[发明专利]显示面板及其制作方法有效

专利信息
申请号: 200610073639.8 申请日: 2006-04-13
公开(公告)号: CN1832138A 公开(公告)日: 2006-09-13
发明(设计)人: 彭佳添 申请(专利权)人: 友达光电股份有限公司
主分类号: H01L21/82 分类号: H01L21/82;H01L21/20;H01L21/268;H01L27/32
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 代理人: 陶凤波;侯宇
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明提供一种显示器面板,其包含至少一显示区域及一具有驱动显示区域中显示元件的外围电路区域。在显示区域中的电子元件大体上是设置在通过固相结晶法从非晶硅转变而成的多晶硅层上,而外围电路区域的电子元件则是设置于从非晶硅先通过固相结晶法处理后再经激光退火转变而成的多晶硅层上。因此,该显示区域实质上并无结合激光退火后结晶粒径不均匀的缺陷,故有较均匀的多晶硅层,且该外围区域有较高电子迁移率的多晶硅层。
搜索关键词: 显示 面板 及其 制作方法
【主权项】:
1.一种显示面板的制作方法,其中所述显示面板设置于具有第一区域及第二区域的基板上,且所述显示面板在所述第一区域具有显示区域及所述第二区域具有电性连接至所述显示区域的电路区域,所述显示区域包含多个显示元件,所述电路区域包含多个电子元件,所述制作方法包括:在所述基板上设置一非晶硅层;通过固相结晶步骤,以同时将所述第一及第二区域的所述非晶硅层转变为多晶硅层;还利用激光束进行所述第二区域的所述多晶硅层的退火,以形成激光退火多晶硅层;在所述第一区域的所述多晶硅层上制作所述显示元件;在所述第二区域的所述激光退火多晶硅层上制作所述电子元件;以及在所述显示区域及所述电路区域之间提供电性连接元件。
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