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- [发明专利]基板处理设备和基板传送方法-CN202111247399.X在审
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李承培
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细美事有限公司
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2021-10-26
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2022-05-13
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H01J37/32
- 本发明构思提供了一种基板处理设备。所述基板包括：处理室，在所述处理室中处理基板；以及传送机器人，所述传送机器人将所述基板和设置在所述处理室的处理空间中的聚焦环传送到所述处理空间，并且所述传送机器人具有手部，其中所述处理室包括：处理容器，所述处理容器提供所述处理空间；卡盘，所述卡盘具有将所述基板支撑在所述处理空间中的支撑表面；以及提升销模块，所述提升销模块在所述基板由所述聚焦环支撑的状态下提升所述聚焦环的下表面，并且所述卡盘被设置为阻挡板，在所述阻挡板中未形成提升销孔。
- 处理设备传送方法
- [发明专利]显示装置和用于驱动显示装置的方法-CN201810915581.X有效
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崔炳华;李承培
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三星显示有限公司
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2018-08-13
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2022-04-05
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G09F9/30
- 本申请涉及显示装置和用于驱动显示装置的方法。显示装置包括柔性显示面板、卷曲驱动器、壳体、卷曲止动器和卷曲控制器，其中，卷曲驱动器包括连接至柔性显示面板的卷曲轴和使卷曲轴旋转的旋转电机，壳体接纳处于卷曲状态的柔性显示面板，其中，壳体中限定有用于展开和卷曲柔性显示面板的第一开口，卷曲止动器联接至柔性显示面板，卷曲控制器控制卷曲驱动器，使得旋转电机在顺时针方向或逆时针方向上旋转。卷曲控制器使旋转电机在与旋转电机的用于在前卷曲的旋转方向相反的方向上旋转，以展开柔性显示面板。卷曲控制器使旋转电机在与旋转电机的用于在前展开的旋转方向相同的方向上旋转，以卷曲柔性显示面板。
- 显示装置用于驱动方法
- [发明专利]制造半导体元件之装置-CN200710130091.0无效
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金炯俊;李承培;梁大贤;李奇英
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株式会社细美事
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2007-07-30
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2008-06-18
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H01L21/00
- 本发明披露一种制造半导体元件之装置。该装置包含真空晶片传输模块，设置成列以对应机台，承载室模块，用以在真空中传输晶片，第一处理室，设置于上述这些真空晶片传输模块周围，以处理从该承载室模块传输之上述这些晶片，第一缓冲机台，设置于上述这些真空晶片传输模块内，使得上述这些晶片可加载于其上且从其卸载，第一传输机械臂，设置于上述这些第一处理室间，以将上述这些晶片从该承载室模块传输至上述这些第一处理室，接着将上述这些晶片从该承载室模块传输至上述这些第一缓冲机台上，第二处理室，设置于上述这些真空晶片传输模块周围，以处理从上述这些第一缓冲机台传输之上述这些晶片，以及第二传输机械臂，设置于上述这些第二处理室间，以将传输至上述这些第一缓冲机台之上述这些晶片传输至上述这些第二处理室。
- 制造半导体元件装置
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