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专利名称

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申请人
公布日期

农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]焊接止回阀-CN202011259783.7有效
发明人：约翰·A·利斯 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2020-11-12 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： F16K15/06 文献下载
摘要：焊接止回阀包括提升阀组合件、弹簧和接触所述弹簧的盘。当形成所述焊接止回阀时，所述盘可以保持在远离焊接的位置。实施例可以包括保持特征，所述保持特征被配置成允许所述提升阀组合件和所述盘中的一或多个在组装方向上通过所述保持特征，并且在这些元件处于操作方向时保持这些元件。方法包括插入所述提升阀组合件，使所述提升阀组合件与弹簧接触，插入盘，保持所述盘远离焊接侧，以及将所述止回阀焊接在一起。所述提升阀组合件和/或盘可以在插入时通过一或多个保持特征，并且在操作所述止回阀时由所述保持特征保持。所述焊接可以是热焊接。
焊接止回阀

[发明专利]制作柔性衬底组件的包覆模制专用工具及方法-CN202310340148.9在审
发明人： D·施罗德;M·A·汤普森;A·克罗斯菲尔德;D·韦内尔 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： B29C45/14 文献下载
摘要：本申请案涉及制作柔性衬底组件的包覆模制专用工具及方法。用于包覆模制管状结构的方法包含将芯销插入到所述管状结构中使得所述芯销的主体的至少一部分至少部分延伸出所述管状结构。所述方法进一步包含在Z方向上使用保持结构将所述管状结构夹紧到模腔结构，其中所述保持结构包含倾斜部分且柔性部分延伸出所述模腔结构。所述方法还包含将热塑性材料注射到所述模腔结构的模腔中以包覆模制所述管状结构的至少一部分，其中所述热塑性材料的所述注射包含所述热塑性材料接触从所述管状结构延伸的所述芯销的所述部分。
制作柔性衬底组件包覆模制专用工具方法

[发明专利]制备有机锡化合物的方法-CN202280015804.1在审
发明人： D·凯珀;D·M·埃默特;T·夸纳 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2022-01-31 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： C07F7/22 文献下载
摘要：本发明提供一种用于制备具有烷基及烷基氨基取代基的某些有机锡化合物的便利方法。所述方法以高度纯形式提供有机锡前驱化合物，例如三(二甲基酰胺基)异丙基锡。因此，所述方法的产物尤其适于在例如用于微电子装置制造中的极紫外光(EUV)光刻技术中沉积高纯度氧化锡膜。
制备有机化合物方法

[发明专利]制备有机锡化合物的方法-CN202280014585.5在审
发明人： D·M·埃默特;T·H·鲍姆;T·M·卡梅龙 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2022-01-28 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： C07F7/22 文献下载
摘要：本发明提供一种用于制备具有烷基和烷基氨基或烷基和烷氧基取代基的某些有机锡化合物的便利方法。所述方法提供高纯度形式的所述有机锡化合物，所述有机锡化合物尤其适于用作在例如用于制造某些微电子装置的极紫外光(EUV)光刻技术中沉积高纯度氧化锡膜的前体。
制备有机化合物方法

[发明专利]高通量沉积方法-CN202280014577.0在审
发明人： P·S·H·陈;E·孔多;D·凯珀;T·H·鲍姆;S·V·迪梅奥 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2022-01-19 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： C23C16/30 文献下载
摘要：本发明提供PEALD方法以沉积耐蚀刻SiOCN膜。这些膜提供经改良生长速率、经改良阶梯覆盖率和对湿式蚀刻剂和含O2共反应物的沉积后等离子体处理的优良耐蚀刻性。在一个实施例中，此PEALD方法依赖于单一前体，即双(二烷基氨基)四烷基二硅氧烷，连同氢等离子体一起来沉积所述耐蚀刻SiOCN薄膜。由于膜可利用单一前体沉积，因此整个工艺展现经改良的通量。
通量沉积方法

[发明专利]调节器组合件及测试方法-CN202110485000.5有效
发明人： E·E·琼斯;S·A·乌茨;J·R·德斯普雷斯 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2021-04-30 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： F17C1/00 文献下载
摘要：可使用经选择以具有约为从包含调节器组合件的流体存储及输送容器分配的选定流体的分子量的分子量的测试流体来测试调节器组合件。所述测试流体可为单种气体或混合物。所述测试流体可具有在从所述流体存储及输送容器分配的所述选定流体的所述分子量的80％到110％之间的分子量。当依此方式测试的调节器组合件在所述测试气体流启动时展示少于两个尖峰时，其可通过评估。可将这些调节器组合件安装到流体存储及输送容器中，尤其用于加压流体的存储及输送。
调节器组合测试方法

[实用新型]用于安瓿的模块化托盘-CN202222662320.6有效
发明人： S·L·巴特尔;J·托马斯;B·H·奥尔森;J·N·格雷格 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2022-10-10 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本申请涉及一种用于安瓿的模块化托盘。用于固体前体材料的递送系统的安瓿的所述模块化托盘用于原子层沉积ALD工艺、化学气相沉积CVD工艺或这两者。所述模块化托盘经配置有单独组件，所述组件可增强所述模块化托盘可插入到所述安瓿中的简易性，且所述托盘经配置以使得与所述安瓿的内壁表面的接触得以改善，从而改善从所述内壁到所述模块化托盘且最终到安置在所述模块化托盘上的所述固体前体材料的热传递。
用于安瓿模块化托盘

[发明专利]容器中冲净流速的远程优化-CN202180092700.6在审
发明人： M·A·富勒;N·伯吉特;K·A·雷诺兹;C·J·哈尔;M·C·扎布卡 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：优化衬底容器中的冲净流参数包含：使冲净工作流体流入所述衬底容器的内部中，从所述衬底容器的所述内部排放所述冲净工作流体，及在预定时段内变动所述冲净工作流体的冲净流参数，在所述预定时段期间检测所述衬底容器的所述内部中的至少一个环境状况，基于所述预定时段期间的所述经变动冲净流参数及所述至少一个经检测环境状况确定经优化冲净流参数，及根据所述经优化冲净流参数调整所述流入及所述排放。所述衬底容器可包含例如前开式晶片传送盒或光罩盒。
容器中冲净流速远程优化

[发明专利]改性的碳吸附剂-CN202180084277.5在审
发明人： R·斯里瓦斯塔瓦;谢保全;F·V·贝朗格;R·D·吉普森 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2021-11-10 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： B01J20/20 文献下载
摘要：提供已用稀释矿物酸处理以改性其表面化学性质及形态的特定活性碳质材料。本公开的经改性活性碳质材料用于从气体流移除特定污染物。在一个实施例中，所述污染物是含有硅及氧部分的化合物，例如烷基硅醇及烷基硅氧烷。所述经改性活性碳质材料可并入到过滤器及过滤器系统中。
改性吸附剂

[发明专利]选择性移除金属氧化物硬掩模-CN202180091371.3在审
发明人：蔡升贤;洪性辰;E·洪;余珠姬;金元来;梁正烈 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2021-12-22 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： C09K13/08 文献下载
摘要：本发明提供在其它材料(如多晶硅、二氧化硅、氮化硅和钨)存在下可用于选择性蚀刻(即移除)金属氧化物硬掩模(如氧化锆和氧化铪)的组合物，所述硬掩模通常用作微电子装置中的硬掩模。
选择性金属氧化物硬掩模

[发明专利]锗表面的钝化-CN202310783075.0在审
发明人： S·比洛迪奥;E·I·库珀;吴幸臻;杨民杰 -专利权人： 恩特格里斯公司;恩特格里斯亚洲公司
申请日： 2016-08-12 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本申请涉及锗表面的钝化，更具体的，涉及可用于在具有含锗材料的微电子装置上钝化所述含锗材料的组合物。
表面钝化

[发明专利]具有不同层厚度的多层复合物及相关方法-CN202180090466.3在审
发明人： T·K·佩鲁马尔;S·古达蒂;M·利维;V·瓦尔克;D·N·戴恩 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2021-12-03 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： B22F7/00 文献下载
摘要：本发明描述通过增材制造技术制备的三维多层复合结构以及通过增材制造技术制备所述结构的方法，其中多层结构具有至少两个不同厚度及精确厚度的层。
具有不同厚度多层复合物相关方法

[发明专利]用于光刻的相移光罩-CN202180084777.9在审
发明人：叶澤安;郑君飞;M·利维;陈俊光 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2021-11-18 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： G03F1/26 文献下载
摘要：提供一种用于半导体制造中的光刻工艺的相移光罩。所述光罩包含衬底、反射结构、图案界定层及移相器。所述反射结构安置于所述衬底上。所述图案界定层包含第一材料且沉积于所述反射结构上。所述图案界定层包括图案沟槽。所述移相器包含第二材料且安置于所述图案沟槽中。所述第二材料的透射率不同于所述第一材料的透射率。
用于光刻相移

[实用新型]汽化器组合件-CN202222328900.1有效
发明人： B·卡多佐;S·L·巴特尔 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2022-09-01 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本申请案涉及一种汽化器组合件。特定来说，提供一种包含汽化器容器的汽化器组合件。在一些实施例中，所述汽化器容器界定内部容积。在一些实施例中，所述汽化器容器经配置以在所述内部容积内容纳至少一种源试剂。在一些实施例中，所述汽化器组合件包含加热器。在一些实施例中，所述加热器经配置以使所述至少一种源试剂汽化。在一些实施例中，所述加热器是经配置以无需加热所述汽化器容器而使所述至少一种源试剂汽化的辐射热源。
汽化器组合

[发明专利]环戊二烯的选择性烷基化-CN202180077657.6在审
发明人： P·欣克尔;S·A·拉内曼;V·魏德纳 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2021-10-21 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： C07F3/02 文献下载
摘要：本发明提供一种使环戊二烯单烷基化的方法，其利用环戊二烯卤化镁和烷基或芳基磺酸盐的金属盐作为共反应物与烷基卤化物烷基化反应物。所述方法提供用于使环戊二烯单烷基化的容易方法，其中转化率高达约96％且对单烷基化的选择性(高于较高程度的烷基化，例如二或三烷基化)高达约99％。
环戊二烯选择性烷基化

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