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[实用新型]电诱导辅助化学机械抛光测试装置-CN201921151577.7有效
发明人：寇青明;钮市伟;王永光;陈瑶;赵栋;刘卫卫 -专利权人：苏州大学
申请日： 2019-07-22 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电诱导辅助化学机械抛光测试装置，包括：抛光液池、抛光垫、抛光盘、抛光头、驱动器、负电极以及外接电源；所述抛光液池用于盛装抛光电解液，其通过所述抛光盘带动而旋转；所述抛光垫贴合于抛光液池的底壁上；所述抛光头用于固定待抛光的晶片，并通过所述驱动器驱动而与所述抛光垫相对反向旋转，以对晶片进行机械抛光；所述外接电源的正极与所述晶片接通，负极与所述负电极接通。本实用新型的电诱导辅助化学机械抛光测试装置，通过电诱导作用的方式，增强晶片的氧化腐蚀，提高材料去除率，降低晶片抛光的生产成本，改善晶片的表面质量。
诱导辅助化学机械抛光测试装置

[发明专利]聚四氟乙烯增强胶黏陶瓷涂层及其制备方法-CN201910775038.9在审
发明人：王永光;钮市伟;杨网;孙平;宋昊;陈瑶;赵栋 -专利权人：苏州大学
申请日： 2019-08-21 - 公布日： 2019-11-15 - 主分类号： C04B28/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种聚四氟乙烯增强胶黏陶瓷涂层材料，包括以下组分：57.4wt％～58.4wt％的微米氧化铝、0.5wt％～1.5wt％的纳米氧化锌、0.4wt％～0.8wt％的镍粉、0.2wt％～1wt％的聚四氟乙烯以及30wt％～50wt％的磷酸二氢铝。本发明还提供了由所述陶瓷涂层材料制备而成的胶黏陶瓷涂层及其制备方法。本发明的聚四氟乙烯增强胶黏陶瓷涂层，采用溶胶凝胶法制备，制备工艺较为简单，不需要结构复杂，精密的涂敷设备，成本低。
聚四氟乙烯胶黏陶瓷涂层材料陶瓷涂层制备溶胶凝胶法制磷酸二氢铝纳米氧化锌微米氧化铝涂敷设备制备工艺镍粉精密

[发明专利]电诱导辅助化学机械抛光测试装置-CN201910661325.7在审
发明人：王永光;钮市伟;寇青明;陈瑶;赵栋;刘卫卫 -专利权人：苏州大学
申请日： 2019-07-22 - 公布日： 2019-09-27 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种电诱导辅助化学机械抛光测试装置，包括：抛光液池、抛光垫、抛光盘、抛光头、驱动器、负电极以及外接电源；所述抛光液池用于盛装抛光电解液，其通过所述抛光盘带动而旋转；所述抛光垫贴合于抛光液池的底壁上；所述抛光头用于固定待抛光的晶片，并通过所述驱动器驱动而与所述抛光垫相对反向旋转，以对晶片进行机械抛光；所述外接电源的正极与所述晶片接通，负极与所述负电极接通。本发明的电诱导辅助化学机械抛光测试装置，通过电诱导作用的方式，增强晶片的氧化腐蚀，提高材料去除率，降低晶片抛光的生产成本，改善晶片的表面质量。
晶片机械抛光电诱导测试装置辅助化学抛光垫抛光液驱动器外接电源抛光负电极抛光盘抛光头接通正极材料去除率负极晶片抛光氧化腐蚀电解液底壁贴合生产成本盛装驱动

[发明专利]氮化镓化学机械抛光液及其制备方法-CN201910550088.7在审
发明人：王永光;钮市伟;寇清明;陈瑶;赵栋;朱玉广;刘卫卫 -专利权人：苏州大学
申请日： 2019-06-24 - 公布日： 2019-09-06 - 主分类号： C09G1/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种氮化镓化学机械抛光液，由SiO₂抛光液、H₂O₂、甘氨酸、对苯二甲酸、去离子水和pH调节剂配制而成；所述化学机械抛光液中，SiO₂的浓度为5～10wt％，H₂O₂的浓度为0.4～0.8wt％，甘氨酸的浓度为0.5～1.5wt％，对苯二甲酸的浓度为0.1～1wt％，pH值为11～11.5。本发明还提供了所述氮化镓化学机械抛光液的制备方法。本发明的氮化镓化学机械抛光液，成分和制备工艺简单，改善了传统氮化镓抛光液污染环境、对人体有伤害等问题；并且抛光速率达一百纳米每小时以上，抛光表面粗糙度低至亚纳米级粗糙度。
化学机械抛光液氮化镓对苯二甲酸粗糙度甘氨酸抛光液制备抛光表面去离子水亚纳米级制备工艺抛光配制伤害

[实用新型]一种用于管材的矫直装置-CN201520565557.X有效
发明人：孟令启;杜小明;蒋波;李春生;丘晓霞;张康康;宫传贺;倪进平;程华鑫;杨怀志;王恒;王枚瑞;程玲玲;张浩;王少杰;李乾坤;方婷;马恩来;汪张煜;钮市伟;陈大鹏 -专利权人：孟令启
申请日： 2015-07-31 - 公布日： 2016-01-20 - 主分类号： B21D3/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于管材的矫直装置，包括底板，在底板上通过支撑柱连接支撑板，底板连接下底座，下底座上转动配合下矫直辊，底板的一侧设有第一电机，第一电机通过第一转轴驱动连接相应的下矫直辊；支撑板的下侧面连接上底座，在上底座上转动配合上矫直辊，底板的一侧还设有第二电机，第二电机通过第二转轴驱动连接相应的上矫直辊，上矫直辊与下矫直辊对应配合；支撑板上设有第三电机，第三电机通过传动装置连接上底座。本实用新型的优点：上矫直辊和下矫直辊的轴线夹角为60度，在对管材进行矫直时，管材在直线移动的同时，能够自传，矫直效果好，上矫直辊和下矫直辊之间的间距能够自由调节，实现了不同管径的管材同步矫直，通用性能好。
一种用于管材矫直装置