[发明专利]半导体结构及其制作方法有效
申请号: | 202110442616.4 | 申请日: | 2021-04-23 |
公开(公告)号: | CN113161319B | 公开(公告)日: | 2022-03-22 |
发明(设计)人: | 张丽霞;刘杰;应战 | 申请(专利权)人: | 长鑫存储技术有限公司 |
主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H01L21/48;H01L21/60 |
代理公司: | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人: | 成丽杰 |
地址: | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明实施例提供一种半导体结构及其制作方法,包括:基底;第一器件,位于基底上;第一接合柱,位于第一器件外周的基底上,且与基底电连接;引线,引线的一端与第一器件电连接形成第一键合点,引线的另一端与第一接合柱电连接形成第二键合点,在基底指向第一器件的方向上,第二键合点不低于第一键合点。本发明实施例有利于降低第一键合点和第二键合点开裂的的概率,以提高半导体结构的稳定性。 | ||
搜索关键词: | 半导体 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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