[实用新型]一种冷却板有效
申请号: | 201721701901.9 | 申请日: | 2017-12-08 |
公开(公告)号: | CN207834249U | 公开(公告)日: | 2018-09-07 |
发明(设计)人: | 邓曾红;管长乐 | 申请(专利权)人: | 北京创昱科技有限公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 王莹;吴欢燕 |
地址: | 102209 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型涉及真空镀膜领域的冷却设备技术领域,公开了一种冷却板,包括冷却板本体,所述冷却板本体内设置有循环水道,所述循环水道为进、回水通道并行的水道。本实用新型提供的冷却板通过在冷却板本体内设置进、回水通道并行的循环水道,提高了冷却板的换热效率,解决了因进水、回水温差引起的整体冷却板温度不均匀的问题。 | ||
搜索关键词: | 循环水道 冷却板 冷却 回水通道 并行 体内 本实用新型 冷却板本体 热效率 回水温差 冷却设备 真空镀膜 整体冷却 不均匀 进水 水道 | ||
【主权项】:
1.一种冷却板,其特征在于:包括冷却板本体,所述冷却板本体内设置有循环水道,所述循环水道为进、回水通道并行的水道,进水通道的进水口与出水通道的出水口在同一端。
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- 永海幸一;藤原一延;权代正;山田纪和;梅原直征 - 东京毅力科创株式会社
- 2019-04-12 - 2019-10-25 - H01J37/32
- 本发明提供一种生成等离子体的方法,能够快速抑制高频电力的反射。在一个实施方式的方法中,从高频电源经由匹配器向电极供给高频电力,以在腔室中生成等离子体。在供给高频电力的期间,根据反映腔室内的等离子体的产生的一个以上的参数来判定在腔室内是否生成了等离子体。在判定为没有生成等离子体的情况下,调整由高频电源输出的高频电力的频率,以将高频电源的负载侧电的抗设定为零或者使该负载侧的电抗接近零。
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