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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]具有活化剂-载体的铬(iii)催化剂系统-CN201910778334.4有效
发明人： M·P·麦克丹尼尔;M·L·赫拉温卡;K·S·柯林斯 -专利权人：切弗朗菲利浦化学公司
申请日： 2015-01-05 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： C08F4/69 文献下载
摘要：本发明的名称是具有活化剂‑载体的铬(iii)催化剂系统。本文公开了制备包含铬(III)化合物和活化剂‑载体的负载型铬催化剂的方法。这些负载型铬催化剂可用在用于烯烃聚合的催化剂组合物中以生产具有低水平的长链分支并且在聚合期间对氢的存在具有更高敏感性的聚合物。
具有活化剂载体 iii 催化剂系统

[发明专利]用于高温低压力环境的细长的容性耦合的等离子体源-CN201810400150.X有效
发明人： J·C·福斯特;J·约德伏斯基;G·K·邝;T·T·恩戈;K·格里芬;K·S·柯林斯;柳韧 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-08-15 - 公布日： 2021-01-12 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：描述了一种用于处理腔室的模块化等离子体源组件。所述组件包括RF热电极且具有邻接电极的侧而定位的端部电介质和滑动式接地连接件。密封箔将滑动式接地连接件连接至外壳以提供接地的滑动式接地连接件，所述接地的滑动式接地连接件通过端部电介质与热电极分开。同轴馈送线穿过导管而进入与处理环境隔离的RF热电极，使得当等离子体处理区域处于减小的压力下时，同轴RF馈送线处于大气压力下。
用于高温压力环境细长耦合等离子体

[发明专利]多电极基板支撑组件与相位控制系统-CN201680034055.1有效
发明人： Y·杨;K·拉马斯瓦米;S·莱恩;L·王;S·拉乌夫;A·恩古耶;K·S·柯林斯;R·A·林德利 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-04-19 - 公布日： 2020-05-26 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本文描述的实现方式提供一种基板支撑组件，该基板支撑组件实现等离子体腔室内的等离子体调谐。在一个实施例中，提供一种用于在腔室中调谐等离子体的方法。该方法包含以下步骤：向基板支撑组件中的第一电极提供第一射频功率及直流功率；向第二电极提供第二射频功率，该第二电极在该基板支撑组件中与第一电极不同的位置处；监测该第一和第二射频功率的参数；及基于所监测的参数，调整该第一和第二射频功率中的一者或两者。
电极支撑组件相位控制系统

[发明专利]等离子体反应器中类金刚石碳的沉积或处理和等离子体反应器-CN201880018470.7在审
发明人：杨扬;K·拉马斯瓦米;K·S·柯林斯;S·莱恩;G·A·蒙罗伊;L·陈;郭岳;E·文卡塔苏布磊曼聂 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2018-03-14 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种在腔室中的工件上执行类金刚石碳沉积的方法，包括：将工件支撑在腔室中，其中所述工件面向从腔室的顶板悬吊的上电极；将烃气引入腔室中；以及以第一频率将第一RF功率施加至上电极，其在腔室中产生等离子体且在所述工件上产生类金刚石碳的沉积。施加RF功率产生从上电极朝向工件的电子束以增强烃气的离子化。
腔室类金刚石碳电极沉积等离子体反应器烃气电子束等离子体施加工件支撑引入腔室离子化悬吊的

[发明专利]离子对离子等离子体原子层蚀刻工艺及反应器-CN201680024807.6有效
发明人： K·S·柯林斯;K·拉马斯瓦米;J·D·卡达希;S·拉夫;L·多夫;Y·杨 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-01-15 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种具有高架电子束源的反应器，能够产生用于执行原子层蚀刻工艺的离子对离子等离子体。
离子对离子等离子体原子蚀刻工艺反应器

[发明专利]具有活化剂-载体的铬(iii)催化剂系统-CN201510004857.5有效
发明人： M·P·麦克丹尼尔;M·L·赫拉温卡;K·S·柯林斯 -专利权人：切弗朗菲利浦化学公司
申请日： 2015-01-05 - 公布日： 2019-09-24 - 主分类号： C08F4/69 文献下载
摘要：本发明的名称是具有活化剂‑载体的铬(iii)催化剂系统。本文公开了制备包含铬(III)化合物和活化剂‑载体的负载型铬催化剂的方法。这些负载型铬催化剂可用在用于烯烃聚合的催化剂组合物中以生产具有低水平的长链分支并且在聚合期间对氢的存在具有更高敏感性的聚合物。
具有活化剂载体 iii 催化剂系统

[发明专利]制备聚合催化剂的方法-CN201410090858.1有效
发明人： M·P·麦克丹尼尔;K·S·柯林斯 -专利权人：切弗朗菲利浦化学公司
申请日： 2014-03-12 - 公布日： 2018-11-13 - 主分类号： C08F4/02 文献下载
摘要：方法，包括使二氧化硅载体材料与硫酸化剂接触以形成包含硫酸根阴离子的硫酸化二氧化硅载体材料；热处理所述硫酸化二氧化硅载体材料以形成经热处理的硫酸化二氧化硅载体材料；使经热处理的硫酸化二氧化硅载体材料与含铬化合物接触以形成混合物；以及热处理所述混合物以形成聚合催化剂。方法，包括热处理二氧化硅载体材料以形成热处理的二氧化硅载体材料；使所述热处理的二氧化硅载体材料与硫酸化剂接触以形成经热处理的硫酸化二氧化硅载体材料；热处理所述经热处理的硫酸化二氧化硅载体材料以形成经加工的二氧化硅载体材料；使所述经加工的二氧化硅载体材料与含铬化合物接触以形成前驱体聚合催化剂；和热处理所述前驱体聚合催化剂以形成聚合催化剂。
制备聚合催化剂方法

[发明专利]用于原子精度蚀刻的独立控制等离子体密度、自由基组成及离子能量的低电子温度蚀刻腔室-CN201680061298.4在审
发明人： L·多尔夫;K·S·柯林斯;S·拉乌夫;K·拉马斯瓦米;J·D·卡达希;H·塔瓦索里;O·瑞吉尔曼;Y·张 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-06-01 - 公布日： 2018-06-08 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本公开关于操作等离子体反应器的方法，该等离子体反应器具有电子束等离子体源以独立调整电子束密度、等离子体离子能量及自由基总数。本公开进一步关于用于等离子体反应器的电子束源，该等离子体反应器具有RF驱动电极以产生电子束。
等离子体反应器电子束自由基等离子体电子束等离子体蚀刻等离子体离子电子束源独立调整独立控制离子能量蚀刻腔室电极

[发明专利]用于高温低压力环境的细长的容性耦合的等离子体源-CN201480045378.1有效
发明人： J·C·福斯特;J·约德伏斯基;G·K·邝;T·T·恩戈;K·格里芬;K·S·柯林斯;柳韧 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-08-15 - 公布日： 2018-05-25 - 主分类号： H01L21/205 文献下载
摘要：描述了一种用于处理腔室的模块化等离子体源组件。所述组件包括RF热电极且具有邻接电极的侧而定位的端部电介质和滑动式接地连接件。密封箔将滑动式接地连接件连接至外壳以提供接地的滑动式接地连接件，所述接地的滑动式接地连接件通过端部电介质与热电极分开。同轴馈送线穿过导管而进入与处理环境隔离的RF热电极，使得当等离子体处理区域处于减小的压力下时，同轴RF馈送线处于大气压力下。
接地连接件滑动式热电极电介质接地馈送线同轴等离子体处理区域等离子体源组件等离子体源低压力环境处理环境处理腔室大气压力容性耦合组件包括密封箔模块化电极邻接导管减小穿过隔离

[发明专利]产生氟化-氯化二氧化硅-包覆的氧化铝活化剂载体的方法和含有其的催化剂体系-CN201410333736.0有效
发明人： M·P·麦克丹尼尔;U·J·基尔戈;杨清;K·S·柯林斯 -专利权人：切弗朗菲利浦化学公司
申请日： 2014-07-14 - 公布日： 2018-05-22 - 主分类号： C08F4/6592 文献下载
摘要：本申请涉及产生氟化‑氯化二氧化硅‑包覆的氧化铝活化剂载体的方法和含有其的催化剂体系。公开氟化‑氯化二氧化硅‑包覆的氧化铝活化剂载体的制备方法。这些活化剂载体可用于烯烃基聚合物，如聚乙烯和聚丙烯生产的催化剂体系。
产生氟化氯化二氧化硅氧化铝活化剂载体方法含有催化剂体系

[发明专利]双活化剂‑载体催化剂系统-CN201410067032.3有效
发明人：杨清;M·P·麦克丹尼尔;T·R·克莱恩;K·S·柯林斯 -专利权人：切弗朗菲利浦化学公司
申请日： 2014-02-26 - 公布日： 2018-03-09 - 主分类号： C08F10/00 文献下载
摘要：本发明涉及双活化剂‑载体催化剂系统。本文公开的是生产烯烃聚合物的聚合方法。这些聚合方法使用含有至少两种活化剂‑载体的催化剂系统。一种活化剂‑载体是卤化固体氧化物，而另一种活化剂‑载体是硫酸化固体氧化物和/或磷酸化固体氧化物。
活化剂载体催化剂系统

[发明专利]长链支化聚合物及其制造方法-CN201280058897.2有效
发明人： Y·于;E·D·施韦特费格;M·P·麦克丹尼尔;A·L·索伦伯格;K·S·柯林斯 -专利权人：切弗朗菲利浦化学公司
申请日： 2012-11-14 - 公布日： 2017-07-18 - 主分类号： C08F110/02 文献下载
摘要：一种聚合物，其具有峰值在大于约20个长链分支/百万个碳原子的长链分支含量，以及大于约10的多分散指数，其中长链分支在分子量分布的较高分子量部分降低至大约0。一种聚合物，其具有峰值在大于约8个长链分支/百万个碳原子的长链分支含量，以及大于约20的多分散指数，其中长链分支在分子量分布的较高分子量部分降低至大约0。一种聚合物，其具有峰值在大于约1个长链分支/链的长链分支含量，以及大于约10的多分散指数，其中长链分支在分子量分布的较高分子量部分降低至大约0。
长链支化聚合物及其制造方法

[发明专利]铬基聚合催化剂，其制备方法以及用其制备的聚合物-CN201410437362.7有效
发明人： M·P·麦克丹尼尔;E·A·贝纳姆;S·J·西科拉;M·D·詹森;K·S·柯林斯 -专利权人：切弗朗菲利浦化学公司
申请日： 2005-03-24 - 公布日： 2017-05-24 - 主分类号： C08F10/00 文献下载
摘要：用于聚合烯烃的催化剂体系包括含铬的催化剂和含取代或未取代非过渡金属环戊二烯基(Cp)化合物的助催化剂。所述催化剂也包含无机氧化物载体。制备催化剂的方法包括使载体与铬及与非过渡金属Cp化合物接触。在载体进入反应区之前，可以使载体与含有非过渡金属Cp化合物的溶液接触。聚合至少一种烯烃的方法包括使烯烃与含铬的催化剂及与含非过渡金属Cp的助催化剂接触。可以在氢存在下进行聚合。使用助催化剂连同催化剂提高了由此方法所生产的聚合物的几种性质。通过此类方法而生产的聚合物组合物具有各种独特的性质，包括30以上的PDI。
聚合催化剂制备方法以及聚合物

[发明专利]具有同轴RF馈送及同轴遮罩的对称的感应性耦合等离子体源-CN201380035698.4无效
发明人： J·A·肯尼;J·D·卡达希;K·S·柯林斯;R·福韦尔;K·拉马斯瓦米;S·拉乌夫 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2013-06-05 - 公布日： 2015-03-11 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：一种等离子体反应器具有架空的多线圈感应等离子体源，该等离子体源具有对称RF馈送及围绕该对称RF馈送的对称RF遮罩。
具有同轴 rf 馈送对称感应耦合等离子体

[发明专利]聚合催化剂和聚合物-CN201410090384.0在审
发明人： M·P·麦克丹尼尔;K·S·柯林斯;E·D·施韦特费格;A·L·索伦伯格 -专利权人：切弗朗菲利浦化学公司
申请日： 2014-03-12 - 公布日： 2014-09-17 - 主分类号： C08F4/78 文献下载
摘要：一种方法，其包括使载体材料与过渡金属化合物接触以产生混合物；在氧的存在下于约100℃至约500℃范围内的温度下热处理混合物一段约1小时至约10小时的时间，其中至少部分过渡金属升华到载体材料上以产生包括分散的过渡金属的载体材料；以及在氧化气氛中于约550℃至约900℃范围内的温度下热处理包括分散的过渡金属的载体材料一段约1小时至约10小时的时间以产生聚合催化剂。
聚合催化剂聚合物

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