专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]边缘扫描和对齐-CN201510218956.3有效
  • J·L·富兰克林;Y·郑;L·德桑蒂;T·沃尔克斯 - 应用材料公司
  • 2015-04-30 - 2018-01-02 - H01L31/18
  • 提供了一种用于在基板中进行激光钻孔的方法。多边形镜切割面的位置是由第一传感器确定的,以及设置在运输带上的基板的位置是由第二传感器确定的。所述镜切割面和所述基板的位置是基于分别用第一传感器和第二传感器确定的时间输入而同步的。可通过移动运输带来改变所述基板的位置,以便在激光钻孔之前使所述基板的位置与所述切割面的位置同步。当所述镜切割面和所述基板的位置已经同步时,可触发激光。所述激光可在基板中形成一或多行孔。
  • 边缘扫描对齐

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