川典生;水野博喜;时枝大佐 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2017-06-19 - 公布日： 2021-03-12 - 主分类号： B05D3/04 文献下载
摘要：本发明提供减压干燥装置、减压干燥系统、减压干燥方法。减压干燥装置包括：支撑部，对涂布有膜的基板进行支撑；基板收容部，包含可连接分离的第1覆盖部及第2覆盖部，将支撑于支撑部的基板收容于第1覆盖部与第2覆盖部之间的处理空间；连接分离驱动部，通过使第1覆盖部与第2覆盖部接触而封闭处理空间，另一方面，通过使第1覆盖部与第2覆盖部分离而打开处理空间；减压机构，通过使经封闭的处理空间减压，而使涂布于基板上的膜干燥；以及排气机构，配置在基板收容部的外侧，从分离的第1覆盖部及第
减压干燥装置系统方法

[实用新型]干燥盒及具有干燥盒的干燥装置-CN202220423471.3有效
发明人：王君炜;毛华会 -专利权人：杭州听工场科技有限公司
申请日： 2022-02-28 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： F26B9/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种干燥盒及具有干燥盒的干燥装置。干燥盒包括外壳及发热组件。外壳具有收容腔，收容腔内收容有干燥剂。外壳还设有与收容腔连通的气孔，发热组件用于对干燥剂进行加热，使干燥剂中的水分蒸发后从气孔排出至外壳的外部。需要对干燥剂进行干燥处理时，启动发热组件，发热组件产生热量，并将热量传递给干燥剂，以对吸收过潮气的干燥剂进行加热。在加热的过程中，吸收过潮气的干燥剂内部的水分蒸发成水汽，水汽从气孔内排出至外壳外。如此，便可将吸收潮气的干燥剂还原为干燥且可用的干燥剂，实现干燥盒循环使用，增加干燥盒的使用寿命，使得干燥盒的使用更环保。
干燥具有装置

[发明专利]干燥器、干燥方法和干燥设备-CN200480031850.2有效
发明人： D·威尔逊 -专利权人：玛丁莱克德里有限公司
申请日： 2004-09-24 - 公布日： 2006-12-06 - 主分类号： F26B17/12 文献下载
摘要：本发明提供一种用于干燥颗粒物质的干燥器，其包括至少一个基本上竖直的长形容器，该容器具有用于接收含颗粒物质的潮湿进料的上进口(56a，56b)；用于排放干燥的颗粒物质的下出口(22)，由此所述颗粒物质在重力作用下从所述进口移动到所述出口；至少一个基本上竖直的气体可透壁(20a，20b)，干燥气体可穿过所述壁与所述颗粒物质接触；所述干燥器还包括至少一个在所述至少一个气体可透壁外表面上且覆盖所述至少一个气体可透壁内的入口孔(38a)和出口孔的风室
干燥器干燥方法干燥设备

[发明专利]热泵型干燥装置、干燥装置及干燥方法-CN200480006675.1有效
发明人：田村朋一郎;药丸雄一;西胁文俊 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2004-09-24 - 公布日： 2006-04-12 - 主分类号： F26B21/08 文献下载
摘要：一种具有热泵的干燥装置，该热泵包括压缩机(31)、散热器(32)、节流装置(33)和蒸发器(34)，该干燥装置还包括这样一种结构，在该结构中由散热器(32)热量加热的干燥空气被引导给要被干燥的对象(37)，并且该干燥空气由蒸发器进行除湿。该干燥装置还包括：旁通回路(39)，被散热器(32)加热的干燥空气的一部分通过该旁通回路流到蒸发器(34)的入口而没有与对象接触；检测热泵装置过热度的过热度检测装置(43，44)；以及利用过热度检测装置
热泵型干燥装置方法

[发明专利]干燥方法以及干燥装置-CN201811073573.1在审
发明人：陆井秀晃 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2018-09-14 - 公布日： 2019-04-02 - 主分类号： B05D3/02 文献下载
摘要：本发明提供一种干燥方法的，其目的在于，有效地干燥形成在基材上的含有活性物质、溶剂以及粘结剂的薄膜的同时，抑制该薄膜中的粘结剂的熔化。该干燥方法包括：照射步骤，向薄膜照射具有薄膜中的溶剂的吸收率最大的波长区域的远红外线，该薄膜含有活性物质、溶剂以及粘结剂并形成在基材上；冷却步骤，与照射步骤并行地对薄膜进行冷却，以使其的温度低于使粘结剂熔化的温度因此，能够控制该薄膜中的粘结剂的熔化的同时，有效地干燥该薄膜。
薄膜粘结剂溶剂熔化照射活性物质有效地基材吸收率粘结剂熔化波长区域干燥装置冷却步骤远红外线并行冷却

[发明专利]干燥系统以及干燥方法-CN201210058357.6在审
发明人：帆山克明;野龙平;饭田收 -专利权人：株式会社川田
申请日： 2012-03-03 - 公布日： 2012-09-05 - 主分类号： B29B13/06 文献下载
摘要：本发明提供一种能够防止在成型机内因加热而造成粉粒体变质，并能够抑制成型品变黄的干燥系统以及干燥方法。将进行干燥后的粉粒体提供给成型机(2)的干燥系统(1)，设置具有贮存粉粒体的第1贮存料斗(13)的第1干燥部(3)、具有比第1贮存料斗(13)容积小，设置在成型机(2)上的第2贮存料斗(33)的第2干燥部、以及连接于第1贮存料斗(13)与第2贮存料斗(33)，将粉粒体从第1贮存料斗(13)向第2贮存料斗(33)输送的输送管线(51)，在第1贮存料斗(13)内以第1温度将粉粒体进行干燥后，在第2贮存料斗(33)内进行氮气置换的同时以高于第1温度的第2温度进行干燥，然后凭借自重从第2贮存料斗(33)落入成型机(2)。
干燥系统以及方法

[发明专利]干燥装置以及干燥系统-CN201510266460.3在审
发明人：筑井良治;今西智幸;入山守生;小野诚;须山晃延;三浦永次 -专利权人：水翼株式会社
申请日： 2015-05-22 - 公布日： 2016-01-27 - 主分类号： F26B17/20 文献下载
摘要：本发明提供一种干燥装置以及干燥系统。在具备多个搅拌输送机构的干燥装置中，通过搅拌以及输送来减轻或防止被干燥物在与搅拌输送机构的输送方向垂直的方向上偏倚。一边搅拌和输送被干燥物一边使其干燥的干燥装置(10)具备：多个搅拌输送机构(20)，其通过使搅拌轴(21)旋转来搅拌、输送被干燥物；和分隔板(51)，其设置在多个搅拌输送机构(20)之间，用于限制被干燥物从一个搅拌输送机构
干燥装置以及系统

[发明专利]干燥装置及干燥方法-CN201910547654.9在审
发明人：宋媛媛 -专利权人：深圳市华星光电技术有限公司
申请日： 2019-06-24 - 公布日： 2019-10-18 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本揭示提供一种干燥装置，包括：箱体、冷凝板、第一抽气组件、托板以及第二抽气组件，箱体内设置有干燥腔，冷凝板设置在所述干燥腔内，冷凝板的表面设置为弧形面，第一抽气组件设置在冷凝板的顶部，并连通到箱体的外部，托板设置在冷凝板下，且托板的长度小于冷凝板的长度，第二抽气组件设置在箱体的底部上，干燥时，多余的溶剂聚集在冷凝板上并沿着弧面流入冷凝板的四周端部，从而避免了污染薄膜，保证干燥效果。
冷凝板抽气组件托板干燥装置干燥腔表面设置干燥效果污染薄膜弧形面弧面溶剂连通外部保证

[发明专利]干燥装置和干燥系统-CN201811388701.1在审
发明人：筑井良治;有城典男;三浦永次;入山守生 -专利权人：水翼株式会社
申请日： 2018-11-21 - 公布日： 2019-08-06 - 主分类号： C02F11/13 文献下载
摘要：一种干燥装置(10)，其一边搅拌和运送被干燥物一边使其干燥，其采用1轴1驱动方式的结构，该结构具备：通过旋转来搅拌、运送被干燥物的多个搅拌轴(21)；和针对多个搅拌轴(21)的每一个而设置，且使对应的搅拌轴
搅拌轴被干燥物干燥装置运送干燥系统驱动方式驱动装置正交轴减小连结

[发明专利]干燥装置和干燥方法-CN201910961928.9在审
发明人：王寿权;尹凤交;柴本银;史勇春;王宏耀;蒋斌 -专利权人：山东天力能源股份有限公司
申请日： 2019-10-09 - 公布日： 2020-01-10 - 主分类号： A23N12/08 文献下载
摘要：本发明提供一种干燥装置和干燥方法，涉及农副产品加工领域。该干燥装置包括连续的多级干燥单元，每级干燥单元均包括干燥室和加热模块，加热模块用于使干燥室维持设定温度。在任意相邻两级干燥单元中，后一级干燥单元的加热模块产生的温度值低于前一级干燥单元的加热模块产生的温度值。该干燥方法包括：S1：在具有设定温度的干燥室内，对物料进行干燥；S2：将物料输送到温度更低的下一级干燥室，对物料进行干燥；S3：重复S2步骤。本发明缓解了现有技术中存在的热风干燥过程采用一个合适的干燥温度持续干燥果蔬，会在干燥后期导致果蔬本体升温较高，营养损失较多的技术问题。
加热模块干燥单元干燥装置干燥室农副产品加工热风干燥过程一级干燥室多级干燥干燥后期两级干燥物料输送营养损失干燥果后一级前一级果蔬室内缓解重复

[发明专利]干燥装置和干燥系统-CN201980059514.5在审
发明人： A·特劳特;M·潘策尔 -专利权人：曼·胡默尔有限公司
申请日： 2019-08-16 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： B01D17/02 文献下载
摘要：本发明涉及干燥装置（10a），用于从流体中去除水，所述流体特别是油，并且所述干燥装置（10a）包括至少两个干燥器模块（12a至12d），所述至少两个干燥器模块（12a至12d）包含干燥剂，并且铰接地互连，与第一干燥器模块（12a）相比，最后的干燥器模块（12d）具有至少两个旋转自由度。本发明进一步涉及包括干燥装置的干燥系统。
干燥装置系统

[发明专利]干燥装置及干燥方法-CN202111093055.8在审
发明人：鲁承旭 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2021-09-17 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： F26B13/10 文献下载
摘要：本发明提供一种干燥装置及干燥方法。干燥装置可包括：载物台，用于支撑基板，并且包括对所述基板进行加热的多个加热块；以及干燥上板，设置在所述载物台的上部，并且包括在多个位置检测从所述基板产生的溶剂蒸气(solvent vapor)的浓度的多个溶剂传感器
干燥装置方法

[发明专利]干燥装置及其干燥方法-CN202211731255.6在审
发明人：袁宁宁;于理斐;詹欣璋;朱婉荟;邓菲;李文瀚;谢鹏波 -专利权人：广州工程技术职业学院
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： F26B23/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种干燥装置及其干燥方法，干燥装置包括基座、调节座；所述基座具有风干槽、进气口、出气口，所述调节座具有输料通道；所述调节座滑设安装在所述基座上，所述输料通道具有进料口，所述进料口位于所述风干槽内并与所述风干槽连通所述调节座具有调节端，所述调节座的所述调节端位于所述风干槽内并与所述风干槽的内壁共同围合形成喷气通道，所述进气口、所述喷气通道、所述出气口依次连通，所述喷气通道位于所述调节座的所述调节端的移动路径上，本发明的干燥装置能耗低
干燥装置及其方法

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