专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]动态观测系统-CN202180024741.1在审
  • 松本隆;今井英人;松本匡史;安库尔·巴里安;花木保成;岩桂二郎;广濑润;畠山大 - 株式会社日产ARC;株式会社堀场制作所
  • 2021-03-25 - 2022-11-11 - G01M99/00
  • 本发明提供动态观测系统,即使在大型观测基地内观测的对象物存在各种各样的限制,也能够掌握与对象物实际被应用的环境、被组合的其它构成要素的相关关系,其具备:大型观测装置,使用量子束观测对象物;再现装置,设置在所述大型观测装置内,在用所述大型观测装置能够观测所述对象物的状态下再现对所述对象物的输入;动态观测装置,观测通过多个要素的组合而发挥功能的功能性对象物的动态;第一信息取得装置,将所述功能性对象物功能分解至与所述对象物相当的要素,取得作为对所述对象物相当要素的输入信息的第一信息;以及传递装置,将所述第一信息向所述再现装置传递,所述再现装置根据所述第一信息再现对所述对象物的输入。
  • 动态观测系统
  • [发明专利]真空处理装置和维护装置-CN201911006282.5有效
  • 上田雄大;广濑润 - 东京毅力科创株式会社
  • 2018-02-13 - 2022-05-24 - H01J37/32
  • 本发明提供一种真空处理装置和维护装置。抑制进行基板的输送的输送系统的污染地更换消耗零件。维护装置(100)相对于等离子体蚀刻装置(10)的第2闸门(95)保持气密性、同时安装于等离子体蚀刻装置(10)的第2闸门(95),该等离子体蚀刻装置(10)在处理容器(30)设有与用于晶圆(W)的输入输出的第1闸门(84)不同的第2闸门(95)。维护装置(100)经由第2闸门(95)进行处理容器(30)内的消耗零件的拆卸、消耗零件向处理容器(30)内的安装、处理容器(30)内的清扫中的至少一者。
  • 真空处理装置维护
  • [发明专利]维护装置-CN201980016718.0在审
  • 上田雄大;广濑润;手塚一幸 - 东京毅力科创株式会社
  • 2019-06-12 - 2020-10-20 - H01L21/3065
  • 维护装置具有罩体和固定构件。罩体形成为和处理容器的第一部件与第二部件的分界线对应的尺寸、或者和第一部件与第二部件分离后的开口面对应的尺寸,且具有气密性以及至少一部分有视觉上的透明性,其中,处理容器能够分离成第一部件和第二部件,且在处理衬底时被设置为真空气氛。固定构件将罩体沿着处理容器的第一部件与第二部件的分界线紧密固定,或者将罩体紧密固定于第一部件与第二部件分离后的开口面。
  • 维护装置
  • [发明专利]等离子体处理方法-CN202010467289.3在审
  • 金子健吾;广濑润 - 东京毅力科创株式会社
  • 2018-05-30 - 2020-09-11 - H01J37/32
  • 本发明提供一种等离子体处理方法,使用一个等离子体处理装置,执行供给至基座的高频功率和所要求的基片的面内温度分布不同的多个步骤。一个实施方式的等离子体处理方法包括:在腔室内对基片实施第1等离子体处理的步骤;和在腔室内对基片实施第2等离子体处理的步骤。在实施第1等离子体处理的步骤中,驱动静电吸盘的吸盘主体内的多个第1加热器,驱动该吸盘主体内的多个第2加热器。在实施第2等离子体处理的步骤中,至少使多个第2加热器的驱动停止。
  • 等离子体处理方法
  • [发明专利]检查流量测量系统的方法-CN201811009097.7有效
  • 广濑润;网仓纪彦;实吉梨沙子;小野寺忍 - 东京毅力科创株式会社
  • 2018-08-31 - 2020-09-08 - G01F25/00
  • 本发明提供一种检查在累加法中利用的流量测量系统是否处于适合于准确求取气体流量的状态的方法。一个实施方式的方法涉及在基板处理系统中使用的检查流量测量系统的方法。流量测量系统提供基于累加法的流量的计算中使用的气体流路。由基板处理系统的气体供给部的流量控制器输出的气体能够向该气体流路供给。在该方法中,除了气体流路的容积的预先所求取的初始值之外,还在流量测量系统的检查时求取该气体流路的容积。并且,将所求取的容积与初始值进行比较。
  • 检查流量测量系统方法
  • [发明专利]等离子体处理方法-CN201810539508.7有效
  • 金子健吾;广濑润 - 东京毅力科创株式会社
  • 2018-05-30 - 2020-06-26 - H01J37/32
  • 本发明提供一种等离子体处理方法,使用一个等离子体处理装置,执行供给至基座的高频功率和所要求的基片的面内温度分布不同的多个步骤。一个实施方式的等离子体处理方法包括:在腔室内对基片实施第1等离子体处理的步骤;和在腔室内对基片实施第2等离子体处理的步骤。在实施第1等离子体处理的步骤中,驱动静电吸盘的吸盘主体内的多个第1加热器,驱动该吸盘主体内的多个第2加热器。在实施第2等离子体处理的步骤中,至少使多个第2加热器的驱动停止。
  • 等离子体处理方法
  • [发明专利]骑跨型车辆的罩结构-CN201110025299.2有效
  • 饭田王海;广濑润;稻见重人;伴信孝 - 本田技研工业株式会社
  • 2011-01-20 - 2011-07-27 - B62J17/00
  • 本发明提供一种骑跨型车辆的罩结构,其能够提高发动机的冷却或对驾驶者的防风性。具有:配置在车身框架(10)上悬挂的发动机(16)的后方且上方的驾驶者就座用的座椅(18);覆盖发动机(16)的下方的至少一部分的底罩(80),其中,底罩(80)以至少覆盖发动机(16)的侧面的一部分的方式形成,并且在底罩(80)的上部设有指向车宽度方向内侧且发动机侧面而延伸的引导部(81),在引导部(81)的前方设有将行车风导入到底罩(80)内的开口(82)。引导部(81)具有随着从车辆前方朝向后方而向下方倾斜的倾斜面(81b)。
  • 骑跨型车辆结构

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