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[发明专利]静电偏转会聚型能量分析仪、成像型电子光谱装置、反射成像型电子光谱装置以及自旋矢量分布成像装置-CN202180049046.0在审
发明人：松田博之;松井文彦 -专利权人：大学共同利用机关法人自然科学研究机构
申请日： 2021-07-09 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： H01J37/252 文献下载
摘要：本发明提供一种静电偏转会聚型能量分析仪，其具有宽的接收角和高的二维会聚性能，可以对二维的实空间图像或发射角度分布进行成像，并能够在相对于入射方向的90°偏转下进行二维会聚和成像。一个或多个外侧电极和多个内侧电极沿着在共同旋转轴的内侧和外侧上形成的两个旋转体的形状色设置。其中，外侧电极的内表面形状是朝向两端直径变小的锥形，内侧电极的外表面形状是朝向两端直径变小的锥形。在旋转轴两端的外侧电极上分别形成有电子的入射孔和出射孔。将用于电子加速和减速的电压与入射电子的能量成比例地施加在外侧电极和内侧电极上。对除了两端的内侧电极以外的一个或多个电极施加电压，该电压是基于形成有入射孔的外侧电极的电势为基准，将电子的能量换算成加速电压得到的换算加速电压2倍以上的电压。
静电偏转会聚能量分析成像电子光谱装置反射以及自旋矢量分布

[发明专利]用于X射线散射测量系统的全光束度量-CN202111172803.1有效
发明人： A·吉里纽;T·G·奇乌拉;J·亨奇;A·韦尔德曼;S·佐卢布斯基 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2017-10-17 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： H01J37/252 文献下载
摘要：本发明涉及用于X射线散射测量系统的全光束度量。本文中描述用于通过全光束X射线散射测量而特性化半导体装置的尺寸及材料性质的方法及系统。全光束X射线散射测量涉及使用X射线光束照明样本且同时针对相对于所述样本的一或多个入射角检测所得零衍射级及较高衍射级的强度。直射光束及经散射级的同时测量实现具有经改进准确度的高处理量测量。全光束X射线散射测量系统包含：一或多个光子计数检测器，其具有高动态范围；及厚、高吸收性晶体衬底，其吸收具有最小寄生反向散射的直射光束。在其它方面中，基于零衍射级光束执行基于模型的测量，且基于所述经测量零级光束的性质估计及控制所述全光束X射线散射测量系统的测量性能。
用于射线散射测量系统光束度量

[发明专利]一种医用移动式电子显微镜-CN202011345005.X在审
发明人：杨尧斌 -专利权人：太仓毅强机电设备有限公司
申请日： 2020-11-25 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： H01J37/252 文献下载
摘要：本发明公开了一种医用移动式电子显微镜，包括电子显微镜本体，所述电子显微镜本体机架的右侧贯穿设置有壳体，所述壳体的左侧贯穿至电子显微镜本体机架的左侧，所述壳体的左侧贯穿设置有螺纹管，所述螺纹管的右端贯穿至壳体的内腔，所述螺纹管的左侧贯穿设置有螺纹杆，所述螺纹杆的右端贯穿螺纹管的内腔并延伸至壳体的内腔，所述螺纹杆与螺纹管螺纹连接。本发明解决了现有的移动式电子显微镜稳定性差，容易在观察的过程中触碰到进行移动，同时不能对光学显微镜镜头进行清理和除湿除雾，当空气湿度较大时，光学显微镜镜头的镜头会出现水珠和水雾，不便于使用者使用，影响观察清晰度的问题。
一种医用移动式电子显微镜

[发明专利]用于X射线散射测量系统的全光束度量-CN201780064269.8有效
发明人： A·吉里纽;T·G·奇乌拉;J·亨奇;A·韦尔德曼;S·佐卢布斯基 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2017-10-17 - 公布日： 2021-10-26 - 主分类号： H01J37/252 文献下载
摘要：本文中描述用于通过全光束X射线散射测量而特性化半导体装置的尺寸及材料性质的方法及系统。全光束X射线散射测量涉及使用X射线光束照明样本且同时针对相对于所述样本的一或多个入射角检测所得零衍射级及较高衍射级的强度。直射光束及经散射级的同时测量实现具有经改进准确度的高处理量测量。全光束X射线散射测量系统包含：一或多个光子计数检测器，所述一或多个光子计数检测器具有高动态范围；及厚、高吸收性晶体衬底，其吸收具有最小寄生反向散射的直射光束。在其它方面中，基于零衍射级光束执行基于模型的测量，且基于所述经测量零级光束的性质估计及控制所述全光束X射线散射测量系统的测量性能。
用于射线散射测量系统光束度量

[发明专利]带电粒子线装置-CN201280057813.3有效
发明人：海老根裕太;富田真一;伊东祐博;青岛利裕 -专利权人：株式会社日立高新技术;东陶机器株式会社
申请日： 2012-11-12 - 公布日： 2014-08-20 - 主分类号： H01J37/252 文献下载
摘要：为了提供能在进行X射线元素分析的预备阶段评价、判别适于X射线分析的样本上的位置、分析者能无返工、短时间地进行确保了高可靠性的分析的带电粒子线装置，在具备X射线检测器的带电粒子线装置中，在与X射线检测器(12(25～30))的X射线检测面同轴上，与X射线检测器(12)一体或独立地配置第1反射电子检测器(15)，同时或个别地由X射线检测器(12)检测X射线信号，由第1反射电子检测器(15)检测反射电子信号。
带电粒子线装

[发明专利]带电粒子线装置-CN201280038390.0无效
发明人：扬村寿英 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2012-07-25 - 公布日： 2014-04-09 - 主分类号： H01J37/252 文献下载
摘要：本发明的带电粒子线装置具备放出一次带电粒子线的带电粒子源(1)；使该一次带电粒子线会聚于样品(5)上的会聚透镜(2、4)；对由来自该样品上的照射点所放出的二次电子、反向散射电子构成的二次带电粒子(7)进行检测的检测器(80)；对来自所述检测器的信号进行波形处理来制成所述二次带电粒子的能量分布信息的波形处理部(9)；和选择所述能量分布信息的任意能量范围的信息并在显示部进行图像显示的控制部(10)。由此，能简便辨别二次电子、反向散射电子的角度和能量，实现了可使观察对象样品的必要信息进行图像化的带电粒子线装置。
带电粒子线装

[发明专利]在高度校准的包装中具有多个激发能量带的XRF系统-CN200980111618.2有效
发明人：陈泽武;D·M·吉布森;W·M·吉布森;小J·H·伯德特;A·贝利;R·S·塞姆肯;辛凯 -专利权人： X射线光学系统公司
申请日： 2009-03-03 - 公布日： 2011-02-23 - 主分类号： H01J37/252 文献下载
摘要：一种用于使用X射线射束照射试样斑的X射线分析装置。提供了一种具有源斑的X射线管，由该源斑生成具有特征第一能量和韧致辐射能量的发散X射线射束；第一X射线光学器件接收发散的X射线射束并朝试样斑指引射束，同时使射束单色化；和接收发散的X射线射束并朝试样斑指引射束同时使射束单色化为第二能量的第二X射线光学器件。第一X射线光学器件使来自源斑的特征能量单色化并且第二X射线光学器件使来自源斑的韧致辐射能量单色化。X射线光学器件可以是弯曲的衍射光学器件，用于从X射线管接收发散的X射线射束并且将射束聚焦在试样斑上。还提供了检测以检测和测量在例如包括玩具和电子产品的产品中的各种毒素。
高度校准包装具有激发能量 xrf 系统

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