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[发明专利]承载装置及半导体检测设备-CN202110325987.4有效
发明人：陈鲁;邓曾红;黄有为;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-03-26 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本申请提供一种承载装置及半导体检测设备。承载装置包括基板，基板上设有气孔、泄气孔和排气槽，所述气孔用于为工件提供正压和/或负压，以承载所述工件，泄气孔设置于基板的中心区域，用于排出基板的上表面与工件之间的部分气体，至少部分排气槽用于将基板的中心区域的气体导引至基板的边缘区域。本申请的承载装置及半导体检测设备中，中心区域的泄气孔排出基板上表面与工件之间的部分气体，排气槽将基板的中心区域的气体导引至边缘区域，从而减小中心区域和边缘区域的气压差距，最大程度防止悬浮于承载装置上的工件发生形变，保证工件具有良好的平面度。
承载装置半导体检测设备

[发明专利]漏液检测装置及半导体清洗设备-CN202210903220.X在审
发明人： 邓曾红;马宏帅 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-07-29 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： G01M3/04 文献下载
摘要：本发明提供一种漏液检测装置及半导体清洗设备；其中，漏液检测装置设置在半导体清洗设备的外槽和内槽之间，其包括：液位传感器、外壳和供气组件；其中，液位传感器设置于外壳的内腔中；外壳上开设有分别与内腔和外槽连通的气液通道；气液通道用于在外槽内部液面达到预设阈值高度时，供外槽内部液体流入内腔中；供气组件与内腔连通，用于向内腔中输送阻隔气体，以使内腔内部气压达到预设阻隔压力；其中，预设阻隔压力大于外部环境气压，且小于外槽内的液面所述预设阈值高度时对内腔的压力，从而在实现对液位传感器的有效密封的同时，保证及时对液面进行监测，减少漏液传感器被误触发问题的发生。
检测装置半导体清洗设备

[发明专利]光学设备及其工作方法-CN202010886744.3有效
发明人：陈鲁;邓曾红;黄有为;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2020-08-28 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： B01D46/62 文献下载
摘要：本发明提供一种光学设备及其工作方法，其中，所述光学设备包括：供气装置，用于提供清洁气体；分流单元，用于将所述清洁气体分为第一清洁气体和第二清洁气体；第一过滤装置，用于对所述第一清洁气体进行第一过滤处理，所述第一过滤装置包括酸碱过滤器，所述酸碱过滤器用于去除所述第一清洁气体中的酸性和/或碱性气体，形成第三清洁气体；与所述第三清洁气体连通的光学腔室，所述光学腔室内用于形成光路；与第二清洁气体连通的气动装置，所述第二清洁气体用于为气动装置提供力的作用。所述光学设备能够在减少光学元件污染的条件下，降低成本。
光学设备及其工作方法

[发明专利]一种承载装置及检测设备-CN202011114088.1在审
发明人：陈鲁;邓曾红;黄有为 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2020-10-19 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种承载装置，该承载装置包括承载盘，该承载盘用于承载待承载对象，该承载盘具有承载面，且承载盘设有排气孔，排气孔与外界连通，该排气孔用于排除承载面与待承载对象之间的至少部分气体；该排气孔设置在承载面的中心区域，且排气孔在承载面的正投影位于承载面的中心区域内。通过以上设置，可以有效排出承载面与待承载对象之间的中心区域的气体，使得中心区域与其他区域尤其是边缘区域的气压保持一致，防止被承载对象发生形变。
一种承载装置检测设备

[发明专利]一种承载装置及检测设备-CN202011169802.7在审
发明人：陈鲁;邓曾红;黄有为 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2020-10-29 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： G01R1/04 文献下载
摘要：本发明提供一种承载装置，该承载装置包括承载盘，该承载盘用于承载待承载对象，该承载盘具有承载面，且承载盘设有气孔，气孔与压力供给装置连通；气孔包括第一气孔，该第一气孔的通气尺寸可调节。通过使设置第一气孔的通气尺寸可调可改变第一气孔的通气气流，从而改变承载面和待测对象之间的中心区域的气压，使中心区域与其他区域尤其是边缘区域的气压保持一致，防止被承载对象发生形变。
一种承载装置检测设备

[实用新型]承载装置及检测设备-CN202120613003.8有效
发明人： 邓曾红;黄有为;魏林鹏;陈鲁;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-03-25 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种承载装置及检测设备，所述晶圆承载装置包括承载本体与多个限位件，所述多个限位件沿所述承载本体的周侧设置，所述限位件包括支撑柱与限位凸台，所述限位凸台用于避免晶圆在所述晶圆承载装置上发生移动，所述限位凸台包括第一限位面与第二限位面，所述第一限位面与所述第二限位面的夹角为第一夹角，所述第一夹角为锐角。本申请避免由于激光照射在所述限位件上后发生反射，在晶圆的待测面形成光斑，影响晶圆的检测结果的问题。
承载装置检测设备

[发明专利]工艺腔室和半导体处理设备-CN201811456559.X在审
发明人： 邓曾红 -专利权人：东泰高科装备科技有限公司
申请日： 2018-11-30 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种工艺腔室和半导体处理设备。包括腔室本体；腔室上盖，上盖设在腔室本体上；喷淋头，吊装在腔室上盖下侧，且喷淋头上设置有若干个匀流接口；若干个外转接管组件，每个外转接管组件对应至少一个匀流接口，外转接管组件的第一端用于与供给箱密封连接，外转接管组件的第二端穿过腔室上盖并伸入腔室本体内与对应的匀流接口密封连接；并且，外转接管组件能够相对腔室本体移动和/或转动，以调整外转接管组件的第二端在腔室本体内的位置。当匀流接口出现误差时，可以调整外转接管组件的第二端在腔室本体内的位置，从而可以确保各外转接管组件可靠地与对应的匀流接口密封连接。
工艺半导体处理设备

[实用新型]一种相位调整装置-CN201921141114.2有效
发明人： 邓曾红 -专利权人：东泰高科装备科技有限公司
申请日： 2019-07-19 - 公布日： 2020-05-05 - 主分类号： F16H7/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及相位调整技术领域，提供一种相位调整装置，包括箱体、传动轮组件、调整组件、过渡轮组件和张紧轮组件，所述传动轮组件安装在所述箱体的第一侧，所述调整组件安装在所述箱体的第二侧，所述过渡轮组件和所述张紧轮组件均安装在所述箱体内，所述调整组件与所述过渡轮组件连接，所述过渡轮组件、所述传动轮组件和所述张紧轮组件通过传动件传动连接。通过将传动轮组件、调整组件、过渡轮组件和张紧轮组件组装在箱体中，构成独立装置，实现了模块化设计，提高适用性，同时方便对传动轮组件、调整组件、过渡轮组件和张紧轮组件的润滑，结构紧凑，传动性能高，相位调整精度高。
一种相位调整装置

[发明专利]真空室气体引入系统-CN201910072353.5在审
发明人： 邓曾红 -专利权人：东泰高科装备科技有限公司
申请日： 2019-01-25 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： F17D1/02 文献下载
摘要：本发明涉及真空室气体引入技术领域，公开了一种真空室气体引入系统，包括真空室侧壁、封盖和转接机构，所述转接机构包括转接本体，所述转接本体内部设有变向通道，所述变向通道的第一端口与所述真空室侧壁密封连接，所述变向通道的第二端口与所述封盖的内侧壁密封连接，所述第一端口与设置在所述真空室侧壁外侧的外部引入接头对接，所述第二端口与设置在所述封盖外侧的外部引出接头对接，所述外部引出接头与转接管路的一端连接，所述转接管路的另一端与所述腔体连通。简化了维护流程，缩短了维护时间，减小了维护工作量，提高维护效率，降低了气路泄露风险，同时可以实现多路气体的并行引入。
真空气体引入系统

[实用新型]真空室气体引入系统-CN201920129470.6有效
发明人： 邓曾红 -专利权人：东泰高科装备科技有限公司
申请日： 2019-01-25 - 公布日： 2019-11-22 - 主分类号： F17D1/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空室气体引入技术领域，公开了一种真空室气体引入系统，包括真空室侧壁、封盖和转接机构，所述转接机构包括转接本体，所述转接本体内部设有变向通道，所述变向通道的第一端口与所述真空室侧壁密封连接，所述变向通道的第二端口与所述封盖的内侧壁密封连接，所述第一端口与设置在所述真空室侧壁外侧的外部引入接头对接，所述第二端口与设置在所述封盖外侧的外部引出接头对接，所述外部引出接头与转接管路的一端连接，所述转接管路的另一端与所述腔体连通。简化了维护流程，缩短了维护时间，减小了维护工作量，提高维护效率，降低了气路泄露风险，同时可以实现多路气体的并行引入。
转接真空室侧壁变向封盖密封连接引出接头转接机构真空室引入外部维护气体引入系统本实用新型腔体连通一端连接内侧壁多路减小气路工作量并行泄露

[实用新型]一种平板加热装置-CN201920046193.2有效
发明人： 邓曾红;张金斌 -专利权人：东泰高科装备科技有限公司
申请日： 2019-01-11 - 公布日： 2019-11-22 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种平板加热装置，包括加热板、内圈加热器、外圈加热器和边条，内圈加热器和外圈加热器均设在加热板的下表面，边条固定在加热板的上表面，外圈加热器围绕内圈加热器的外周布置，外圈加热器包括拐角，拐角相对于外圈加热器的主体结构向外突出设置。本实用新型中的平板加热装置的外圈加热器的膨胀变形并不会影响边条的位置，进而不会造成玻璃基板被顶起而导致其与加热板接触不好的现象。同时，能够减缓拐角处的热集中现象，有效改善了边角区域的热均匀性，提高了镀膜效果。
加热器加热板边条内圈平板加热装置本实用新型拐角边角区域玻璃基板镀膜效果膨胀变形热均匀性突出设置主体结构拐角处上表面下表面外周

[实用新型]一种CVD反应腔室真空度测量装置-CN201822169422.8有效
发明人：屈丰超;邓曾红;赵青松;张金斌;南建辉 -专利权人：东泰高科装备科技有限公司
申请日： 2018-12-21 - 公布日： 2019-09-20 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空度测量技术领域，尤其涉及一种CVD反应腔室真空度测量装置。该CVD反应腔室真空度测量装置包括反应腔室、真空测量机构、移动机构、传动机构以及驱动机构，所述驱动机构通过所述传动机构与所述移动机构的一端相连，所述移动机构的另一端穿过所述反应腔室的侧壁且可移动的设置于所述反应腔室中，所述移动机构为具有中空腔室且两端开口的移动轴，所述真空测量机构设置于所述移动轴的中空腔室中。本实用新型提供的CVD反应腔室真空度测量装置，真空测量机构能够移动至反应腔室内的正中位置，从而测量出靠近于基体反应位置附近的真空度，真空度测量更加精确。
反应腔室真空度测量装置移动机构真空测量本实用新型真空度测量驱动机构中空腔室移动轴反应位置机构设置两端开口正中位置反应腔可移动侧壁测量穿过室内移动

[实用新型]工艺腔室和半导体处理设备-CN201821999506.8有效
发明人： 邓曾红 -专利权人：东泰高科装备科技有限公司
申请日： 2018-11-30 - 公布日： 2019-06-14 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种工艺腔室和半导体处理设备。包括腔室本体；腔室上盖，上盖设在腔室本体上；喷淋头，吊装在腔室上盖下侧，且喷淋头上设置有若干个匀流接口；若干个外转接管组件，每个外转接管组件对应至少一个匀流接口，外转接管组件的第一端用于与供给箱密封连接，外转接管组件的第二端穿过腔室上盖并伸入腔室本体内与对应的匀流接口密封连接；并且，外转接管组件能够相对腔室本体移动和/或转动，以调整外转接管组件的第二端在腔室本体内的位置。当匀流接口出现误差时，可以调整外转接管组件的第二端在腔室本体内的位置，从而可以确保各外转接管组件可靠地与对应的匀流接口密封连接。
接管组件外转腔室上盖腔室本体半导体处理设备工艺腔室接口密封体内本实用新型密封连接第一端供给箱喷淋头喷淋伸入吊装转动穿过移动

[实用新型]腔室用介质引入结构和半导体处理设备-CN201821999837.1有效
发明人： 邓曾红 -专利权人：东泰高科装备科技有限公司
申请日： 2018-11-30 - 公布日： 2019-05-28 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种腔室用介质引入结构和半导体处理设备。包括：引入管，具有介质引入端，所述介质引入端用于伸入所述腔室内；弹性连接组件，套设在所述引入管外部，所述弹性连接组件的第一端用于与所述腔室密封连接，所述弹性连接组件的第二端与所述引入管连接，以沿所述腔室的轴向调整所述介质引入端在所述腔室内的位置。借助弹性连接组件的弹性形变，介质引入端可以沿腔室的轴向移动，从而可以调整介质引入端在腔室内的位置，因此，即便腔室内的介质连接点或者介质连接端出现加工或者安装误差，也可以利用弹性连接组件的弹性变形，弥补这些误差，从而可以提高介质引入结构与腔室连接的稳定性和可靠性。
弹性连接组件引入端腔室引入结构引入管室内半导体处理设备本实用新型安装误差弹性形变腔室密封轴向调整轴向移动第一端连接点连接端种腔室伸入外部加工

[实用新型]多功能转运车-CN201821012009.4有效
发明人：徐帅;曹杰;张虎威;邓曾红 -专利权人：东泰高科装备科技（北京）有限公司
申请日： 2018-06-28 - 公布日： 2019-01-15 - 主分类号： B25H3/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多功能转运车，包括主框架、旋转组件、调节组件和支撑装置，其中，旋转组件包括动力输入组件和驱动轴，动力输入组件固定连接于主框架的第一侧；动力输入组件的输出端与驱动轴连接，用于带动驱动轴旋转；调节组件包括输入轴和调节轴，输入轴的一端旋转连接于主框架的第二侧，输入轴的另一端与调节轴连接，输入轴旋转带动调节轴向靠近或者远离主框架的第一侧的方向移动；支撑装置包括左支撑装置和右支撑装置；左支撑装置与驱动轴可拆卸连接，右支撑装置与调节轴可拆卸连接。本实用新型能支撑预热模块、加热模块和喷淋头模块，且能调整各自的支撑角度，占用的空间大为缩小，操作也比较简单，节省了操作工时。
驱动轴输入轴主框架动力输入组件本实用新型可拆卸连接右支撑装置左支撑装置调节组件旋转组件支撑装置转运车方向移动加热模块旋转带动旋转连接预热模块喷淋头输出端轴连接支撑轴向占用

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