[发明专利]工件处理装置、工件输送系统有效

专利信息
申请号: 201410669762.0 申请日: 2014-11-21
公开(公告)号: CN104681474B 公开(公告)日: 2018-11-16
发明(设计)人: 仓桥孝治;宫本玲;川上敦司;崎元直树 申请(专利权)人: 株式会社大亨
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68;H01L21/67;H01L21/66;H01L21/677
代理公司: 北京华夏博通专利事务所(普通合伙) 11264 代理人: 刘俊
地址: 日本大阪府大阪*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明课题在于现有技术尚未能适当地进行工件缺陷的检测。本发明解决手段是本发明的工件处理装置具备:第一旋转距离资讯储存部101,供储存多个第一旋转距离资讯,所述第一旋转距离资讯为具有使圆形工件旋转时的旋转角度与第一距离资讯形成对应的资讯,而该第一距离资讯为关于从对应旋转角度的工件旋转中心至边缘的距离的资讯;取得部103,使用储存于第一旋转距离资讯储存部101的多个第一旋转距离资讯,取得用以使工件对准位置的资讯、用以特定工件朝向的资讯、及关于工件边缘缺陷部分的资讯;及输出部104,用来输出取得部103所取得的工件对准位置用的资讯、用以特定工件朝向的资讯、及关于缺陷部分的资讯。藉此工件处理装置,可适当进行工件缺陷的检测。
搜索关键词: 资讯 旋转距离 工件处理装置 工件对准 工件缺陷 资讯储存 储存 工件输送系统 工件旋转中心 输出取得部 工件边缘 圆形工件 检测 输出
【主权项】:
1.一种工件处理装置,其特征在于,具备:第一旋转距离资讯储存部,供储存多个第一旋转距离资讯,所述第一旋转距离资讯为具有使圆形工件旋转时的旋转角度与第一距离资讯形成对应的资讯,而该第一距离资讯则为关于从对应该旋转角度的工件旋转中心至边缘为止的距离资讯;取得部,使用储存于前述第一旋转距离资讯储存部的多个第一旋转距离资讯,来取得前述工件对准位置用的资讯、前述工件的特定朝向用的资讯、及关于前述工件边缘的缺陷部分的资讯;以及输出部,用以输出前述取得部所取得的前述工件对准位置用的资讯、前述工件的特定朝向用的资讯、及关于前述缺陷部分的资讯;前述取得部具备:合成装置,将包含于前述多个第一旋转距离资讯的第一距离资讯中对应旋转角度逐次相异90度的多个第一距离资讯合成;合成处理装置,在前述合成装置将第一距离资讯合成并取得的资讯的多个合成距离资讯中,将对应的旋转角度相连续且值的大小变化较小的多个合成距离资讯进行检测,并取得检测所得的多个合成距离资讯中的一个以上对应的合成前多个第一距离资讯及与合成前的一个以上第一距离资讯对应的旋转角度;修正资讯取得装置,使用前述合成处理装置所取得的多个第一距离资讯及旋转角度,取得用以使前述工件的旋转中心与工件的中心对准的修正资讯,作为前述工件的对准位置用资讯;第二距离资讯取得装置,使用前述修正资讯取得装置所取得的修正资讯,取得表示前述工件为边缘无凹凸的圆形时的旋转角度与第二距离资讯的关系的关系式,而该第二距离资讯则为关于与旋转角度相应的工件至边缘的距离的资讯,将与前述多个第一旋转距离资讯对应的多个旋转角度分别代入该取得的关系式,并取得第二距离资讯;计算装置,使用前述多个第一旋转距离资讯及前述第二距离资讯取得装置所取得的多个第二距离资讯,来取得与相同的旋转角度形成对应的前述第一距离资讯与第二距离资讯的差;缺口检测装置,使用前述计算装置计算所得的前述第一距离资讯与第二距离资讯的差,作为前述工件的朝向特定资讯,来取得表示该工件的朝向特定用缺口部的资讯;以及缺陷检测装置,使用前述计算装置所计算的前述第一距离资讯与第二距离资讯的差,取得前述工件关于边缘缺陷部分的资讯。
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  • 2019-01-23 - 2019-08-20 - H01L21/68
  • 本实用新型公开了一种用于Foup的定位装置,包括:设于设备上的一框形承载板,所述承载板的框形开口用于放置不同类型的Foup,所述承载板的左右两侧设有第一定位单元,所述承载板的前后两侧设有第二定位单元;其中,所述第一定位单元用于定位第一类型的Foup,所述第二定位单元用于定位第二类型的Foup。本实用新型通过在设备上设置可兼容不同Foup的承载板,改变了现有Foup单一的定位方式,可兼容两种不同类型的Foup,使生产过程中能够在两种Foup中更换,满足生产方可以使用同一台设备生产不同规格的产品,从而大大提高了设备的使用率。
  • 机械手定位装置及半导体加工设备-201910553998.0
  • 申爱科 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2019-06-21 - 2019-08-16 - H01L21/68
  • 本发明提供一种机械手定位装置及半导体加工设备,该机械手定位装置包括机械手导向机构,所述机械手导向机构用于限制机械手在位于腔室外部的第一位置和位于腔室内部的第二位置之间作往复运动,该机械手定位装置还包括:限位结构,用于在所述机械手运动到所述第一位置时限定所述机械手的位置;或者在所述机械手离开所述第一位置时,解除对所述机械手的限定。通过本发明,提高了机械手的安全性。
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