[发明专利]一种半导体材料生产技术设备在审
| 申请号： | 201810431797.9 | 申请日： | 2018-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN108581820A | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 童英涛 | 申请（专利权）人： | 宁海逐航工业产品设计有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/34;B24B37/30;B24B27/00;B24B41/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315600 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体材料生产技术设备，包括主机体，所述主机体内部设有操作腔，所述操作腔上侧的所述主机体内设有第一滑腔，所述第一滑腔右侧的所述主机体内设有向下延伸设置的第二滑腔，所述第二滑腔底部延伸末端与所述操作腔的顶部相通设置，所述第一滑腔与所述第二滑腔之间的部分内设有第一空腔和第二空腔，所述第一空腔位于所述第二空腔上侧，所述第一滑腔内滑动配合连接有第一滑块，所述第一滑块内贯穿设有贯通槽，所述贯通槽内滑动配合连接有左右延伸设置的导滑柱，所述导滑柱左右两侧末端分别与所述第一滑腔的左右两侧内壁固定配合连接。 | ||
| 搜索关键词： | 滑腔 操作腔 半导体材料 主机 滑动配合连接 第二空腔 第一滑块 第一空腔 生产技术 左右两侧 导滑柱 贯通槽 体内 固定配合 向下延伸 延伸末端 左右延伸 体内部 主机体 内壁 相通 贯穿 | ||
【主权项】：
1.一种半导体材料生产技术设备，包括主机体，其特征在于：所述主机体内部设有操作腔，所述操作腔上侧的所述主机体内设有第一滑腔，所述第一滑腔右侧的所述主机体内设有向下延伸设置的第二滑腔，所述第二滑腔底部延伸末端与所述操作腔的顶部相通设置，所述第一滑腔与所述第二滑腔之间的部分内设有第一空腔和第二空腔，所述第一空腔位于所述第二空腔上侧，所述第一滑腔内滑动配合连接有第一滑块，所述第一滑块内贯穿设有贯通槽，所述贯通槽内滑动配合连接有左右延伸设置的导滑柱，所述导滑柱左右两侧末端分别与所述第一滑腔的左右两侧内壁固定配合连接，所述导滑柱内螺纹配合连接有上下延伸设置的调节螺杆，所述调节螺杆底部延伸末端与第一电机动力配合连接，所述第一滑块的底部端面内转动配合连接的内键转轴，所述内键转轴顶部末端动力连接有固在所述第一滑块内的第二电机，所述第一空腔与所述第一滑腔之间转动配合连接有第一转轴，所述第一转轴左侧末端固设有伸入所述第一滑腔内的传动齿轮，所述第一滑块顶部末端固设有用以与所述传动齿轮动力配合连接的齿条部，所述第一转轴右侧末端固设有伸入所述第一空腔内的第一锥轮，所述第一空腔与所述第二空腔之间转动配合连接有第二转轴，所述第二转轴顶部末端固设有伸入所述第一空腔内且与所述第一锥轮动力配合连接的第二锥轮，所述第二转轴底部末端固设有伸入所述第二空腔内的绕线轮，所述第二空腔与所述第二滑腔之间的部分内设有右侧末端与所述第二滑腔相连通设置的第三滑腔，所述第三滑腔与所述第二空腔之间相连通设有贯通孔，所述第二滑腔内滑动配合连接有防护滑板，所述防护滑板左侧端面内上下对称设有锁孔，所述第三滑腔内滑动配合连接有锁块，所述锁块左侧的所述第三滑腔内设有顶压弹簧，所述贯通孔内过渡配合连接有左右延伸设置的拉绳，所述拉绳一端与所述绕线轮固定连接，所述拉绳另一端与所述锁块的左侧端面固定配合连接，所述操作腔内设有研磨抛光机构。
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- 2015-02-15 - 2019-09-06 - B24B37/10
- 本发明提供一种研磨装置，通过正确地测量研磨过程中的板状工件的厚度，由此将板状工件研磨至所期望的厚度，可以防止发生研磨不足或研磨过多。厚度计算部(53)根据在板状工件的上表面和下表面上反射的光的光路长度差计算出板状工件的厚度，并且，放射温度计(541)接收从板状工件放射出的红外光来测量板状工件的温度，温度存储部(542)存储由放射温度计(541)测量出的温度。厚度修正部(55)基于温度存储部(542)存储的温度来计算板状工件的折射率，并基于计算出的折射率对厚度计算部(53)计算出的厚度进行修正。这样，通过一边进行板状工件的厚度的测量和修正，一边对板状工件进行研磨，由此将板状工件研磨至所期望的厚度。
- 一种楔块研磨机-201821655062.6
- 李文浩;王兵 - 江苏安全技术职业学院
- 2018-10-11 - 2019-09-06 - B24B37/10
- 本实用新型公开了一种楔块研磨机，属于机加工领域。该装置包括用于夹持毛坯的夹具，还包括：底座，其包括底板、设置在底板上的后挡板和设置在后挡板上的横向滑杆；研磨装置，其包括磨具、设置在磨具上的纵向滑杆和连接器；动力装置，其包括第一连杆、第二连杆和电机，第一连杆的一端固定连接在电机的输出端、另一端铰接至第二连杆的一端，第二连杆的另一端铰接至连杆。本实用新型利用电机带动第一连杆转动，第一连杆带动第二连杆转动进而带动连杆实现往复运动，连杆往复运动时，会带动磨具上下往复移动和前后移动的复合运动，从而对楔块的毛坯件形成往复的磨削，整个研磨机结构较为简单，相对于加工中心加工的方式成本较低。
- 一种研磨机-201822213535.3
- 陈李刚;张宇平;曾慧;毛荣昌;朱国强;纪步成 - 衢州晶哲电子材料有限公司
- 2018-12-27 - 2019-08-30 - B24B37/10
- 本实用新型涉及一种研磨机，包括研磨机架和设置在研磨机架上的下研磨台，研磨机架上且位于下研磨台的一侧设置有固定架，固定架顶部设有驱动气缸，驱动气缸输出端连接有驱动杆，驱动杆一端沿竖直方向连接有上研磨台，上研磨台相对设在下研磨台正上方，下研磨台上侧壁上设有研磨槽，研磨槽中转动设有转动台，研磨机架上设有用于驱动转动台转动的驱动组件，转动台上表面沿周向转动设有若干转动座，转动座上设有晶片放置槽；上研磨台上方设有内置下料腔的下料板，下料板上沿周向设有若干导出管，上研磨台上沿周向设有若干通孔，若干导出管一端分别与若干通孔对接。本实用新型提供了一种研磨效率高、研磨效果好且研磨液加入均匀的研磨机。
- 单面加压研磨抛光机压盘装置-201821812908.2
- 张习兵;邹德明 - 无锡市锡斌光电设备有限公司
- 2018-10-27 - 2019-08-23 - B24B37/10
- 本实用新型公开了一种单面加压研磨抛光机压盘装置。所述机架与底座间设置有立柱，所述机架上设置有与工位对应的压盘单元，所述气缸座设置在机架顶部，所述气缸座上设置有气缸，所述气缸活塞杆上套装有导套，所述气缸活塞杆、导套分别与传动连接机构连接，所述传动连接机构与压盘连接，所述导套上套装有导套轮，所述转动电机通过设置在机架上的电机座固定，所述转动电机输出轴上套装有主动电机轮，所述导套轮与主动电机轮间通过V带连接传动。本实用新型通过单面加压研磨抛光机压盘装置可以对每个工位上压盘的转速、压力进行调节，提高了抛光精度。设备操作简单、灵活。
- 一种合成石研磨设备-201822199798.3
- 孟庆松;武赵波;高伟 - 昆山信方达电子有限公司
- 2018-12-26 - 2019-08-23 - B24B37/10
- 本实用新型公开了一种合成石研磨设备，包括研磨座，所述研磨座的底部固定安装在固定底板上，所述固定底板的底部焊机有支撑脚，所述固定底板的顶部位于边侧焊接有支撑柱，所述支撑柱的顶端与支撑顶板的底部相焊接，所述支撑顶板的顶部固定安装有液压缸，所述液压缸的输出端轴动安装有液压杆，所述液压杆的一端与第一支撑板的顶部固定连接，所述第一支撑板的底部焊接有固定杆，所述固定杆的一端与第二支撑板的顶部相焊接。通过在固定套筒中穿过有推杆，通过推动推杆，使得压紧板对合成石进行压紧作用，调节起来比较方便。
- 晶圆平坦化设备-201910555237.9
- 夏俊东;康雷雷;谭金辉;张兆伟;何蓬勃;徐海强 - 吉姆西半导体科技（无锡）有限公司
- 2019-06-25 - 2019-08-16 - B24B37/10
- 本发明是晶圆平坦化设备，其结构包括主机架、研磨盘、研磨头旋转机构、研磨头组件、研磨垫打磨机构、研磨液喷淋机构、晶圆装载卸载平台、晶圆传送中转平台和晶圆传送机构，其中主机架中部设主台面，主台面中部设研磨盘，研磨盘底部连接旋转驱动装置，研磨头旋转机构、晶圆装载卸载平台、晶圆传送中转平台、研磨垫打磨机构和研磨液喷淋机构依次环绕研磨盘设置在主台面侧边上，晶圆装载卸载平台和晶圆传送中转平台外侧主台面侧边上设晶圆传送机构，研磨头旋转机构下端连接研磨头。本发明的优点：简化了结构，减小了体积，降低了生产成本，故障率减小，保证了生产效率，保证晶圆加工质量稳定,适合4、6寸晶元及3～5族类产品平坦化加工。
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