[发明专利]一种含有钛杂质中间带的晶体硅材料及其制备方法在审

申请号：	201910870581.7	申请日：	2019-09-16
公开（公告）号：	CN110797433A	公开（公告）日：	2020-02-14
发明（设计）人：	王新涛	申请（专利权）人：	安徽若水化工有限公司
主分类号：	H01L31/18	分类号：	H01L31/18;H01L31/0288
代理公司：	暂无信息	代理人：	暂无信息
地址：	233000 安徽***	国省代码：	安徽;34
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摘要：	本发明公开了硅材料技术领域的一种含有钛杂质中间带的晶体硅材料的其制备方法，如下步骤，硅片准备，选取硅片，将硅片进行裁剪成所使用硅片正常大小，硅片清洗，先用双氧水和浓硫酸的混合溶液超声清洗基片10～20min，再用去离子水清洗，然后再把基片先后放入丙酮溶液、乙醇溶液和去离子水中超声10～20min，清洗结束后将基片置于烘箱干燥待用，钛薄膜的制备，在准备好的硅片表面制备生成含有钛薄膜的硅片，将带有钛薄膜的硅片用激光辐照，采用YAG，Nd一维线型连续激光，激光器的电流为20～30A，提高基片表面活性，从而增加钛薄膜薄膜与硅片的结合力，使得氮化钛薄膜表面颗粒增加的现象得到明显控制，大大提高晶体硅的整体性能。
搜索关键词：	硅片钛薄膜制备清洗双氧水氮化钛薄膜晶体硅材料表面颗粒丙酮溶液超声清洗硅片表面硅片清洗烘箱干燥混合溶液基片表面激光辐照连续激光去离子水乙醇溶液激光器硅材料结合力晶体硅浓硫酸中间带钛杂质裁剪超声放入水中薄膜离子
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【主权项】：

1.一种含有钛杂质中间带的晶体硅材料的其制备方法，其特征在于：如下步骤：/n硅片准备：选取硅片，将硅片进行裁剪成所使用硅片正常大小；/n硅片清洗：先用双氧水和浓硫酸的混合溶液超声清洗基片10～20min，再用去离子水清洗，然后再把基片先后放入丙酮溶液、乙醇溶液和去离子水中超声10～20min，清洗结束后将基片置于烘箱干燥待用；/n钛薄膜的制备：在准备好的硅片表面制备生成含有钛薄膜的硅片；/n将带有钛薄膜的硅片用激光辐照：采用YAG：Nd一维线型连续激光，激光器的电流为20～30A，扫描速率为3～10mm/s；/n脱离硅片表面钛薄膜中的氟离子：用第一等离子体对覆盖在半导体器件上氮化钛薄膜进行处理，将扩散于所述氮化钛薄膜内部的氟离子脱离；/n钝化硅片表面钛薄膜：用第二等离子体对所述氮化钛薄膜进行处理，将所述氮化钛薄膜进行表面钝化处理；/n退火处理：退火处理的温度为400～800℃，退火处理的时间可为10～30min。/n

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摘要：本发明公开了硅材料技术领域的一种含有钛杂质中间带的晶体硅材料的其制备方法，如下步骤，硅片准备，选取硅片，将硅片进行裁剪成所使用硅片正常大小，硅片清洗，先用双氧水和浓硫酸的混合溶液超声清洗基片10～20min，再用去离子水清洗，然后再把基片先后放入丙酮溶液、乙醇溶液和去离子水中超声10～20min，清洗结束后将基片置于烘箱干燥待用，钛薄膜的制备，在准备好的硅片表面制备生成含有钛薄膜的硅片，将带有钛薄膜的硅片用激光辐照，采用YAG，Nd一维线型连续激光，激光器的电流为20～30A，提高基片表面活性，从而增加钛薄膜薄膜与硅片的结合力，使得氮化钛薄膜表面颗粒增加的现象得到明显控制，大大提高晶体硅的整体性能。

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申请日： 2017-09-01 - 公布日： 2020-02-14 - 主分类号： H01L31/18
摘要：本发明公开了一种制备太阳能电池的扩散工艺，在不同压力状态下多次扩散，以制备多层PN结结构。通过控制压力的变化进行多次扩散，可以控制掺杂元素的掺杂浓度，制备多层PN结结构，该扩散工艺既可以增加PN结内建电场强度，提高开路电压，多层PN结结构的表层N++区或P++区还可以和正银栅线间形成很好的欧姆接触，从而提升电池转换效率。通过控制压力的方法制备多层PN结结构，可以避免扩散温度过高，从而避免掺杂元素的掺杂量过多、结深过深、硅片损坏等问题，提高太阳能电池的转换效率及质量。

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叠瓦总装线-201920374626.7
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摘要：本实用新型公开了一种叠瓦总装线，其包括机架及分别设置在该机架上的上料输送机构、上料机械手、拆片机构、分片机构、分拣机械手、叠片吸附机械手、真空吸附传送带、第一真空吸附递进传送机构、第二真空吸附递进传送机构、转移机械手、硅片烘干箱和下料输送机构，通过拆片机构太阳能硅片分段拆分成多片子硅片，以方便挑选出具有缺陷的子硅片，接着通过叠片吸附机械手对其它子硅片进行叠片串联出所需功率大小的硅片模组，以满足不同的使用需求，然后送入送入硅片烘干箱进行烘干，整个操作流程易于实现，有效确保产品质量，避免不必要浪费，节省成本。

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摘要：本实用新型公开了一种自动化多晶硅太阳能电池板制作机，包括水平设置在的工作台以及悬置在工作台上方的支架，输送架位于横梁的一端，另一端设有压框机构，输送架的相对两侧壁上设有一对为多晶硅太阳能电池板组件相对两侧壁进行上胶的点胶枪，点胶枪与固定在横梁上并用于盛放胶水的储存筒连接，横梁上滑移设有负压吸盘，负压吸盘沿横梁能够由输送架向压框机构移动，横梁上设有一对涂胶机构，涂胶机构能够在多晶硅太阳能电池板组件跟随负压吸盘横移中对多晶硅太阳能电池板组件另外两侧壁进行上胶，与现有技术相比，本实用新型达到自动化加工，改变现有人工点胶以及装框的方式，提高多晶硅太阳能电池板制作效率，并且提升产品质量。

树脂板高频分离装置-201920809042.8
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申请日： 2019-05-31 - 公布日： 2020-02-14 - 主分类号： H01L31/18
摘要：本实用新型公开了一种树脂板高频分离装置，包括机身、输送部、高频分离部、下料部和水循环部，机身上安装高频分离部，输送部的一端上部设有高频分离部，输送部的另一端上部设有下料部，水循环部包括出水喷头、水泵和蓄水箱，蓄水箱设置在机身的底部，水泵连接出水喷头与蓄水箱，出水喷头设于高频分离部的上方。本实用新型提供了一种工艺创新、减少脱胶时间、具有收树脂板收集功能、效率高以及节约能耗的树脂板高频分离装置。

一种大腔室层压机可调式上箱结构-201921096925.5
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申请日： 2019-07-12 - 公布日： 2020-02-14 - 主分类号： H01L31/18
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申请日： 2019-07-22 - 公布日： 2020-02-14 - 主分类号： H01L31/18
摘要：本实用新型涉及硅胶板防护技术领域，且公开了一种太阳能层压机硅胶板防护装置，包括右固定件，所述右固定板的左侧分别活动连接有上固定板与下固定板，所述上固定板的左侧活动连接有左固定板，所述右固定板的顶部分别活动连接有第二固定件与右固定件，所述上固定板的顶部活动连接有第三固定件，右固定件与上固定件分别从右固定板与上固定板脱离，这样就可达到取出硅胶板非常方便，该太阳能层压机硅胶板防护装置，通过将第一螺栓、第二螺栓、第三螺栓与第四螺栓分别从第一槽孔与第二槽孔中取出，上固定板与第一固定板脱离，可以将硅胶板放到两层固定板之间，这样就可达到硅胶板边缘不受损坏，延长硅胶板使用寿命。

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摘要：本实用新型公开了一种全自动插片机座架垂直移动机构，包括固定架，所述固定架通过螺栓固定安装在机架的外侧，所述固定架的上端固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出轴朝下，所述底板的上端面通过连接杆固定安装有顶板，所述顶板的上端面固定安装有气缸。该全自动插片机座架垂直移动机构，通过丝杆进行传动，上升距离控制更加精准，且两个连接块能够有效的防止单个连接块出现损坏的时候，不能正常工作，通过在硅片架下端面设置的定位柱与升降座上端面的定位孔相互配合，使得硅片架在摆放过程中更加精准，在插片过程中，通过设置的四个气缸对硅片架进行稳定夹持，防止硅片架出现晃动和倒塌的现象，便于使用。

一种全自动光伏组件排版微调装置-201921344021.X
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申请日： 2019-08-19 - 公布日： 2020-02-14 - 主分类号： H01L31/18
摘要：一种全自动光伏组件排版微调装置，包括顶升气缸和摄像头，顶升气缸与微调装置相互固定连接，其整体侧边均设有摄像头，横板两侧底部设有吸盘，侧表面一边对称设有固定块，固定架外侧表面位于固定块方向对称设有固定板，固定板侧表面设有纵向滑轨，纵向滑轨上分别设有第一滑动块和第二滑动块，固定架两侧分别设有第一伸缩电机和第二伸缩电机，固定架外侧表面设有横向滑轨和第三伸缩电机，第三伸缩电机端部与滑动板相互固定连接；本申请能够取代人工操作，完成光伏组件的自动排版微调，节约人力成本；该装置可直接与现有组件生产线对接，提高理串效率从而优化了整线节拍，集机器视觉定位与伺服控制于一身，保证了系统的精度和排版效果的稳定性。

一种电注入机台-201921353577.5
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摘要：本实用新型公开了一种电注入机台，其属于光伏技术领域；所述电注入机台内设有用于放置硅片的工作腔，所述电注入机台还包括：上加热装置，设于所述工作腔的顶部；下加热装置，设于所述工作腔的底部；冷却风进气装置,设于所述电注入机台的侧面，用于对所述工作腔进行冷却。本实用新型提出的电注入机台，在工作腔的顶部设置上加热装置，在工作腔的底部设置下加热装置，当硅片叠置在工作腔后，上加热装置和下加热装置同时对硅片进行加热，加热速度快；在电注入机台的侧面设置冷却风进气装置，由冷却风进气装置输送冷却气进入到工作腔内，对工作腔进行降温，防止因长时间工作后工作腔内的温度过高，影响电注入机台的正常工作。

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申请日： 2019-08-26 - 公布日： 2020-02-14 - 主分类号： H01L31/18
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摘要：本发明公开了一种降低太阳能电池组件光致衰减缺陷的方法，包括将完成串焊工序的太阳能电池组件放置在温度为150℃‑300℃，光照强度20KW/㎡‑80KW/㎡的设备腔体中照射5s‑30s。本发明通过将串焊工艺后的太阳能电池片放置在特定的温度、光照条件下照射，通过激发电池片中的氢原子钝化硼氧(B‑O)复合体缺陷，从而消除复合中心，使得电池片光电转化效率得到恢复或提升。

一种太阳能硅片导置交换的方法及装置-201911076834.X
发明人：刘晓阳;邱长伍;缪寿洪;金东海 -专利权人：上海焕巍智能科技有限公司
申请日： 2019-11-06 - 公布日： 2020-02-11 - 主分类号： H01L31/18
摘要：本发明提供一种太阳能硅片导置交换的方法及装置，属于自动化设备技术领域。本发明包括以下步骤：存储生片的花篮输送至花篮上下料工位，由花篮上下料机械手将生片放入中转机构生片暂存区域；中转机构上游为熟片暂存区域下游为生片暂存区域；装载熟片的石英舟到达熟片下料工位时，由上下料机械手将熟片自石英舟抓取至中转机构熟片暂存区域；空石英舟进给至生片上料工位，由上下料机械手自中转机构生片暂存区域抓取生片至石英舟内；中转机构上的熟片由上下料机械手自中转机构上抓取并放入花篮，本发明流程简洁，方便了机械结构的设计，简化了动作流程，在实际生产中也便于调试和维护，在硅片取放过程中，抓手不空跑，进一步节省了时间，提高了效率。

APD阵列器件的制作方法-201911106459.9
发明人：谷顺虎;曾武贤;景媛媛 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十四研究所
申请日： 2019-11-13 - 公布日： 2020-02-11 - 主分类号： H01L31/18
摘要：本发明公开了一种APD阵列器件的制作方法，包括以下步骤：先将APD硅片分割成单个的APD芯片；然后根据雷达设备激光阵列器件中激光器之间的间距，计算出APD芯片之间的间距，从而确定每个APD芯片在管壳上的安装位置；在管壳上设置大焊盘、小焊盘及布线，将APD芯片粘接固定在大焊盘上；将APD芯片的正面焊点通过引线与管壳外部的引脚连接，形成APD阵列器件的输入和输出端；最后对APD阵列器件进行围坝灌封。本发明中，通过预先确定APD芯片的位置，使APD芯片的位置与激光器一一对应，在组装时进行一次雷达激光对位调试即可使所有APD芯片均精确对齐；激光对位调试快捷，制作成本低，实用性强。

用于光伏结的硒化铜铟镓上的六方相外延硫化镉-201610319278.4
发明人：贺小庆;安格斯·罗基特;乔尔·瓦利;文森索·洛尔迪;尼尔·麦凯;乔迪·扎帕拉克;张伟杰;约翰·科森 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司;贺小庆;安格斯·罗基特;乔尔·瓦利;文森索·洛尔迪
申请日： 2016-05-12 - 公布日： 2020-02-11 - 主分类号： H01L31/18
摘要：一种制造光伏结构的方法包括在第一电极上方形成含有基于硒化铜铟镓的材料的p型半导体吸收体层，通过在包括氢气和氧气的环境中溅射来在所述p型半导体吸收体层上方形成n型硫化镉层，以及在所述硫化镉层上方形成第二电极。

一种硅片的确定方法及装置-201711485367.7
发明人：吴华德;熊光涌 -专利权人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司
申请日： 2017-12-30 - 公布日： 2020-02-11 - 主分类号： H01L31/18
摘要：本发明公开了一种硅片的确定方法及装置，该方法根据各个硅片的各个位置编码与硅片制备的电池片的光衰值、以及各个位置编码与硅片电阻率的对应关系，获得电阻率与光衰值的对应关系，并由电阻率与光衰值的对应关系，确定出硅片制备的电池片为光衰较低的电池片。从而能够降低硅片之间的差异，减少电池片的光衰波动，扩大工艺窗口，进而提高电池片的产能和良率，降低电池片的成本。

太阳能硅片拆片机构-201920374607.4
发明人：苏金财;陈春芙 -专利权人：东莞市科隆威自动化设备有限公司
申请日： 2019-03-23 - 公布日： 2020-02-11 - 主分类号： H01L31/18
摘要：本实用新型公开了一种太阳能硅片拆片机构，其包括折片架、固定吸附板、活动吸附板、直线驱动装置和折片驱动座，活动吸附板对称位于在固定吸附板的两侧位置，且与所述固定吸附板在同一水平高度上，该活动吸附板的端部一侧位置通过转轴设置在折片架上；太阳能硅片平放固定吸附板和活动吸附板上，通过真空吸附将太阳能硅片稳稳固定在固定吸附板和活动吸附板上，直线驱动装置驱动折片杆上行推动活动吸附板翻转，使得各个活动吸附板的上表面以及固定吸附板的上表面均不在同一水平面上，从而实现将太阳能硅片分段拆开的目的，这时可以方便挑选出具有缺陷的部分，而对其它部分进行保留，避免不必要浪费，节省成本，有效提升太阳能硅片产品的质量。

一种层压机上箱防止掉落装置-201921098511.6
发明人：李硕鹏 -专利权人：秦皇岛晟成自动化设备有限公司
申请日： 2019-07-15 - 公布日： 2020-02-11 - 主分类号： H01L31/18
摘要：本实用新型涉及光伏组件技术领域，具体的公开了一种层压机上箱防止掉落装置，包括滑块驱动装置和过渡支撑板。滑块驱动装置包括驱动器和滑块底座，滑块底座通过固定螺栓固定安装在升降架侧壁上。滑块底座的内部滑动嵌套有滑块，驱动器与滑块连接。过渡支撑板安装在上箱横梁上，上箱横梁下方，设置有上箱体。层压机的升降气缸通过上箱横梁带动上箱体升起，到位后，滑块驱动装置中的滑块伸出，支撑住过渡支撑板上的螺栓，避免上箱横梁掉落；当层压机的上箱横梁需下降时，滑块驱动装置中的滑块缩回，则层压机的上箱体通过上箱横梁在升降气缸的带动下下降。本实用新型优点：结构简单，安全性高，适用能力强，便于推广实施。

专利分类

H 电学

H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的

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[发明专利]一种含有钛杂质中间带的晶体硅材料及其制备方法在审

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